公开(公告)号：CN103003659A

公开(公告)日：2013-03-27

申请号：CN201180035424.6

申请日：2011-06-17

Applicant: 株式会社V技术

Inventor： 大渊一人 ,  小桧山真广

IPC: G01B5/02 ,  B24B21/00 ,  B24B27/033

CPC classification number: G01B5/061 ,  B24B21/06 ,  B24B27/033

Abstract: 本发明涉及一种滤色片的突起缺陷高度测量仪器以及修复装置。具体地，对于在着色层的边界部分具有将相邻的着色层的端缘部分相互层叠的隔壁等的突起状构造物的滤色片，可以通过触头的扫描，来对超越突起状构造物高度的突起缺陷进行高精度地测量。因此，将触头（304a）、（504a）的棱线（304b）、（504b）设定成相对于扫描方向呈45度交叉的方向，且将棱线（304b）、（504b）的长度设定成棱线（304b）、（504b）同时搁于在扫描方向上相间隔的两个隔壁（105）（突起状构造物）上的长度（L）。由此，触头（304a）、（504a）在扫描中不会落入隔壁（105）之间的着色层（101）～（103）上，一边与隔壁（105）的顶点接触一边扫描，将隔壁（105）的顶点作为基准高度，对超过该基准高度（H2）的高度突起缺陷（FA）进行测量。

公开(公告)号：CN103003659B

公开(公告)日：2016-06-29

申请号：CN201180035424.6

申请日：2011-06-17

Applicant: 株式会社V技术

Inventor： 大渊一人 ,  小桧山真广

IPC: G01B5/02 ,  B24B21/00 ,  B24B27/033

CPC classification number: G01B5/061 ,  B24B21/06 ,  B24B27/033

Abstract: 本发明涉及一种滤色片的突起缺陷高度测量仪器以及修复装置。具体地，对于在着色层的边界部分具有将相邻的着色层的端缘部分相互层叠的隔壁等的突起状构造物的滤色片，可以通过触头的扫描，来对超越突起状构造物高度的突起缺陷进行高精度地测量。因此，将触头（304a）、（504a）的棱线（304b）、（504b）设定成相对于扫描方向呈45度交叉的方向，且将棱线（304b）、（504b）的长度设定成棱线（304b）、（504b）同时搁于在扫描方向上相间隔的两个隔壁（105）（突起状构造物）上的长度（L）。由此，触头（304a）、（504a）在扫描中不会落入隔壁（105）之间的着色层（101）～（103）上，一边与隔壁（105）的顶点接触一边扫描，将隔壁（105）的顶点作为基准高度，对超过该基准高度（H2）的高度突起缺陷（FA）进行测量。

公开(公告)号：CN203837664U

公开(公告)日：2014-09-17

申请号：CN201420204535.6

申请日：2014-04-24

Applicant: 株式会社V技术

Inventor： 吉田太郎 ,  大渊一人 ,  上原诚

IPC: G01B11/25

Abstract: 本实用新型的形状测量装置通过提高光源光的受光效率，不提高光源输出，而确保所希望的受光量。形状测量装置(1)具备向被测量物体(W)的设置面(2)投射光的投光部(3)和接收由投光部(3)投射的光的受光部(4)，通过受光部(4)的输出来测量被测量物体的形状和尺寸，其中，投光部(3)具备光源(10)、入射从光源(10)射出的光的杆积分器(11)、以及具有能够取入从杆积分器(11)的光射出面(11A)射出的全光束的开口数和视场而且至少在被测量物体侧呈远心状态的投光光学系统(20)，受光部(4)具备接收被测量物体的投影影像的拍摄元件(12)和使设置面(2)与拍摄元件(12)的受光面成为共轭关系的物体侧远心受光光学系统(30)，投光光学系统(20)内部的开口光圈(22)与受光光学系统(30)内部的开口光圈(33)处于共轭关系。