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公开(公告)号：CN104362081A
公开(公告)日：2015-02-18
申请号：CN201410504797.9
申请日：2014-09-26
Applicant: 桑德斯微电子器件(南京)有限公司
IPC: H01L21/02
CPC classification number: H01L21/02178
Abstract: 本发明公开了一种多晶氧化铝薄膜的制备方法、铝扩散方法和器件的钝化方法，属于氧化铝薄膜制造领域。一种多晶氧化铝薄膜的制备方法，步骤为依次进行配置悬浮液、光刻晶圆、形成铝层、铝光刻、电泳、漂洗、真空干燥、烧结成膜，完成对晶圆的多晶氧化铝薄膜的制备，基于上述步骤进行扩散可对铝在晶圆本体中进一步扩散，形成铝扩散区；使用多晶氧化铝薄膜的制备方法可以对半导体器件进行氧化铝钝化。它成本低廉、工艺精细、控制精准，可以对薄膜进行选择性生长，可以对晶圆进行铝扩散、对半导体器件进行钝化。
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公开(公告)号：CN104215208A
公开(公告)日：2014-12-17
申请号：CN201410506296.4
申请日：2014-09-26
Applicant: 桑德斯微电子器件(南京)有限公司
Abstract: 本发明公开了一种升降式蒸发机台对中快速测试机构及其测试方法，属于蒸发机台测试领域。一种升降式蒸发机台对中快速测试机构，包括测厚盖子、钟罩、三角架、固定三角架座、电子枪、透明胶版和发射点光源调节装置，测厚盖子位于钟罩顶部，测厚盖子内置有测试厚度的传感器探头，钟罩中部安装有固定三角架座，钟罩外部侧面设置有导向杆，导向杆底部与钟罩底部连接，导向杆上设置有定位夹；发射点光源调节装置设置于电子枪坩埚位置，发射点光源调节装置由点光源器和固定夹套组成；透明胶版设置于三角架上方或测厚盖子上方，透明胶版上设置有测厚盖子定位点标记和三角架定位点。它可以直观发现设备使用过程中产生的误差，避免测试点偏离中心线、准确性高、方便快捷。
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公开(公告)号：CN104195524A
公开(公告)日：2014-12-10
申请号：CN201410456414.5
申请日：2014-09-09
Applicant: 桑德斯微电子器件(南京)有限公司
IPC: C23C16/44
Abstract: 本发明公开了一种气相沉积清理行星盘的系统及其清洗方法，属于芯片工装设备领域。包括蒸发机台、冷泵、机械泵、高压柜和晶控仪，所述的蒸发机台包括钟罩，所述的钟罩将三角架、轨道、行星盘、烘烤灯和电子枪封闭在钟罩内部形成腔体，钟罩内部的腔体与外部的氦气压缩机、冷泵、机械泵和高压柜连接。在系统中使用旋转电机系统，使用圆周形的轨道。在旋转过程中对行星盘进行气相沉积，沉积表面均匀光滑。使用物理方法的气相沉积方法，使用镍和铝进行气相沉积，对环境无影响，环保无污染，仪器的使用寿命长，耗时短，效率高。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN104215208B
公开(公告)日：2017-01-18
申请号：CN201410506296.4
申请日：2014-09-26
Applicant: 桑德斯微电子器件(南京)有限公司
Abstract: 本发明公开了一种升降式蒸发机台对中快速测试机构及其测试方法，属于蒸发机台测试领域。一种升降式蒸发机台对中快速测试机构，包括测厚盖子、钟罩、三角架、固定三角架座、电子枪、透明胶版和发射点光源调节装置，测厚盖子位于钟罩顶部，测厚盖子内置有测试厚度的传感器探头，钟罩中部安装有固定三角架座，钟罩外部侧面设置有导向杆，导向杆底部与钟罩底部连接，导向杆上设置有定位夹；发射点光源调节装置设置于电子枪坩埚位置，发射点光源调节装置由点光源器和固定夹套组成；透明胶版设置于三角架上方或测厚盖子上方，透明胶版上设置有测厚盖子定位点标记和三角架定位点。它可以直观发现设备使用过程中产生的误差，避免测试点偏离中心线、准确性高、方便快捷。
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公开(公告)号：CN104195524B
公开(公告)日：2016-12-14
申请号：CN201410456414.5
申请日：2014-09-09
Applicant: 桑德斯微电子器件(南京)有限公司
IPC: C23C16/44
Abstract: 本发明公开了一种气相沉积清理行星盘的系统及其清洗方法，属于芯片工装设备领域。包括蒸发机台、冷泵、机械泵、高压柜和晶控仪，所述的蒸发机台包括钟罩，所述的钟罩将三角架、轨道、行星盘、烘烤灯和电子枪封闭在钟罩内部形成腔体，钟罩内部的腔体与外部的氦气压缩机、冷泵、机械泵和高压柜连接。在系统中使用旋转电机系统，使用圆周形的轨道。在旋转过程中对行星盘进行气相沉积，沉积表面均匀光滑。使用物理方法的气相沉积方法，使用镍和铝进行气相沉积，对环境无影响，环保无污染，仪器的使用寿命长，耗时短，效率高。
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公开(公告)号：CN104362081B
公开(公告)日：2017-07-04
申请号：CN201410504797.9
申请日：2014-09-26
Applicant: 桑德斯微电子器件(南京)有限公司
IPC: H01L21/02
Abstract: 本发明公开了一种多晶氧化铝薄膜的制备方法、铝扩散方法和器件的钝化方法，属于氧化铝薄膜制造领域。一种多晶氧化铝薄膜的制备方法，步骤为依次进行配置悬浮液、光刻晶圆、形成铝层、铝光刻、电泳、漂洗、真空干燥、烧结成膜，完成对晶圆的多晶氧化铝薄膜的制备，基于上述步骤进行扩散可对铝在晶圆本体中进一步扩散，形成铝扩散区；使用多晶氧化铝薄膜的制备方法可以对半导体器件进行氧化铝钝化。它成本低廉、工艺精细、控制精准，可以对薄膜进行选择性生长，可以对晶圆进行铝扩散、对半导体器件进行钝化。
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公开(公告)号：CN204064284U
公开(公告)日：2014-12-31
申请号：CN201420562577.7
申请日：2014-09-26
Applicant: 桑德斯微电子器件(南京)有限公司
Abstract: 本实用新型公开了一种升降式蒸发机台对中快速测试机构，属于蒸发机台测试领域。一种升降式蒸发机台对中快速测试机构，包括测厚盖子、钟罩、三角架、固定三角架座、电子枪、透明胶版和发射点光源调节装置，测厚盖子位于钟罩顶部，测厚盖子内置有测试厚度的传感器探头，钟罩中部安装有固定三角架座，钟罩外部侧面设置有导向杆，导向杆底部与钟罩底部连接，导向杆上设置有定位夹；发射点光源调节装置设置于电子枪坩埚位置，发射点光源调节装置由点光源器和固定夹套组成；透明胶版设置于三角架上方或测厚盖子上方，透明胶版上设置有测厚盖子定位点标记和三角架定位点。它可以直观发现设备使用过程中产生的误差，避免测试点偏离中心线、准确性高、方便快捷。
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公开(公告)号：CN204039497U
公开(公告)日：2014-12-24
申请号：CN201420516651.1
申请日：2014-09-09
Applicant: 桑德斯微电子器件(南京)有限公司
IPC: C23C16/44
Abstract: 本实用新型公开了一种气相沉积清理行星盘的系统，属于芯片工装设备领域。包括蒸发机台、冷泵、机械泵、高压柜和晶控仪，所述的蒸发机台包括钟罩，所述的钟罩将三角架、轨道、行星盘、烘烤灯和电子枪封闭在钟罩内部形成腔体，钟罩内部的腔体与外部的氦气压缩机、冷泵、机械泵和高压柜连接。在系统中使用旋转电机系统，使用圆周形的轨道。在旋转过程中对行星盘进行气相沉积，沉积表面均匀光滑。使用物理方法的气相沉积方法，使用镍和铝进行气相沉积，对环境无影响，环保无污染，仪器的使用寿命长，耗时短，效率高。
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