一种基于超临界电沉积的电极距离及沉积深度可调装置

    公开(公告)号:CN118685844A

    公开(公告)日:2024-09-24

    申请号:CN202410898175.2

    申请日:2024-07-05

    Abstract: 本发明涉及一种基于超临界电沉积的电极距离及沉积深度可调装置,包括用于进行电沉积反应的反应釜组件、用于固定电沉积工件的电极夹持组件和用于提供电沉积反应所需电能的电源;夹具组件包括固定在反应釜组件的顶部的法兰盘端盖和一组可伸缩机构电极夹具,法兰盘端盖的顶部设有电极连接片,法兰盘端盖的底部设有水平调节机构,可伸缩机构电极夹具设置在水平调节机构上,水平调节机构用于调节可伸缩机构电极夹具之间的距离,可伸缩机构电极夹具用于夹持电极并进行高度调节;本申请可以对电极水平调节和深度调节,调节方式多样,可以适应多种试验场景。

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