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公开(公告)号：CN104215208A
公开(公告)日：2014-12-17
申请号：CN201410506296.4
申请日：2014-09-26
Applicant: 桑德斯微电子器件(南京)有限公司
Abstract: 本发明公开了一种升降式蒸发机台对中快速测试机构及其测试方法，属于蒸发机台测试领域。一种升降式蒸发机台对中快速测试机构，包括测厚盖子、钟罩、三角架、固定三角架座、电子枪、透明胶版和发射点光源调节装置，测厚盖子位于钟罩顶部，测厚盖子内置有测试厚度的传感器探头，钟罩中部安装有固定三角架座，钟罩外部侧面设置有导向杆，导向杆底部与钟罩底部连接，导向杆上设置有定位夹；发射点光源调节装置设置于电子枪坩埚位置，发射点光源调节装置由点光源器和固定夹套组成；透明胶版设置于三角架上方或测厚盖子上方，透明胶版上设置有测厚盖子定位点标记和三角架定位点。它可以直观发现设备使用过程中产生的误差，避免测试点偏离中心线、准确性高、方便快捷。
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公开(公告)号：CN104195524A
公开(公告)日：2014-12-10
申请号：CN201410456414.5
申请日：2014-09-09
Applicant: 桑德斯微电子器件(南京)有限公司
IPC: C23C16/44
Abstract: 本发明公开了一种气相沉积清理行星盘的系统及其清洗方法，属于芯片工装设备领域。包括蒸发机台、冷泵、机械泵、高压柜和晶控仪，所述的蒸发机台包括钟罩，所述的钟罩将三角架、轨道、行星盘、烘烤灯和电子枪封闭在钟罩内部形成腔体，钟罩内部的腔体与外部的氦气压缩机、冷泵、机械泵和高压柜连接。在系统中使用旋转电机系统，使用圆周形的轨道。在旋转过程中对行星盘进行气相沉积，沉积表面均匀光滑。使用物理方法的气相沉积方法，使用镍和铝进行气相沉积，对环境无影响，环保无污染，仪器的使用寿命长，耗时短，效率高。
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公开(公告)号：CN104215208B
公开(公告)日：2017-01-18
申请号：CN201410506296.4
申请日：2014-09-26
Applicant: 桑德斯微电子器件(南京)有限公司
Abstract: 本发明公开了一种升降式蒸发机台对中快速测试机构及其测试方法，属于蒸发机台测试领域。一种升降式蒸发机台对中快速测试机构，包括测厚盖子、钟罩、三角架、固定三角架座、电子枪、透明胶版和发射点光源调节装置，测厚盖子位于钟罩顶部，测厚盖子内置有测试厚度的传感器探头，钟罩中部安装有固定三角架座，钟罩外部侧面设置有导向杆，导向杆底部与钟罩底部连接，导向杆上设置有定位夹；发射点光源调节装置设置于电子枪坩埚位置，发射点光源调节装置由点光源器和固定夹套组成；透明胶版设置于三角架上方或测厚盖子上方，透明胶版上设置有测厚盖子定位点标记和三角架定位点。它可以直观发现设备使用过程中产生的误差，避免测试点偏离中心线、准确性高、方便快捷。
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公开(公告)号：CN104195524B
公开(公告)日：2016-12-14
申请号：CN201410456414.5
申请日：2014-09-09
Applicant: 桑德斯微电子器件(南京)有限公司
IPC: C23C16/44
Abstract: 本发明公开了一种气相沉积清理行星盘的系统及其清洗方法，属于芯片工装设备领域。包括蒸发机台、冷泵、机械泵、高压柜和晶控仪，所述的蒸发机台包括钟罩，所述的钟罩将三角架、轨道、行星盘、烘烤灯和电子枪封闭在钟罩内部形成腔体，钟罩内部的腔体与外部的氦气压缩机、冷泵、机械泵和高压柜连接。在系统中使用旋转电机系统，使用圆周形的轨道。在旋转过程中对行星盘进行气相沉积，沉积表面均匀光滑。使用物理方法的气相沉积方法，使用镍和铝进行气相沉积，对环境无影响，环保无污染，仪器的使用寿命长，耗时短，效率高。
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公开(公告)号：CN209487471U
公开(公告)日：2019-10-11
申请号：CN201920315580.1
申请日：2019-03-13
Applicant: 桑德斯微电子器件(南京)有限公司
IPC: H01L21/67 , H01L21/329
Abstract: 本实用新型公开了一种二极管浸锡设备，包括操作台、PLC控制器、触摸屏、工装夹具、X轴导轨及伺服驱动器、Z轴导轨及伺服驱动器，Z轴导轨安装工装夹具并在X轴导轨上滑动，X轴导轨在操作台上长度方向安装，操作台上长度方向依次安装恒液位助焊剂槽、助焊剂吸液装置、助焊剂烘干设备、浸锡炉和焊渣槽，工装夹具用于固定二极管器件，所述的PLC控制器的显示输出与触摸屏连接，触摸屏显示当前运行数据和工艺菜单；PLC控制器控制端接X轴伺服驱动器和Z轴伺服驱动器及浸锡炉的温度控制端连接。触摸屏显示工作状态和工艺菜单的编辑下载。它可以实现机台的一键操作，过程全部自动化，生产产品质量稳定。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN210012895U
公开(公告)日：2020-02-04
申请号：CN201920549554.5
申请日：2019-04-22
Applicant: 桑德斯微电子器件(南京)有限公司
IPC: C23C14/35
Abstract: 本实用新型分开了一种溅射磁控系统，包括圆形磁铁座3只、与圆形磁铁座对应的靶座3只、一只档板，条形磁铁、靶材，导磁体，所述的圆形磁铁座放在靶座上，三只靶座放上真空腔盖上，档板位于真空腔内；真空腔盖对应靶座的下方设有导磁体；所述的条形磁铁(2)产生的磁场通过导磁体(6)将磁力线引入真空腔(9)中；本新型磁控系统通过改变磁铁的磁场强度、改变靶座导磁体的结构以及腔体内档板的结构，实现了刻蚀均匀性和提高靶材利用率，提高了产品的一致性，降低了生产成本。
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公开(公告)号：CN208234090U
公开(公告)日：2018-12-14
申请号：CN201820034936.X
申请日：2018-01-10
Applicant: 桑德斯微电子器件(南京)有限公司
Abstract: 一种具有芯片传送定位装置，包括导杆及固定环状托，导杆固定在环状托的后端，环状托的内圆环为下凹台阶的圆环，下凹台阶的圆环为承载芯片的定位圆形凹槽，环状托的前端设有缺口。一般承载的芯片基为圆形，环状托下凹台阶的圆环即定位圆形凹槽正好支承圆形芯片。芯片传送定位装置使用的材料为不易受污染的不锈钢材质，中间台阶设有导向槽，能做到定位准确。所述的芯片传送定位的导杆装在导向直线轴承内。
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公开(公告)号：CN207956965U
公开(公告)日：2018-10-12
申请号：CN201820034942.5
申请日：2018-01-10
Applicant: 桑德斯微电子器件(南京)有限公司
IPC: B65G47/24
Abstract: 一种具有精确定位接送片装置，包括底板框架(6)、传动机构、升降机构和芯片定位机构；所述的传动机构包括电机(1)、支架(2)、导杆(3)、第二导杆(11)、丝杆(4)、底座(5)；所述的支架(2)为两只安装丝杆的支架安装在底板框架(6)上，按照丝杆同轴线方向前后分布，所述支架上设有定位孔，在定位孔中间的位置安装丝杆，丝杆两侧下安装导杆(3)；支架(2)定位孔安装轴承，丝杆一端固定在轴承内，丝杆另一端穿过轴承孔且通过同轴的联轴器(7)连接电机，所述的电机安装在电机支架(8)上，电机轴通过连轴器(7)连接丝杆。
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公开(公告)号：CN204135933U
公开(公告)日：2015-02-04
申请号：CN201420557861.5
申请日：2014-09-25
Applicant: 桑德斯微电子器件(南京)有限公司
IPC: B25B11/00
Abstract: 本实用新型公开了一种贴片二极管可靠性实验夹具，属于电子实验工装领域。它包括底板框架、定模模块和动模模块，其中，定模模块和动模模块互相成对，底板框架上设置有两套成对的定模模块和动模模块。定模模块包括定模导电铜条、导向柱和接线端子，定模导电铜条两端分别固定有一根导向柱，定模导电铜条两端分别设置有接线端子；动模模块包括动模导电铜条、锁定螺杆、销钉、微型丝杆和调节把手，动模导电铜条与定模模块定模导电铜条相对设置。针对现有技术中存在的夹具的电极容易变形、松动，夹具损坏率高、成本高的问题，本装置的夹具长久使用后，不变形、成本低、夹具损耗率低，操作简便。
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公开(公告)号：CN204086922U
公开(公告)日：2015-01-07
申请号：CN201420576372.4
申请日：2014-09-30
Applicant: 桑德斯微电子器件(南京)有限公司
IPC: G05B19/05
Abstract: 本实用新型公开了一种离子溅射仪控制系统，属于半导体制造设备领域。一种离子溅射仪控制系统，包括RF电源、直流电源，、PLC控制器、真空仪表、传感器、触摸屏和执行输出，其中，所述的传感器和PLC控制器连接，传感器采集的信号传输到PLC控制器；PLC控制器和执行输出连接，PLC控制器处理后的信号传输到执行输出；所述的PLC控制器还分别与真空仪表、RF电源、触摸屏、直流电源连接，所述的PLC控制器分别与真空仪表、RF电源、触摸屏、直流电源之间进行双向信号传输，所述的传感器设置于离子溅射仪机台内。它可以实现机台的一键操作，过程全部自动化，操作人员只要装片和取片，操作简单，准确性好，生产产品质量稳定。
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