公开(公告)号：CN119222474A

公开(公告)日：2024-12-31

申请号：CN202411756543.6

申请日：2024-12-03

Applicant: 江西联创光电超导应用有限公司

Inventor： 钟巧明 ,  蒋国忠 ,  马韬 ,  胡磊 ,  余俊伟 ,  郭水根 ,  樊云云 ,  李芳昕

IPC: F16M13/02 ,  G01R33/02 ,  C30B15/20 ,  F16M11/38 ,  F16M11/20 ,  F16M11/04 ,  F16M11/18 ,  F16H19/06 ,  F16H35/18 ,  C30B29/06 ,  C30B30/04

Abstract: 本申请涉及单晶硅生长炉技术领域，尤其涉及一种磁场测量装置，磁场测量装置，包括支撑部件、传动机构和测量组件，支撑部件用于与待测磁体连接；传动机构设置于支撑部件上；测量组件设置于支撑部件上，与传动机构连接，测量组件在传动机构的带动下能够沿预设路径移动以测量待测磁体周围的磁场。本申请的磁场测量装置能够准确地找到单晶硅生长炉磁场中的各个位置点，并分别测量预设位置各个位置点的磁场，为单晶硅生长工艺提供准确可靠的磁场参数，有利于提高测量机构的测量准确率和测量效率。