公开(公告)号：CN110602616B

公开(公告)日：2021-02-19

申请号：CN201910799686.8

申请日：2019-08-28

Applicant: 武汉敏声新技术有限公司

Inventor： 孙成亮 ,  胡博豪 ,  吴志鹏 ,  林炳辉 ,  朱伟 ,  王磊 ,  周禹

IPC: H04R19/00 ,  H04R19/04

Abstract: 一种高灵敏度MEMS压电式麦克风，包括具有空腔的晶圆衬底和多个具有压电叠层结构的悬臂梁，所述悬臂梁包括固定端和悬置于空腔上方的自由端，所述悬臂梁为一端窄另一端宽的结构，较窄的一端为固定端；所述空腔的底面中心设置有固定柱，多个所述悬臂梁的固定端均连接在所述固定柱的顶面，相邻的所述悬臂梁之间均设置有间隙，且相邻悬臂梁的自由端均连接有能使悬臂梁同步振动的柔性弹性件，其中一个所述间隙内设置有用于引出所述悬臂梁电信号的连接段。本发明通过改变MEMS压电式麦克风内悬臂梁的结构形式，提高了麦克风的灵敏度和信噪比。

公开(公告)号：CN111337119B

公开(公告)日：2021-01-15

申请号：CN202010027154.5

申请日：2020-01-10

Applicant: 武汉敏声新技术有限公司

Inventor： 孙成亮 ,  胡博豪 ,  吴志鹏 ,  王磊 ,  林炳辉 ,  朱伟 ,  占惠花

IPC: G01H11/08

Abstract: 本发明公开了一种高灵敏度的振动传感器，包括具有空腔的衬底和多个压电悬臂梁，空腔的底面中心设置有固定柱，多个悬臂梁围成信号接收区域，通过固定柱固定在衬底上方；压电悬臂梁包括固定端和自由端，自由端的宽度大于固定端，固定端固定在固定柱上，自由端悬置于空腔上方，且相邻的压电悬臂梁之间设置有间隙；该传感器还包括带有凹槽的封帽，封帽的槽沿与压电悬臂梁的自由端相连接。凹槽的截面可为任意形状，优选底面与侧壁夹角大于90°的梯形。本发明通过封帽将振动信号产生载荷集中在压电悬臂梁自由端，会使压电悬臂梁受到的弯矩更大，压电悬臂梁的挠曲程度更大，且夹角大于90°时能够产生较大的横向载荷，有效提高振动传感器的灵敏度。