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公开(公告)号:CN111850618A
公开(公告)日:2020-10-30
申请号:CN202010918748.5
申请日:2020-09-04
Applicant: 河南理工大学 , 南通美精微电子有限公司
Abstract: 本发明公开了一种电铸制造超薄金属网栅的阳极结构和方法,属于电沉积加工领域。该阳极结构包括搅拌桨、嵌设于搅拌桨底部平面中心处的直线状超微阳极、紧密贴附于搅拌桨和直线状超微阳极外侧的柔性电绝缘层,其特征在于:柔性电绝缘层的贴附在搅拌桨底端平面上的部分设有等间距分布的通透窄缝,其将直线状超微阳极分为若干个超微阳极阵列,使单个超微阳极下输出的电流高度集中化和局域化。两个加工方向上的扫描沉积依次循环交替进行,进而使得不同方向上的多条平行带状金属层交叉堆叠形成类编织状金属网栅结构。本发明通过调整窄缝的宽度和间距来实现对金属网栅尺寸的调控,并通过协同控制阳极运行速度和电流密度来实现金属网栅的高品质高效制造。
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公开(公告)号:CN114686961B
公开(公告)日:2023-06-02
申请号:CN202210420313.7
申请日:2022-04-21
Applicant: 河南理工大学 , 南通美精微电子有限公司
Abstract: 本发明公开了一种电铸成型、打孔一体化的多孔铜箔制造系统及方法,属于多孔铜箔加工技术领域。该系统包括电铸成型单元Ⅰ,含有铜箔传送辊、铜箔压辊、圆弧状永磁铁、铜箔收卷辊、活动掩膜带、弧形状阴极、第一掩膜带张紧辊、第二掩膜带张紧辊、掩膜带驱动辊、电解电源的电解制孔单元Ⅱ和电解液循环单元Ⅲ。加工时,铜箔经过各辊子及活动掩膜带后缠卷在收卷辊上,调整各辊子空间位置,使铜箔与各部分紧密压贴;打开溢流阀,电解液高速喷射向活动掩膜带;开启电源,裸露区域的铜材被溶解随掩模带的前移由微坑逐渐形成通孔。本发明可实现铜箔成型与打孔一体化、连续化和同步化,提高工艺柔性和适应性,满足海量孔铜箔的优质高效制备需求。
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公开(公告)号:CN115369454A
公开(公告)日:2022-11-22
申请号:CN202211081150.0
申请日:2022-09-06
Applicant: 河南理工大学 , 南通美精微电子有限公司
IPC: C25D1/00
Abstract: 本发明属于电铸技术领域,具体为一种用于制造螺旋形金属构件的电铸方法。虽然射流电铸可实现具有复杂空间结构金属构件的增材制造,但由于其沉积成形精度不高,尚无法满足应用需求。为此本发明提出了一种用于制造螺旋形金属构件的电铸方法,具体为固定喷嘴的空间位置,在电场作用下,喷嘴喷射出的电解液内的金属离子被还原为金属原子并沉积在芯轴上设置的导电基座上,同时驱动柱状芯轴运动,金属层便缠绕着芯轴螺旋生长。本方法所采用的喷口与芯轴截面均可更换为多种形状,因此可制造多种空间结构的螺旋形金属构件。本发明所提出的电铸方法电铸所得金属构件的空间形状精度高且可实现多种截面形状、空间结构螺旋形金属构件的电铸制造。
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公开(公告)号:CN113369608B
公开(公告)日:2022-10-04
申请号:CN202110650264.1
申请日:2021-06-11
Applicant: 河南理工大学 , 南通美精微电子有限公司
IPC: B23H3/00
Abstract: 本发明公开了一种在金属表面同步制备微织构和微织化微坑的方法,属于掩膜电解加工领域。基于带式掩膜电解加工系统,调整主动轮、从动轮和金属圆柱体三者的空间位置,使掩膜带紧密贴合在平面工件上;开启位于掩膜带与平面工件之间的电解液喷嘴,向它们的夹角处喷射电解液;把金属圆柱体、平面工件分别与电解电源负极、正极连接;开启电解电源,利用金属圆柱体上的阵列微凸点与平面工件的间隙小、电流密度大、溶解速度更快的特性,使金属圆柱体先形成与阵列微凸点形状相似的微坑,随着进一步电化学溶解,在平面工件表面同步制备微织构和微织化微坑。本发明可一次性地在平面工件表面加工出微织构和微织化微坑,加工效率更高,工艺成本低,适应性强。
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公开(公告)号:CN113322498B
公开(公告)日:2022-09-06
申请号:CN202110741229.0
申请日:2021-07-01
Applicant: 河南理工大学 , 南通美精微电子有限公司
Abstract: 本发明公开了一种用于电铸薄壁金属定影管的脱模装置与方法,属于电化学加工技术领域。该装置主要包括固定钩、原模、金属定影管、吸拉头、负压产生单元、支承轴、底座。基于该装置,首先将外边面带有金属定影管的原模通过固定钩和支承轴可旋转、可拆卸地固定在底座上。接着,启动负压产生单元,手持手柄将吸拉头紧密吸附于金属定影管表面。然后,水平移动吸拉头并旋转原模,直至将吸附点位完全遍布于金属定影管表面。最后,将金属定影管从原模上抽离即完成了脱模,关闭负压产生单元。本发明脱模装置简单,易实现脱模,脱模效果好,效率高,工艺成本低。
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公开(公告)号:CN114990646A
公开(公告)日:2022-09-02
申请号:CN202210880914.6
申请日:2022-07-26
Applicant: 河南理工大学 , 南通美精微电子有限公司
IPC: C25D1/08
Abstract: 本发明专利公开了一种电铸增厚局域网制件的装置及方法,其装置包括电源、设有出口的电铸槽、电铸液、竖直固定于电铸槽内且浸没于电铸液中的平面薄片状局域网制件、阳极、电铸液循环过滤系统和温控单元,其特征在于:它还包括辅助阳极、辅助阳极仓、含有若干镂空孔的平面薄片状辅助阴极、设有若干喷液孔的平面状喷液板、滑动电阻I和滑动电阻II。本发明可同时解决与阳极正对面的局域网制件表面的加厚金属层的厚度分布不均、网孔区背面异常电沉积金属、网孔壁面金属过快增厚等问题,可以实现兼具高开孔率、高目数、大厚径比和高厚度分布均匀性等特点的精密局域网孔制件的电铸制造。
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公开(公告)号:CN114686961A
公开(公告)日:2022-07-01
申请号:CN202210420313.7
申请日:2022-04-21
Applicant: 河南理工大学 , 南通美精微电子有限公司
Abstract: 本发明公开了一种电铸成型、打孔一体化的多孔铜箔制造系统及方法,属于多孔铜箔加工技术领域。该系统包括电铸成型单元Ⅰ,含有铜箔传送辊、铜箔压辊、圆弧状永磁铁、铜箔收卷辊、活动掩膜带、弧形状阴极、第一掩膜带张紧辊、第二掩膜带张紧辊、掩膜带驱动辊、电解电源的电解制孔单元Ⅱ和电解液循环单元Ⅲ。加工时,铜箔经过各辊子及活动掩膜带后缠卷在收卷辊上,调整各辊子空间位置,使铜箔与各部分紧密压贴;打开溢流阀,电解液高速喷射向活动掩膜带;开启电源,裸露区域的铜材被溶解随掩模带的前移由微坑逐渐形成通孔。本发明可实现铜箔成型与打孔一体化、连续化和同步化,提高工艺柔性和适应性,满足海量孔铜箔的优质高效制备需求。
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公开(公告)号:CN112458507A
公开(公告)日:2021-03-09
申请号:CN202011152080.4
申请日:2020-10-26
Applicant: 河南理工大学 , 南通美精微电子有限公司
Abstract: 本发明涉及一种电沉积书写系统,包括书写笔、电沉积电源、阴极基底、工作台等。所述的电沉积书写系统由惰性金属丝、书写笔、电解液、电沉积电源、阴极基底构成;所述的书写笔包括中空状书写笔杆、中空状书写笔头、陶瓷球珠;所述的陶瓷球珠为圆球状,镶嵌于中空状书写笔头中,电解液随陶瓷球珠转动由四周流下。一种直写式制备金属微纳结构的方法,基于该系统,陶瓷球珠在阴极基底滚过的路径上电沉积出金属微纳结构。本发明结构简单、成本低、易于操控。本发明所制备的金属结构宽度易于调整、沉积质量高。此外,本发明适用性强,可在任意形状的阴极基底表面上制备复杂形状的金属微纳结构。
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公开(公告)号:CN111621817A
公开(公告)日:2020-09-04
申请号:CN202010606508.1
申请日:2020-06-30
Applicant: 河南理工大学 , 南通美精微电子有限公司
IPC: C25D1/02
Abstract: 本发明专利公开了一种电铸金属圆管用挂具,属于电铸加工领域。该挂具主要包括上固定座、下固定座、引电单元、圆筒状钛网、联接杆、芯模;所述的上固定座包括上底座、轴承Ⅰ、内齿轮套;所述的下固定座包括下底座、轴承Ⅱ、导向柱;所述的引电单元包括引电架、引电轴承、引电杆、惰轮。本发明可协同提高芯模表面流场与电场分布均匀性,使得电铸层厚度分布均匀性好。本发明中的圆筒状钛网与芯模可做相对反向旋转运动,加强了对芯模附近电解液的搅拌,电铸速度更快。此外,强烈的搅拌可对芯模表面可能产生的气泡产生有效的驱离作用,使得电铸金属圆管表面质量好,良品率高。
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公开(公告)号:CN115369454B
公开(公告)日:2024-12-31
申请号:CN202211081150.0
申请日:2022-09-06
Applicant: 河南理工大学 , 南通美精微电子有限公司
IPC: C25D1/00
Abstract: 本发明属于电铸技术领域,具体为一种用于制造螺旋形金属构件的电铸方法。虽然射流电铸可实现具有复杂空间结构金属构件的增材制造,但由于其沉积成形精度不高,尚无法满足应用需求。为此本发明提出了一种用于制造螺旋形金属构件的电铸方法,具体为固定喷嘴的空间位置,在电场作用下,喷嘴喷射出的电解液内的金属离子被还原为金属原子并沉积在芯轴上设置的导电基座上,同时驱动柱状芯轴运动,金属层便缠绕着芯轴螺旋生长。本方法所采用的喷口与芯轴截面均可更换为多种形状,因此可制造多种空间结构的螺旋形金属构件。本发明所提出的电铸方法电铸所得金属构件的空间形状精度高且可实现多种截面形状、空间结构螺旋形金属构件的电铸制造。
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