一种体结构MEMS红外光源及其制造方法

    公开(公告)号:CN118561230A

    公开(公告)日:2024-08-30

    申请号:CN202410348533.2

    申请日:2024-03-26

    Applicant: 江苏大学

    Abstract: 本发明属于光电技术领域,特指一种体结构MEMS红外光源及其制造方法。该光源从下至上依次为衬底和隔热层、介质层、发热电极层、红外发射层;以及与发热电极层电连接并位于红外发射层两侧的两条发热电极焊盘。隔热层从衬底的上表面向下镶嵌在衬底的中间区域,隔热层的上表面与衬底的上表面处于同一平面,红外发射层相对于隔热层两边各缩小一定的距离。本发明通过低热导率隔热层的引入,不仅能达到现有“悬膜”结构MEMS红外光源一样的热传导控制功能,同时使发热电极层、红外发射层等功能层和衬底融为一体,形成了体结构,大大提升了MEMS红外光源在制造和使用过程中的热稳定性和结构强度,从根源上避免了“悬膜”破裂的隐患。

    一种基于氧化铝/锰酸镧膜基结构的光吸收体及其制备方法

    公开(公告)号:CN115991610B

    公开(公告)日:2023-10-10

    申请号:CN202211404908.X

    申请日:2022-11-10

    Applicant: 江苏大学

    Abstract: 本发明涉及一种基于氧化铝/锰酸镧膜基结构的光吸收体及其制备方法。制备方法的步骤包括:(1)固相法合成宽光谱高吸收的锰酸镧基陶瓷粉体;(2)制备孔隙梯度五层结构锰酸镧基片;(3)镀制致密Al2O3膜;(4)在空气炉中热处理。其中锰酸镧基片表层致密、从外到内孔隙梯度分布,膜基结构界面存在过渡层。该制备方法工艺简便、成本低,利用该方法制备的光吸收体在0.2~20μm波段范围内具有高的吸收率,且耐高温、抗热震,有高的激光损伤阈值,可广泛应用于激光能量计、激光功率计等高温光热转换领域的元器件。

    一种基于氧化铝/锰酸镧膜基结构的光吸收体及其制备方法

    公开(公告)号:CN115991610A

    公开(公告)日:2023-04-21

    申请号:CN202211404908.X

    申请日:2022-11-10

    Applicant: 江苏大学

    Abstract: 本发明涉及一种基于氧化铝/锰酸镧膜基结构的光吸收体及其制备方法。制备方法的步骤包括:(1)固相法合成宽光谱高吸收的锰酸镧基陶瓷粉体;(2)制备孔隙梯度五层结构锰酸镧基片;(3)镀制致密Al2O3膜;(4)在空气炉中热处理。其中锰酸镧基片表层致密、从外到内孔隙梯度分布,膜基结构界面存在过渡层。该制备方法工艺简便、成本低,利用该方法制备的光吸收体在0.2~20μm波段范围内具有高的吸收率,且耐高温、抗热震,有高的激光损伤阈值,可广泛应用于激光能量计、激光功率计等高温光热转换领域的元器件。

    一种用于室温检测ppb级NO2的气敏材料及制备方法

    公开(公告)号:CN115144444A

    公开(公告)日:2022-10-04

    申请号:CN202210840052.4

    申请日:2022-07-18

    Applicant: 江苏大学

    Abstract: 本发明涉及NO2气体检测技术领域,特指一种用于室温检测ppb级NO2的气敏材料及制备方法。制备方法包括:(1)多层Ti3C2 MXene的合成;(2)ZnO/Ti3C2的合成;(3)ZnO1‑x/Ti3C2合成;(4)气敏元件的制作。该制备方法工艺简便、成本低,利用该方法制备的ZnO1‑x/Ti3C2复合材料中ZnO具有丰富的氧空位,且复合材料具有肖特基异质结构,在室温下对0.01、1和10ppm NO2的响应(ΔR/Ra)分别为0.03、0.21和2.28。此外,ZnO1‑x/Ti3C2复合材料可以在不同的湿度下有效地检测低浓度的NO2,且该复合材料还具有良好的重复性和长期稳定性。

    一种宽光谱吸收耐高温粉体材料的制备方法

    公开(公告)号:CN112209444B

    公开(公告)日:2022-07-22

    申请号:CN202011013405.0

    申请日:2020-09-24

    Applicant: 江苏大学

    Abstract: 本发明涉及对太阳光有较高的吸收率的粉体材料,尤其涉及一种宽光谱吸收耐高温粉体材料的制备方法。本发明采用溶胶凝胶法制备流程,通过氨水调节PH值和阶梯升温预烧结处理相结合,在保证氨水调节PH值流程优点的同时,解决了溶胶凝胶法制备铬酸钙镧时成胶难,脱水过程繁琐耗时的缺点,可批量产出超细均匀的、在200‑2500nm波段范围内拥有高吸收率的宽光谱吸收耐高温粉体材料。

    一种原位反应制备炭/炭复合材料高温抗氧化涂层的方法

    公开(公告)号:CN114315420A

    公开(公告)日:2022-04-12

    申请号:CN202111626459.9

    申请日:2021-12-28

    Applicant: 江苏大学

    Abstract: 本发明公开了一种原位反应制备炭/炭复合材料高温抗氧化涂层的方法,属于材料制备技术领域。其方法包括原材料组成设计、粉末混合球磨、干燥、炭/炭复合材料基底清洗和超高速激光熔覆法原位反应制备含有MAX相高温抗氧化涂层,制得炭/炭复合材料高温抗氧化涂层。本发明采用原材料粉末利用超高速激光熔覆技术对炭/炭复合材料表面原位反应形成界面MAX相层。借助MAX相本身的韧性,克服了涂层在高温下开裂、剥落的问题,同时,基体炭参与表面的原位反应,涂层与基体呈化学结合,增强了涂层与基体的结合力。

    一种P型PbSe光电薄膜的敏化方法

    公开(公告)号:CN114180538A

    公开(公告)日:2022-03-15

    申请号:CN202111436517.1

    申请日:2021-11-29

    Applicant: 江苏大学

    Abstract: 本发明涉及光电薄膜,特指一种P型PbSe光电薄膜的敏化方法。首先将沉积于衬底上的P型PbSe薄膜置入强氧化剂溶液中进行氧化处理,在P型PbSe光电薄膜表面形成PbSexO1‑x,0.2≤x≤0.8化合物,其次将氧化处理后的P型PbSe光电薄膜浸入含碘化合物溶液中进行碘化处理,使得P型PbSe光电薄膜表面的PbSexO1‑x化合物转化成碘化物,完成碘元素的引入,最后在含氧气氛中进行退火处理,使得P型PbSe光电薄膜表面形成n型的PbSexO1‑xIy化合物,0.2≤x≤0.8,0.3≤y≤0.7,完成敏化处理。本发明很好地解决了现有PbSe敏化处理工艺存在的问题,同时简单方便,可重复性好。

    一种AlGaInP发光二极管芯片结构

    公开(公告)号:CN112786757B

    公开(公告)日:2021-12-21

    申请号:CN202110197610.5

    申请日:2021-02-22

    Applicant: 江苏大学

    Abstract: 本发明涉及半导体发光器件领域,尤其是涉及一种AlGaInP发光二极管结构。本发明采用N型GaxIn1‑xP欧姆接触层(0.4≤x≤0.6)代替N型GaAs欧姆接触层。GaxIn1‑xP(0.4≤x≤0.6)材料与GaAs衬底具有很好的晶格匹配性,禁带宽度较大,对红光有较好的透明性,并且与GaAs有很好的选择腐蚀性,在制造芯片过程中也可以看到P面的图形而无需开窗工艺。而且,通过合理的掺杂设计,可以很好的与N电极形成良好的欧姆接触,保证较低的工作电压。在外延生长过程中,可在缓冲层生长后直接生长N型GaxIn1‑xP欧姆接触层(0.4≤x≤0.6),然后生长N型层,与现有工艺相比更加简单,成本更低。

    一种铅盐红外探测器芯片结构及其制备方法

    公开(公告)号:CN113299777A

    公开(公告)日:2021-08-24

    申请号:CN202110428428.6

    申请日:2021-04-21

    Applicant: 江苏大学

    Abstract: 本发明涉及红外探测器芯片,特指一种铅盐红外探测器芯片结构及其制备方法。所述铅盐红外探测器芯片结构从下至上包括图形化衬底、铅盐化合物薄膜、钝化层和金属电极层;采用衬底预处理方式获得图形化衬底,然后在图形化衬底上通过化学沉积或者物理沉积等方法沉积铅盐薄膜;在图形化衬底上获得的铅盐薄膜表面会继承衬底上图形,从而获得表面粗化的铅盐薄膜。整个制备工艺简单、易控,制备装置简单、成本低廉,适用于批量化生产制造。

    一种纳米颗粒负载多孔超宽光谱吸收涂层及制备方法

    公开(公告)号:CN112517352A

    公开(公告)日:2021-03-19

    申请号:CN202011091750.6

    申请日:2020-10-13

    Applicant: 江苏大学

    Abstract: 本发明涉及宽光谱吸收涂层,特指一种纳米颗粒负载多孔超宽光谱吸收涂层及制备方法。本发明将微米碳颗粒(CMP)、纳米碳颗粒(CNP)、Si3N4和TiN纳米颗粒依次添加到树脂溶剂中,然后通过高压静电喷涂制备为超宽光谱吸收涂层。在高压静电喷涂过程中,大量带电的CMP相互排斥,形成多孔骨架,CNP、Si3N4和TiN纳米颗粒负载在CMP表面,形成纳米颗粒负载多孔超宽光谱吸收涂层。得益于CMP,CNP,Si3N4和TiN的协同作用,本发明公开的纳米颗粒负载多孔超宽光谱吸收涂层不仅可以形成操控入射光波的引导多孔模式;同时负载的纳米粒子可提供多次反射和散射,使光传播路径增加,从而导致涂层的吸收增强。

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