公开(公告)号：CN104870682B

公开(公告)日：2017-05-10

申请号：CN201380066197.2

申请日：2013-10-17

Applicant: 株式会社V技术

Inventor： 工藤修二 ,  柳川良胜 ,  后藤隆之

IPC: C23C14/04 ,  B23K26/00 ,  B23K26/36 ,  H01L51/50 ,  H05B33/10

CPC classification number: B23K26/402 ,  B05C21/005 ,  B23K26/0869 ,  B23K26/382 ,  B23K2103/42 ,  B23K2103/50 ,  C23C14/042

Abstract: 本发明的成膜掩模的制造方法，在树脂性薄膜(2)的预先设定的位置进行激光加工而形成贯通的开口图形(1)，在所述薄膜(2)和支承该薄膜(2)的基准基板(13)的平滑面(13b)之间形成液膜(14)的弯液面，在借助由拉普拉斯压力产生的吸附力而使所述薄膜(2)与所述基准基板(13)紧贴之后，激光加工所述开口图形(1)。由此在开口图形的边缘部不产生飞边，能够使激光加工高速化。

公开(公告)号：CN104870682A

公开(公告)日：2015-08-26

申请号：CN201380066197.2

申请日：2013-10-17

Applicant: 株式会社V技术

Inventor： 工藤修二 ,  柳川良胜 ,  后藤隆之

IPC: C23C14/04 ,  B23K26/00 ,  B23K26/36 ,  H01L51/50 ,  H05B33/10

CPC classification number: B23K26/402 ,  B05C21/005 ,  B23K26/0869 ,  B23K26/382 ,  B23K2103/42 ,  B23K2103/50 ,  C23C14/042

Abstract: 本发明的成膜掩模的制造方法，在树脂性薄膜(2)的预先设定的位置进行激光加工而形成贯通的开口图形(1)，在所述薄膜(2)和支承该薄膜(2)的基准基板(13)的平滑面(13b)之间形成液膜(14)的弯液面，在借助由拉普拉斯压力产生的吸附力而使所述薄膜(2)与所述基准基板(13)紧贴之后，激光加工所述开口图形(1)。由此在开口图形的边缘部不产生飞边，能够使激光加工高速化。