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公开(公告)号：CN117213391A
公开(公告)日：2023-12-12
申请号：CN202310390333.9
申请日：2023-04-13
Applicant: 法博思(宁波)半导体设备有限公司 , 上海电机学院
Abstract: 本发明公开了一种基于空间载波技术的最优系统误差设计方法，包括以下步骤：S1、获取待测镜待测表面的PV值；S2、令系统回程误差OPD所占权重与待测表面PV值所占权重相等，误差范围在±15％之间；S3、计算待测镜相对于参考镜的最优倾角α；S4、计算最优倾角α所对应的最优载波条纹数N。本发明采用上述的一种基于空间载波技术的最优系统误差设计方法，可以针对不同类型、不同规格的待测镜引入不同数量的载波条纹，将系统回程误差控制在合理范围内，使后续相位提取过程中既不会出现频谱混叠，又尽可能的保留了更多的面形信息，提升了利用SPSI技术测量面形的精度。
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