公开(公告)号：CN103940796A

公开(公告)日：2014-07-23

申请号：CN201410163277.6

申请日：2014-04-22

Applicant: 浙江大学

Inventor： 许迎科 ,  南迪 ,  樊剑南 ,  孙永红 ,  刘旭 ,  匡翠芳

IPC: G01N21/64

Abstract: 本发明公开了一种新型多角度多模式快速切换环状光学照明显微成像系统。本发明包括激光器、单模光纤、准直透镜、扫描振镜、扫描透镜、第一场镜、聚焦镜、二色镜、TIRF显微物镜、样品台、滤波片、第二场镜、探测器；单模光纤、准直透镜、扫描振镜依次位于激光器出射光束的光轴之上,扫描透镜、第一场镜、聚焦镜、二色镜依次位于经扫描振镜射出光束的光轴上；TIRF显微物镜、样品台依次位于二色镜反射光束光轴上，滤波片、第二场镜、探测器依次位于二色镜透射光束光轴上；样品台位于TIRF显微物镜的焦平面处，探测器的采集孔位于第二场镜的焦平面处；本发明在TIRF的基础上实现方便快捷、高分辨率和低噪声的显微实验观察。

公开(公告)号：CN117928370A

公开(公告)日：2024-04-26

申请号：CN202311755923.3

申请日：2023-12-19

Applicant: 浙江大学杭州国际科创中心

Inventor： 崔玉栋 ,  张嘉润 ,  路天畅 ,  郝翔 ,  卞殷旭 ,  匡翠芳 ,  刘旭

IPC: G01B9/02 ,  G01B11/24 ,  G01S17/08 ,  G01S7/481

Abstract: 本发明公开了一种扫频干涉表面结构检测系统和方法，涉及面型检测和扫频激光领域。该系统主要包括扫频激光产生单元、干涉单元、扫描探测单元和信号处理单元。本发明与现有技术相比，本发明中采用单点光电探测器采集干涉光信号，通过单点计算的方式进行相位解算，通过解算光电探测系统每个位置获得的干涉信息获得待测表面每个位置的距离信息，实现高精度的表面结构检测，可以达到纳米量级。使用位移台扫描的方式移动探测器探测扫频干涉光，可以实现大范围、高精度的测量。由于单点探测器接收速度远高于面阵探测器，在扫描范围较小时本发明可以实现快速探测。

公开(公告)号：CN113253572B

公开(公告)日：2024-01-19

申请号：CN202110529681.0

申请日：2021-05-14

Applicant: 之江实验室 ,  浙江大学

Inventor： 匡翠芳 ,  曹春 ,  沈小明 ,  邱毅伟 ,  黄宁 ,  刘旭

IPC: G03F7/027

Abstract: 本发明公开了一种智能可逆光敏性飞秒激光光刻胶及光刻加工方法，其特征在于智能可逆光敏性飞秒激光光刻胶组份中包含一种可逆光敏引发剂，其具有可逆光敏性，在350‑550nm波长光源的刺激下，可逆光敏引发剂可以发生结构构象转变，失去对700‑1000nm飞秒激光的非线性吸收能力，变成失活状态，从而控制光刻胶的光化学反应，以获得更高的光刻精度，智能可逆光敏性飞秒激光光刻胶，按质量百分比计，包括0.1‑6wt%可逆光敏引发剂A和94‑99.9wt%树脂B。

公开(公告)号：CN113253572A

公开(公告)日：2021-08-13

申请号：CN202110529681.0

申请日：2021-05-14

Applicant: 之江实验室 ,  浙江大学

Inventor： 匡翠芳 ,  曹春 ,  沈小明 ,  邱毅伟 ,  黄宁 ,  刘旭

IPC: G03F7/027

Abstract: 本发明公开了一种智能可逆光敏性飞秒激光光刻胶及光刻加工方法，其特征在于智能可逆光敏性飞秒激光光刻胶组份中包含一种可逆光敏引发剂，其具有可逆光敏性，在350‑550nm波长光源的刺激下，可逆光敏引发剂可以发生结构构象转变，失去对700‑1000nm飞秒激光的非线性吸收能力，变成失活状态，从而控制光刻胶的光化学反应，以获得更高的光刻精度，智能可逆光敏性飞秒激光光刻胶，按质量百分比计，包括0.1‑6wt%可逆光敏引发剂A和94‑99.9wt%树脂B。