用于沉积含金属薄膜的含氨基醚的液体组合物

    公开(公告)号:CN102011098B

    公开(公告)日:2013-03-27

    申请号:CN201010279948.7

    申请日:2010-09-08

    Abstract: 本发明涉及一种用于沉积含金属薄膜的含氨基醚的液体组合物。一种制剂,包含:a)至少一种金属配体络合物,其中一种或多种配体选自β-二酮根、β-酮亚胺基、β-酮酸酯、β-二亚胺基、烷基、羰基、烷基羰基、环戊二烯基、吡咯基、醇根、脒基配体、咪唑基及其混合物;而且金属选自元素周期表的2-16族元素;和b)至少一种选自以下及其混合物的氨基醚:R1R2NR3OR4NR5R6、R1OR4NR5R6、O(CH2CH2)2NR1、R1R2NR3N(CH2CH2)2O、R1R2NR3OR4N(CH2CH2)2O、O(CH2CH2)2NR1OR2N(CH2CH2)2O,其中,R1-R6独立地选自C1-10直链烷基、C1-10支链烷基、C3-10环烷基、C6-C10芳香基、C1-10烷基胺、C1-10烷基氨基烷基、C2-10醚、C4-C10环醚、C4-C10环氨基醚及其混合物。

    用于沉积含金属薄膜的含氨基醚的液体组合物

    公开(公告)号:CN102011098A

    公开(公告)日:2011-04-13

    申请号:CN201010279948.7

    申请日:2010-09-08

    Abstract: 本发明涉及一种用于沉积含金属薄膜的含氨基醚的液体组合物。一种制剂,包含:a)至少一种金属配体络合物,其中一种或多种配体选自β-二酮根、β-酮亚胺基、β-酮酸酯、β-二亚胺基、烷基、羰基、烷基羰基、环戊二烯基、吡咯基、醇根、脒基配体、咪唑基及其混合物;而且金属选自元素周期表的2-16族元素;和b)至少一种选自以下及其混合物的氨基醚:R1R2NR3OR4NR5R6、R1OR4NR5R6、O(CH2CH2)2NR1、R1R2NR3N(CH2CH2)2O、R1R2NR3OR4N(CH2CH2)2O、O(CH2CH2)2NR1OR2N(CH2CH2)2O,其中,R1-R6独立地选自C1-10直链烷基、C1-10支链烷基、C3-10环烷基、C6-C10芳香基、C1-10烷基胺、C1-10烷基氨基烷基、C2-10醚、C4-C10环醚、C4-C10环氨基醚及其混合物。

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