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公开(公告)号：CN112291691A
公开(公告)日：2021-01-29
申请号：CN202011255318.6
申请日：2020-11-11
Applicant: 歌尔股份有限公司
Abstract: 本说明书实施例提供了一种MEMS压电微扬声器、微扬声器单元及电子设备。MEMS压电微扬声器包括：MEMS压电致动器，产生扬声器声波；以及集成在MEMS压电微扬声器内部的微麦克风，基于扬声器声波产生声压信号，以用于调整MEMS压电致动器的声音输出性能，其中，微麦克风的声压检测部分位于MEMS压电致动器外部并与MEMS压电致动器分离开。
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公开(公告)号：CN110235046A
公开(公告)日：2019-09-13
申请号：CN201780084430.8
申请日：2017-03-07
Applicant: 歌尔股份有限公司
IPC: G02B26/10
Abstract: 本发明公开了一种激光投影装置和激光投影系统。该激光投影装置包括光纤扫描器和MEMS扫描镜；光纤扫描器上设置有光纤，光纤用于传送投影所需的激光束；光纤扫描器用于驱动光纤在第一平面内扫描，并使激光束投射至MEMS扫描镜；MEMS扫描镜可以绕第一轴做扫描运动，并反射激光束到预定区域形成投影图像；第一轴位于第一平面内或者第一轴与第一平面平行。不同于现有技术中光纤扫描器或MEMS扫描镜单独做双轴运动实现投影的方式，本发明通过使光纤扫描器和MEMS扫描镜同时在不同方向进行扫描来实现激光投影，具有独特的技术效果。
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公开(公告)号：CN109073960A
公开(公告)日：2018-12-21
申请号：CN201780002164.X
申请日：2017-02-06
Applicant: 歌尔股份有限公司
IPC: G03B21/00
Abstract: 一种微型激光二极管投影仪(702)，包括：MEMS扫描装置(301，401，501，601)，它围绕彼此正交的第一轴线(X)和第二轴线(Y)旋转；以及包括至少一个微型激光二极管(204r，204g，204b，304r，304g，304b，4041，5041)的微型激光二极管光源(312，412，512，612)，其中，所述微型激光二极管光源(312，412，512，612)安装在所述MEMS扫描装置(301，401，501，601)上并且与所述MEMS扫描装置(301，401，501，601)一起围绕所述第一轴线和所述第二轴线(X，Y)旋转以将光投射到投影屏幕(630)。也讨论了包括微型激光二极管投影仪(702)的电子设备(700)。
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公开(公告)号：CN105518888B
公开(公告)日：2018-06-12
申请号：CN201580001211.X
申请日：2015-09-09
Applicant: 歌尔股份有限公司
CPC classification number: H01L33/0095 , H01L24/03 , H01L25/0753 , H01L25/13 , H01L33/483 , H01L33/62 , H01L2224/83 , H01L2224/98 , H01L2924/0105 , H01L2924/01079 , H01L2933/0066
Abstract: 本发明公开了一种微发光二极管的修复方法、制造方法、装置及电子设备。该用于修复微发光二极管的方法包括：使导电拾取头上的已知良好微发光二极管与接收衬底的缺陷位置处的第一接垫接触，其中，导电拾取头和已知良好微发光二极管通过导电粘接物接合在一起；通过导电拾取头对第一接合层进行局部焦耳加热，使得第一接合层熔化，其中，第一接合层位于已知良好微发光二极管和第一接垫之间；以及在对第一接合层进行冷却之后提升导电拾取头，以将已知良好微发光二极管留在接收衬底上。
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公开(公告)号：CN105518877B
公开(公告)日：2018-06-12
申请号：CN201580001244.4
申请日：2015-08-18
Applicant: 歌尔股份有限公司
CPC classification number: H01L21/67144 , H01L24/83 , H01L24/95 , H01L27/15 , H01L33/0095 , H01L33/405 , H01L2924/12042
Abstract: 本发明公开了一种微发光二极管的预排除方法、制造方法、装置和电子设备。该用于预排除缺陷微发光二极管的方法包括：获得激光透明的衬底上的缺陷微发光二极管的缺陷图案；以及按照缺陷图案，从激光透明的衬底侧用激光照射激光透明的衬底，以从激光透明的衬底剥离缺陷微发光二极管。
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公开(公告)号：CN107835477B
公开(公告)日：2020-03-17
申请号：CN201711192077.3
申请日：2017-11-24
Applicant: 歌尔股份有限公司
Abstract: 本发明公开了一种MEMS麦克风，包括衬底、第一振膜、第二振膜，第一振膜、第二振膜之间形成了密封腔；背极单元位于密封腔内且与第一振膜、第二振膜构成电容器结构，背极单元上设置有多个贯通其两侧的通孔；其中，在密封腔内填充有粘滞系数小于空气的气体。本发明的MEMS麦克风，通过在密封腔中填充粘滞系数小于空气的气体，可以大大降低两个振膜相对于背极运动时的声阻，从而降低麦克风的噪声。同时，采用低粘滞系数的气体进行填充，使得可以让密封腔中的压力与外界环境的压力一致，避免了由于压差所带来的振膜偏转问题，保证了麦克风的性能。
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公开(公告)号：CN104811881B
公开(公告)日：2019-03-19
申请号：CN201510213255.0
申请日：2015-04-29
Applicant: 歌尔股份有限公司
Abstract: 本发明提供给了一种压电扬声器及其形成方法，其中，所述压电扬声器的形成方法包括：提供压电致动器，所述压电致动器包括压电材料层和位于所述压电材料层相对两侧的底电极和顶电极；提供扬声器盆架，所述扬声器盆架包括基底和位于所述基底上的凸起结构；在所述凸起结构的顶部形成焊料层；将所述压电致动器的底电极通过所述焊料层与所述扬声器盆架相结合。本发明压电扬声器的形成方法工艺简单，成本低。
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公开(公告)号：CN106105268B
公开(公告)日：2019-03-08
申请号：CN201480003818.7
申请日：2014-08-26
Applicant: 歌尔股份有限公司
CPC classification number: H04R19/02 , B81B7/008 , B81B2201/0257 , B81B2201/032 , B81B2203/0127 , B81B2207/012 , B81C1/00158 , B81C2201/0197 , H04R7/06 , H04R19/013 , H04R31/00 , H04R31/003 , H04R2201/003 , H04R2307/025 , H04R2307/027
Abstract: 本发明提供一种热双晶振膜的制作方法及MEMS扬声器，其中该方法包括以下步骤：对基板(1)热氧化以在该基板上获得绝缘层(2)，在绝缘层(2)上设置金属层(3)；在金属层(3)上设置保护层(4)；在保护层(4)上设置热双晶第一层(5)；在热双晶第一层(5)上设置热双晶第二层(6)；在金属层(3)上未设置保护层(4)的位置处设置金属连接层(7)，在基板(1)和绝缘层(2)上形成相对应的背洞(16)，并释放保护层(4)；释放保护层(4)后，热双晶第一层(5)和热双晶第二层(6)形成弯曲的热双晶振膜。利用该MEMS扬声器，能够解决生产成本高、振膜制作复杂以及扬声器音效不佳的问题。
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