一种偏振滤光元件及其制备方法

    公开(公告)号:CN108469645B

    公开(公告)日:2021-01-26

    申请号:CN201810348223.5

    申请日:2018-04-18

    Applicant: 浙江大学

    Abstract: 本发明公开了一种偏振滤光元件,包括基底,所述基底上依次设有介质膜层和金属线栅;所述介质膜层由高、低折射率材料层交替设置而成;所述的高折射率材料层的材料选自二氧化钛、二氧化铪、五氧化二钽、氮化硅、硫化锌;所述的低折射率材料层的材料选自二氧化硅、三氧化二铝、氟化镁或其他氟化物;介质膜层中,各层厚度为10~220nm;所述的金属线栅的材料选自金、银、铝、铜或其合金。本发明还公开了该偏振滤光元件的制备方法。本发明的偏振滤光元件整体结构紧凑、制备过程简单,成本低,便于大规模、批量化生产。因此该发明的偏振滤光元件有望在显示等领域广泛应用。

    辐射制冷滤光片及其制备方法和应用

    公开(公告)号:CN108710169A

    公开(公告)日:2018-10-26

    申请号:CN201810882085.9

    申请日:2018-08-03

    Applicant: 浙江大学

    Abstract: 本发明公开了一种辐射制冷滤光片,包括基板,所述的基板单面抛光,所述基板的毛面上设有金属反射层,所述基板的抛光面上依次设有中间层和顶层;所述中间层包括交替设置的A层和B层;每层A层、B层的厚度为50~400nm;所述A层的材料为二氧化硅或氧化铝,所述B层的材料为二氧化钛、氮化硅或碳化硅;或,所述A层的材料为二氧化钛或氧化铝,所述B层的材料为二氧化硅、氮化硅或碳化硅;所述顶层的材料为氟化镱、氟化钇或硫化锌;中间层与顶层共同构成在大气透明窗口(8~13um波段)波段的多谐振吸收增强器。相比于传统的滤光片,本发明的滤光片不但能长时间地在强光下工作,并且能够实现被动地辐射制冷。

    镀膜玻片在超分辨显微技术上的应用

    公开(公告)号:CN106019423A

    公开(公告)日:2016-10-12

    申请号:CN201610563199.8

    申请日:2016-07-15

    Applicant: 浙江大学

    CPC classification number: G02B1/10

    Abstract: 本发明公开一种镀膜玻片在超分辨显微技术上的应用,包括:1)在衬底上镀设光学薄膜,并将微纳样品放置在所述的光学薄膜上或在所述的光学薄膜上制备微纳结构;2)放置微纳光源,并将微纳光源的倏逝场耦合进所述的光学薄膜,使得传输的倏逝场作用于微纳样品或微纳结构;或者将外界光场直接耦合进光学薄膜波导内传输,并在传输过程中与微纳样品或者微纳结构相互作用;3)通过显微镜获取微纳结构或微纳样品的光学成像,并对像进行频谱分析和图像重构。

    基于多孔氧化铝的可见—近红外宽波段吸收器及制备方法

    公开(公告)号:CN105891917A

    公开(公告)日:2016-08-24

    申请号:CN201610254849.0

    申请日:2016-04-22

    Applicant: 浙江大学

    CPC classification number: G02B5/003

    Abstract: 本发明公开了一种基于多孔氧化铝的可见—近红外宽波段吸收器,包括基底,所述基底的正面布置有高低折射率介质减反膜系;所述基底的背面布置有双通的多孔氧化铝模板,所述多孔氧化铝模板上覆盖有金属薄膜。本发明还公开了上述吸收器的制备方法。本发明采用了多孔氧化铝模板,利用多孔氧化铝上覆盖一层薄薄高吸收金属的结构,实现多孔氧化铝孔底面和侧壁上介质?金属间强烈的谐振,从而实现可见—近红外波段宽波段的吸收。本发明基于多孔氧化铝的可见—近红外宽波段吸收器结构简单,制备简便,成本低,便于大规模、批量化生产。因此该发明有望在杂散光消除、空间探测、成像、光热转换及电磁吸收等领域广泛应用。

    一种穿戴显示用分束器及其制备方法

    公开(公告)号:CN105388625A

    公开(公告)日:2016-03-09

    申请号:CN201510981459.9

    申请日:2015-12-23

    Applicant: 浙江大学

    CPC classification number: G02B27/283

    Abstract: 本发明公开了一种穿戴显示用分束器及其制备方法,分束器由两块相同的直角棱镜,两个直角棱镜斜面相向固定,两个斜面之间设有由高、低折射率材料层交替设置的多层膜堆,该多层膜堆选择性反射s-偏振光的红绿蓝三原色LED光源光谱、透射s-偏振光其余波段和整个可见波段的p-偏振光。本发明结合了胶合棱镜偏振分束器与带通滤光片,利用合适的高低折射率膜层同时满足布儒斯特角来实现传统的偏振分束的效果,利用设计的高低折射率膜系实现多通道的带通滤光,从而使得在满足特定波长高反射的情况下,其余波段能量重新被利用,大大地增加了偏振分束器在头盔显示等应用中的能量利用率。本发明的分束器,制备简单,成本低,便于大规模、批量化生产。

    一种基于多孔氧化铝的彩色滤光片的制备方法

    公开(公告)号:CN103592715A

    公开(公告)日:2014-02-19

    申请号:CN201310505263.3

    申请日:2013-10-23

    Applicant: 浙江大学

    Abstract: 本发明公开了一种基于多孔氧化铝的彩色滤光片的制备方法,包括:通过等效层的方法,设计出与之对应的多孔氧化铝孔径和高折射率氧化物厚度;将洁净的铝箔电解抛光;阳极氧化;在有序排列的多孔氧化铝上通过原子层沉积填充不同厚度的高折射率氧化物;在经原子层沉积的多孔氧化铝上镀一层金属层,即可制备。本发明制备的基于多孔氧化铝的彩色滤光片,与传统的彩色滤光片不同,它利用的是光学干涉的原理,通过在不同的多孔氧化铝孔径中填充不同厚度的高折射率氧化物,使得中间介质层的等效光学厚度发生改变,从而调控不同颜色,制备出不同中心波长的彩色滤光片。本发明方法制备简单,成本低,便于大规模、批量化生产。

    一种利用原子层沉积技术制备褶皱负滤光片的方法

    公开(公告)号:CN103018811A

    公开(公告)日:2013-04-03

    申请号:CN201210539537.6

    申请日:2012-12-12

    Applicant: 浙江大学

    Abstract: 本发明公开了一种利用原子层沉积技术制备褶皱负滤光片的方法,包括:设计一种褶皱负滤光片,得到折射率随着厚度的分布曲线,将设计的褶皱负滤光片划分成若干个折射率层;采用对称膜系等效层的方法,将每个折射率层的折射率等效为一个恒值折射率;采用第一折射率材料以及第二折射率材料,将每个折射率层分成T个循环周期数,再确定每个循环周期数内第一折射率材料的厚度d1和第二折射率材料的厚度d2;采用原子层沉积技术依次沉积折射率层,得到褶皱负滤光片。本发明利用ALD原子量级的沉积精度以及优异的重复性,克服了当前褶皱负滤光片制备过程中极薄层监控困难、设备复杂、花费昂贵等问题,精确控制厚度,制备褶皱负滤光片。

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