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公开(公告)号:CN117200741B
公开(公告)日:2024-04-16
申请号:CN202311191406.8
申请日:2023-09-14
Applicant: 武汉敏声新技术有限公司
Abstract: 本申请公开了一种体声波谐振组件及其制备方法,涉及通信技术领域,本申请的体声波谐振组件,包括衬底以及设置在衬底上的第一谐振组件和第二谐振组件,第一谐振组件和第二谐振组件之间形成互连区域,第一谐振组件包括依次设置于衬底上的第一底电极、第一压电层和第一顶电极,第二谐振组件包括依次设置于衬底上的第二底电极、第二压电层和第二顶电极,第一底电极和第二顶电极在互连区域连接,第二底电极和第一顶电极在互连区域连接。本申请提供的体声波谐振组件及其制备方法,能够在不增大体声波谐振组件的体积的基础上,提高反向并联的稳定性并减小损耗。
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公开(公告)号:CN117200741A
公开(公告)日:2023-12-08
申请号:CN202311191406.8
申请日:2023-09-14
Applicant: 武汉敏声新技术有限公司
Abstract: 本申请公开了一种体声波谐振组件及其制备方法,涉及通信技术领域,本申请的体声波谐振组件,包括衬底以及设置在衬底上的第一谐振组件和第二谐振组件,第一谐振组件和第二谐振组件之间形成互连区域,第一谐振组件包括依次设置于衬底上的第一底电极、第一压电层和第一顶电极,第二谐振组件包括依次设置于衬底上的第二底电极、第二压电层和第二顶电极,第一底电极和第二顶电极在互连区域连接,第二底电极和第一顶电极在互连区域连接。本申请提供的体声波谐振组件及其制备方法,能够在不增大体声波谐振组件的体积的基础上,提高反向并联的稳定性并减小损耗。
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