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公开(公告)号：CN105278010B
公开(公告)日：2017-01-11
申请号：CN201510618901.1
申请日：2015-09-25
Applicant: 河南仕佳光子科技股份有限公司
IPC: G02B3/00
Abstract: 本发明公开了一种二氧化硅微透镜的制造方法，首先，确定透镜高度和光刻次数，并根据透镜高度H在每一等份高度处的水平线与微透镜表面特性函数两交点之间的距离，确定共轴圆柱堆叠结构中对应高度处的圆柱直径，然后确定每次刻蚀透镜的深度，然后采用二元光学技术，经过N次对版光刻即可形成2N级台阶结构，因而这种方法可以通过较少的光刻次数实现较多的台阶级数。本发明光刻次数少，而且可使实际制作的透镜表面形状较好地满足理论设计要求，实现透镜表面形状的工艺可控性。
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公开(公告)号：CN105607186B
公开(公告)日：2019-05-10
申请号：CN201610168021.3
申请日：2016-03-22
Applicant: 河南仕佳光子科技股份有限公司
Abstract: 本发明公开了一种基于SiO2加载条形波导的波导布拉格光栅及其制造方法，包括基底层、平板芯层、引导芯层和上包层，所述平板芯层覆盖在基底层的正面上，引导芯层位于平板芯层的正面上，上包层覆盖在平板芯层的正面并将引导芯层包裹。本发明具有工艺简单、成本较低、产品一致性较好、适合大规模生产等优点，相比于基于脊形波导的外脊调制型波导布拉格光栅的制作工艺具有工艺简单、成本较低、尺寸小等优点。
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公开(公告)号：CN105204097B
公开(公告)日：2017-03-22
申请号：CN201510553805.3
申请日：2015-09-02
Applicant: 河南仕佳光子科技股份有限公司
IPC: G02B3/00
Abstract: 本发明公开了一种二氧化硅微透镜及其制造方法，包括基底层和透镜层，透镜层位于基底层的正面上，还包括增透层Ⅰ和增透层Ⅱ，所述增透层Ⅰ覆盖于透镜层的表面，增透层Ⅱ覆盖于基底层的背面；所述透镜层包括第一透镜层和第二透镜层，第二透镜层包裹在第一透镜层上，且通过高温回流融合为一体。透镜层材料选择掺杂硼、磷的二氧化硅材料，这种材料在高温回流时具有良好的流动性，第二透镜层包覆于圆台形状的第一透镜层上，通过高温回流两者可以完全地熔合为一体，并自然形成平凸型结构。保证微透镜整体具有折射率一致性。本发明透镜面形较好、阵列填充因子较高、可靠性较高，工艺简单、成本较低、产品一致性较好、适合大规模生产等优点。
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公开(公告)号：CN105607186A
公开(公告)日：2016-05-25
申请号：CN201610168021.3
申请日：2016-03-22
Applicant: 河南仕佳光子科技股份有限公司
Abstract: 本发明公开了一种基于SiO2加载条形波导的波导布拉格光栅及其制造方法，包括基底层、平板芯层、引导芯层和上包层，所述平板芯层覆盖在基底层的正面上，引导芯层位于平板芯层的正面上，上包层覆盖在平板芯层的正面并将引导芯层包裹。本发明具有工艺简单、成本较低、产品一致性较好、适合大规模生产等优点，相比于基于脊形波导的外脊调制型波导布拉格光栅的制作工艺具有工艺简单、成本较低、尺寸小等优点。
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