制造用于衍射光栅导光板的模具基板的方法和制造衍射光栅导光板的方法

    公开(公告)号:CN111033117B

    公开(公告)日:2021-06-18

    申请号:CN201880052164.5

    申请日:2018-08-16

    Abstract: 本发明涉及制造用于衍射光栅导光板的模具基板的方法,该方法包括以下步骤:准备在其上表面上设置有薄层电阻为0.5Ω/□或更大的网格部分的法拉第笼;将样品基板设置在法拉第笼的底表面上并在其上进行平面等离子体蚀刻以确定法拉第笼中的高蚀刻区域;准备具有倾斜表面的支撑体并将倾斜表面的下部区域布置在法拉第笼的高蚀刻区域中的支撑体布置步骤;将模具用基板设置在支撑体的倾斜表面上;以及通过使用等离子体蚀刻同时在模具用基板的一侧上形成第一倾斜图案部分并在模具用基板的另一侧上形成第二倾斜图案部分的图案化步骤,其中图案化步骤中的蚀刻速率自倾斜表面的上部区域至下部区域逐渐减小然后反转增大,并且包括第一倾斜图案部分的具有深度梯度的倾斜凹槽图案,以及第二倾斜图案部分包括深度偏差为0nm至50nm的倾斜凹槽图案。

    使用法拉第笼的等离子体蚀刻方法

    公开(公告)号:CN111448642A

    公开(公告)日:2020-07-24

    申请号:CN201880079529.3

    申请日:2018-12-14

    Abstract: 本发明提供了使用法拉第笼的等离子体蚀刻方法。所述使用法拉第笼的等离子体蚀刻方法包括:在其上表面上设置有网部分的法拉第笼中准备蚀刻基板的步骤,所述基板具有设置在其一个表面上的金属掩模,所述金属掩模具有开口图案部分;通过使用等离子体蚀刻在蚀刻基板上形成第一图案区域的第一图案化步骤;以及在通过使用遮板遮挡网部分的至少一部分之后通过使用等离子体蚀刻在蚀刻基板上形成第二图案区域的第二图案化步骤。

    衍射导光板以及包括其的显示装置

    公开(公告)号:CN112997109A

    公开(公告)日:2021-06-18

    申请号:CN202080006083.9

    申请日:2020-02-24

    Abstract: 根据本发明的一个方面的实施方案提供了衍射导光板,包括:引导光的导光单元;接收从光源输出的光并且将接收的光衍射以在导光单元上引导的输入衍射光学元件;以及设置在导光单元的预定区域中并且具有彼此不同的线性光栅图案的两种输出衍射光学元件,其中两种输出衍射光学元件配置成使得每一输出衍射光学元件接收来自输入衍射光学元件的光并且允许接收的光通过衍射导向至另一输出衍射光学元件,并且两种输出衍射光学元件配置成使得每一输出衍射光学元件接收来自另一输出衍射光学元件的光并且允许接收的光通过衍射从导光单元输出,具有彼此不同的线性光栅图案的所述两种输出衍射光学元件在中心区域中在至少一个维度交替排列,该中心区域在所述预定区域内具有至少预定宽度并且从与输入衍射光学元件相邻的侧至与其相对的侧沿长度方向划分。

    衍射导光板和包括其的显示装置

    公开(公告)号:CN111542771A

    公开(公告)日:2020-08-14

    申请号:CN201980007146.X

    申请日:2019-08-21

    Abstract: 根据本发明的一个方面的一个示例性实施方案提供了衍射导光板,其包括:配置成引导光的导光单元;输入衍射光学元件,所述输入衍射光学元件配置成使从光源输出并输入到所述输入衍射光学元件的光衍射,以在所述导光单元上引导输入的光;以及两个衍射光学元件,所述两个衍射光学元件配置成接收来自所述输入衍射光学元件的衍射光并通过衍射将所接收的光一维延伸,其中所述两个衍射光学元件中的一者接收来自所述衍射光学元件中的另一者的经延伸的光并通过衍射将所接收的光从所述导光单元输出,并且在所述导光单元上不存在所述两个衍射光学元件彼此交叠的区域。

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