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公开(公告)号：CN107764791B
公开(公告)日：2021-03-23
申请号：CN201710943245.1
申请日：2017-10-11
Applicant: 河南仕佳光子科技股份有限公司
IPC: G01N21/64
Abstract: 本发明公开了一种基于倏逝波的离子浓度测试芯片，包括芯片本体，所述芯片本体包括衬底、波导和包层，包层将波导包裹在衬底上，且在包层上与波导相对应的位置设置有微槽，微槽的宽度大于波导的宽度，且在微槽的内壁涂覆有待测离子物质荧光识别材料。以及制作方法，步骤1，清洗衬底；步骤2，淀积波导芯层；步骤3，高温退火；步骤4，形成掩膜层；步骤5，涂覆光刻胶；步骤6，刻蚀掩膜层；步骤7，形成波导芯层；步骤8，去除掩膜层；步骤9，淀积上包层；步骤10，上包层形成掩膜层；步骤11，涂覆光刻胶；步骤12，去除光刻胶层；步骤13，形成微槽；步骤14，去除掩膜层；步骤15，切割并磨抛。本发明灵敏度高，生物特异性强。
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公开(公告)号：CN106054339B
公开(公告)日：2018-10-23
申请号：CN201610676975.5
申请日：2016-08-16
Applicant: 河南仕佳光子科技股份有限公司
IPC: G02B6/44
Abstract: 本发明公开了一种超宽谱波长不敏感光分路器的设计方法，采用调整Y分支弯曲半径和缝隙，平横短波和长波泄露损耗和辐射损耗，改善Y分支波长相关损耗，实现了超宽谱范围内波长不敏感Y分支结构，通过Y分支级联，形成超宽谱波长不敏感的1×N光分路器结构，实现超宽谱范围内波长平坦化。
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公开(公告)号：CN113534341A
公开(公告)日：2021-10-22
申请号：CN202010315538.7
申请日：2020-04-21
Applicant: 河南仕佳光子科技股份有限公司
Abstract: 本发明公开了一种基于飞秒激光直写的可调谐波导光栅滤波器及其制造方法，包括晶圆基底，所述晶圆基底的上部设有上包层，上包层的上部依次设有电极层和引线层，且电极层和引线层的宽度均小于上包层的宽度；所述上包层内设有波导芯层，且波导芯层上设有采用飞秒激光直写的波导光栅。本发明采用石英基PLC光波导技术与飞秒激光直写相结合，对现有的工艺进行了改进，降低了开发和工艺成本；实现了在晶圆上制作各种类型的光栅滤波器，通过电极层可以实现波长可调谐，增加了光学芯片系统的灵活性；通过控制飞秒激光的功率、扫描区域宽度、重复扫描次数等，可以控制折射率变化的大小，实现了对光栅参数的精准控制。
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公开(公告)号：CN109799576A
公开(公告)日：2019-05-24
申请号：CN201910114206.X
申请日：2019-02-14
Applicant: 河南仕佳光子科技股份有限公司
IPC: G02B6/12
Abstract: 本发明公开了一种同侧阵列波导光栅芯片，包括输入波导结构、输入平板结构、阵列波导结构、输出平板结构和输出波导结构；输入波导结构经输入平板结构与阵列波导结构连接，阵列波导结构经输出平板结构和输出波导结构连接，且输入波导结构的一个输入波导与输出波导结构的输出波导位于同一侧；输入平板结构和输出平板结构对称设置；本发明具有以下有益效果：1）尺寸紧凑，易于和其它器件集成。2）提高测试的效率和准确性。
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公开(公告)号：CN107315224B
公开(公告)日：2018-09-28
申请号：CN201710690935.0
申请日：2017-08-14
Applicant: 河南仕佳光子科技股份有限公司
Abstract: 本发明公开了一种可调宽谱波长不灵敏定向耦合器，包括衬底，在衬底上设置有依次连接的第一级定向耦合结构、相移结构和第二级定向耦合结构，所述相移结构包括相移弧形波导、相移直波导和第三调制组件，第三调制组件设置在相移弧形波导上；相移弧形波导的一端与第一级定向耦合结构的定向耦合波导Ⅰ的输出端连接，相移弧形波导的另一端与第二级定向耦合结构的定向耦合波导Ⅲ的输入端连接；相移直波导的一端与第一级定向耦合结构的定向耦合波导Ⅱ的输出端连接，相移直波导的另一端与第二级定向耦合结构的定向耦合波导Ⅳ的输入端连接。本发明可实现宽谱波长不灵敏、宽谱范围分光比调节和较低损耗，且尺寸紧凑，易于和其它器件集成。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN106371169A
公开(公告)日：2017-02-01
申请号：CN201610909510.X
申请日：2016-10-19
Applicant: 河南仕佳光子科技股份有限公司
IPC: G02B6/122
CPC classification number: G02B6/122 , G02B2006/12038 , G02B2006/12197
Abstract: 本发明公开了一种多模波导90°转向阵列芯片，包括芯片本体，所述芯片本体包括衬底、波导和包层，包层将波导包裹在衬底上，所述波导平行设置且波导之间间隔相等，且波导的一侧端面为全反射面。所述波导的条数和波导间距可以根据具体情况做调整。没有引入透镜，光程很短，更利于光集成。直接耦合，减少了Lens array的加入和贴装工序，耦合精度更高，光路整体稳定性更好。波导阵列的加工技术比较成熟，成本低廉。不需要昂贵的透镜设计和开模费用，前期研发投入少。光波导阵列使用的全是石英玻璃材质，不存在高温下的老化问题，高低温条件的可靠性会更好。
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公开(公告)号：CN106253037A
公开(公告)日：2016-12-21
申请号：CN201610763288.7
申请日：2016-08-30
Applicant: 河南仕佳光子科技股份有限公司
IPC: H01S3/067
CPC classification number: H01S3/06708 , H01S3/06704
Abstract: 本发明公开了一种外腔型窄线宽V槽光纤光栅激光器，包括增益介质，在增益介质的一端镀高反射膜，在增益介质的另一端镀有增透膜Ⅰ，在增益介质外部并与增透膜Ⅰ相对的位置设置有光纤光栅载体，所述光纤光栅载体上端面设置有V型槽，光纤光栅的一端固定在V型槽内，光纤光栅的另一端伸出光纤光栅载体，在光纤光栅载体与增益介质相对应的一端设置有增透膜Ⅱ，增透膜Ⅱ与增透膜Ⅰ相对应。本发明的优点如下：（1）加V槽的光纤光栅与增益介质的耦合损耗小。（2）加V槽后光纤光栅抗冲击性好，噪声小。（3）光纤光栅作反射结构和波长选择，噪声小，线宽窄。（4）光纤光栅作谐振腔的一部分，激光器耦合进光纤不需要透镜，结构简单，损耗小。
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公开(公告)号：CN109799576B
公开(公告)日：2020-11-27
申请号：CN201910114206.X
申请日：2019-02-14
Applicant: 河南仕佳光子科技股份有限公司
IPC: G02B6/12
Abstract: 本发明公开了一种同侧阵列波导光栅芯片，包括输入波导结构、输入平板结构、阵列波导结构、输出平板结构和输出波导结构；输入波导结构经输入平板结构与阵列波导结构连接，阵列波导结构经输出平板结构和输出波导结构连接，且输入波导结构的一个输入波导与输出波导结构的输出波导位于同一侧；输入平板结构和输出平板结构对称设置；本发明具有以下有益效果：1）尺寸紧凑，易于和其它器件集成。2）提高测试的效率和准确性。
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公开(公告)号：CN105607186B
公开(公告)日：2019-05-10
申请号：CN201610168021.3
申请日：2016-03-22
Applicant: 河南仕佳光子科技股份有限公司
Abstract: 本发明公开了一种基于SiO2加载条形波导的波导布拉格光栅及其制造方法，包括基底层、平板芯层、引导芯层和上包层，所述平板芯层覆盖在基底层的正面上，引导芯层位于平板芯层的正面上，上包层覆盖在平板芯层的正面并将引导芯层包裹。本发明具有工艺简单、成本较低、产品一致性较好、适合大规模生产等优点，相比于基于脊形波导的外脊调制型波导布拉格光栅的制作工艺具有工艺简单、成本较低、尺寸小等优点。
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公开(公告)号：CN107229095B
公开(公告)日：2019-04-26
申请号：CN201710629624.3
申请日：2017-07-28
Applicant: 河南仕佳光子科技股份有限公司
Abstract: 本发明公开了一种可调2×2光分路器，包括衬底，在衬底上设置有输入波导单元、耦合波导单元和输出波导单元；输入波导单元通过耦合波导单元与输出波导单元连接；且耦合波导单元包括耦合波导组件、热调制组件和隔热组件。本发明具有以下有益效果：1）可以实现任意分光比例调节。2）只有一级定向耦合器结构，损耗低、尺寸紧凑，且易于和其它器件集成。3）通过热调制组件实现不同电压调节，进行可实现不同波长下分光比调节。
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