公开(公告)号：CN110914474A

公开(公告)日：2020-03-24

申请号：CN201880049292.4

申请日：2018-07-19

Applicant: 法国圣戈班玻璃厂

Inventor： J.林纳 ,  J.哈根 ,  N.胡恩 ,  J.鲁夫

IPC: C23C28/00 ,  C23C16/26 ,  C23C14/14 ,  C23C14/06 ,  C03C17/36

Abstract: 本发明涉及经涂覆的基底，其中涂层从基底开始按下列顺序包含：a)类金刚石碳（DLC）层，b)金属单片或多片层，和c)阻氧层，其中所述金属单片或多片层含有b1)锡；或锡和至少一种用于锡的合金元素，它们未成合金和/或成合金地存在，或b2)镁和至少一种用于镁的合金元素，它们未成合金和/或成合金地存在。根据本发明涂覆的基底保护DLC层，因此可将所述层回火。该涂层在热处理前具有良好的机械稳定性和良好的老化稳定性。相对无反应性材料的根据本发明的使用在EHS方面有利。所述保护层在回火后容易除去。然后，获得具有出色质量和高耐划伤性的DLC涂层。

公开(公告)号：CN110914468A

公开(公告)日：2020-03-24

申请号：CN201880049489.8

申请日：2018-07-19

Applicant: 法国圣戈班玻璃厂

Inventor： J.哈根 ,  N.胡恩 ,  J.林纳

IPC: C23C14/00 ,  C23C14/06

Abstract: 本发明涉及在安置了带有靶(9)的磁控管(10)和基底(1)的真空室(3)中使用借助磁控靶生成等离子体的PECVD法（磁控管PECVD）用类金刚石碳（DLC）层涂覆基底(1)的方法，其中所述方法包括将至少一种反应物气体引入在真空室中由磁控靶(9)生成的等离子体中，因此形成反应物气体的片段，所述片段沉积在基底(1)上以形成DLC层。根据本发明的方法适于用DLC层大面积涂覆基底(1)，例如玻璃板。所得DLC层在耐划伤性和光学性质方面具有出色质量。根据本发明的方法可用常规沉积装置实施。基底加热不是必要的。