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公开(公告)号：CN119467886B
公开(公告)日：2025-04-18
申请号：CN202510054136.9
申请日：2025-01-14
Applicant: 浙江蔚福科技股份有限公司
Abstract: 本发明涉及一种金属波纹软管及生产工艺，所述金属波纹软管包括至少一端具有对接缩径端部的金属波纹管，以及至少一具有对接扩径端部的精管件，所述对接缩径端部的外端与所述对接扩径端部的大直径端对接并焊接连接，所述对接缩径端部的直径从所述金属波纹管侧向所述精管件侧逐渐缩小。本申请优点：利用将金属波纹管和精管件直接焊接连接，其能有效地增加软管的有效长度，同时使得金属波纹软管具有更好的自由度，并且减小液体传输的流阻，在有运动的工况，可以增加疲劳寿命。
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公开(公告)号：CN118583677A
公开(公告)日：2024-09-03
申请号：CN202410742763.7
申请日：2024-06-11
Applicant: 浙江蔚福科技股份有限公司
Abstract: 本发明提供了一种波纹管疲劳寿命检测系统及检测方法，属于波纹管检测技术领域，解决了传统波纹管疲劳寿命检测装置存在的检测过程中的运动控制精度不足、运动过冲现象显著以及测试工况单一问题。本发明的波纹管疲劳寿命检测系统，包括桁架，桁架的底部设置底部滑动单元，底部滑动单元上平移驱动第二导气装置，桁架的一侧设置第一导气装置，第一导气装置与第二导气装置之间形成检测工位。本发明通过使用底部滑台伺服电机、第一滑台伺服电机和第二滑台伺服电机，配合编码器的应用，能够实现高精度的定位和控制；本发明的设计考虑到了不同的测试需求和环境条件，通过调整滑台位置可以适应更广泛的测试工况。
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公开(公告)号：CN112413246A
公开(公告)日：2021-02-26
申请号：CN202011340020.5
申请日：2020-11-25
Applicant: 浙江蔚福科技股份有限公司
Abstract: 本发明涉及一种半导体冷却管路及其加工方法。它解决了现有半导体管路低温状态容易出现冷凝水的现象。本半导体冷却管路包括金属可饶性波纹管体，在金属可饶性波纹管体上套设有金属网套，在金属可饶性波纹管体的两端端面固定有加强环，金属网套的两端分别套设在加强环上，套设在金属网套两端的压网环，压网环的外端端面和加强环的外端端面齐平并且压网环的内端延长至金属可饶性波纹管体的外围，本管路还包括包覆在金属网套和两个压网环外壁的气凝胶缠绕保温层，以及套设在气凝胶缠绕保温层上的热缩护套。本申请优点：利用气凝胶缠绕保温层其可以起到保温的作用，避免与外界的热交换而导致管路外壁有冷凝水。
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公开(公告)号：CN118583677B
公开(公告)日：2025-03-18
申请号：CN202410742763.7
申请日：2024-06-11
Applicant: 浙江蔚福科技股份有限公司
Abstract: 本发明提供了一种波纹管疲劳寿命检测系统及检测方法，属于波纹管检测技术领域，解决了传统波纹管疲劳寿命检测装置存在的检测过程中的运动控制精度不足、运动过冲现象显著以及测试工况单一问题。本发明的波纹管疲劳寿命检测系统，包括桁架，桁架的底部设置底部滑动单元，底部滑动单元上平移驱动第二导气装置，桁架的一侧设置第一导气装置，第一导气装置与第二导气装置之间形成检测工位。本发明通过使用底部滑台伺服电机、第一滑台伺服电机和第二滑台伺服电机，配合编码器的应用，能够实现高精度的定位和控制；本发明的设计考虑到了不同的测试需求和环境条件，通过调整滑台位置可以适应更广泛的测试工况。
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公开(公告)号：CN118926127A
公开(公告)日：2024-11-12
申请号：CN202410488426.X
申请日：2024-04-23
Applicant: 浙江蔚福科技股份有限公司
Abstract: 本发明提供了一种金属软管的气密性自动检测系统及检测方法，包括传送装置，传动装置的两侧设置拆装供气装置，传动装置上方架设检测箱，传送装置包括循环输送机构，循环输送机构上呈环形排列若干组软管定位机构，软管定位机构包括并排设置的夹持板和固定板，夹持板的两端设置夹持组件，循环输送机构的顶部设置夹紧气缸，循环输送机构的底部依次设置第一释放气缸、第二释放气缸，第一释放气缸的下方衔接良品收集篮，第二释放气缸的下方衔接不良品收集篮。检测方法包括：1、上料；2、送料；3、装配母头和堵头；4、充气检测；a、通气阶段；b、保压阶段；c、放气阶段；d、异常报警；5、拆卸母头和堵头；6、良品收集；7、不良品收集。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN118926127B
公开(公告)日：2025-03-18
申请号：CN202410488426.X
申请日：2024-04-23
Applicant: 浙江蔚福科技股份有限公司
Abstract: 本发明提供了一种金属软管的气密性自动检测系统及检测方法，包括传送装置，传送装置的两侧设置拆装供气装置，传送装置上方架设检测箱，传送装置包括循环输送机构，循环输送机构上呈环形排列若干组软管定位机构，软管定位机构包括并排设置的夹持板和固定板，夹持板的两端设置夹持组件，循环输送机构的顶部设置夹紧气缸，循环输送机构的底部依次设置第一释放气缸、第二释放气缸，第一释放气缸的下方衔接良品收集篮，第二释放气缸的下方衔接不良品收集篮。检测方法包括：1、上料；2、送料；3、装配母头和堵头；4、充气检测；a、通气阶段；b、保压阶段；c、放气阶段；d、异常报警；5、拆卸母头和堵头；6、良品收集；7、不良品收集。
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公开(公告)号：CN119467886A
公开(公告)日：2025-02-18
申请号：CN202510054136.9
申请日：2025-01-14
Applicant: 浙江蔚福科技股份有限公司
Abstract: 本发明涉及一种金属波纹软管及生产工艺，所述金属波纹软管包括至少一端具有对接缩径端部的金属波纹管，以及至少一具有对接扩径端部的精管件，所述对接缩径端部的外端与所述对接扩径端部的大直径端对接并焊接连接，所述对接缩径端部的直径从所述金属波纹管侧向所述精管件侧逐渐缩小。本申请优点：利用将金属波纹管和精管件直接焊接连接，其能有效地增加软管的有效长度，同时使得金属波纹软管具有更好的自由度，并且减小液体传输的流阻，在有运动的工况，可以增加疲劳寿命。
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公开(公告)号：CN219388885U
公开(公告)日：2023-07-21
申请号：CN202320230710.8
申请日：2023-02-16
Applicant: 浙江蔚福科技股份有限公司
Abstract: 本实用新型涉及一种高洁净真空波纹管。它解决了现有波纹管真空度低且结构强度差的技术问题。本高洁净真空波纹管包括：金属波纹管体，沿长度方向具有若干个轴向截面呈径向突出波纹状的波纹筒状部，位于金属波纹管体的两端最外侧的波纹筒状部环切形成焊接平面，所述焊接平面轴向截面长度小于或者等于波纹筒状部的轴向长度的50％；连接环，一端贴合并焊接于所述焊接平面上。本高洁净真空波纹管减少了波纹管体与连接环焊接形成的真空死角，提高真空波纹管的真空度，同时提高管体与焊接点结构强度，而且便于提高连接环双端焊接空间，提升焊接性能。
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公开(公告)号：CN213689530U
公开(公告)日：2021-07-13
申请号：CN202022289109.5
申请日：2020-10-14
Applicant: 浙江蔚福科技股份有限公司
Inventor： 吴庆岩
IPC: G01N33/00
Abstract: 本实用新型涉及半导体技术领域，特别是一种半导体溅合设备专用测试装置，包括框架本体、悬臂梁、检测模块、第一液体测试组件、第二液体测试组件、第一气体测试组件和第二气体测试组件，所述框架本体包括底板、第一竖板、第二竖板和辅助板，所述第一竖板与第二竖板分别竖直安装在底板的两侧。本实用新型优点在于：将需测试的气体通过第一进气口输送至第一连接管内，并将第一连接管的另一端连接第一气体流量传感器，使得第一气体流量传感器可以对第一连接管的气体进行测试，测试完成后，通过连接第一输液接口，将清洁液体输送至第一连接管内，对第一连接管内进行清洁，防止因第一连接管内残留的测试气体，而影响后续测试的结果。
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公开(公告)号：CN222119476U
公开(公告)日：2024-12-06
申请号：CN202420939528.4
申请日：2024-04-30
Applicant: 浙江蔚福科技股份有限公司
Abstract: 本实用新型涉及一种晶元体生长用双循环冷却装置，包括环形本体，以及设置在所述环形本体内部的环状送气道和环状冷却水道，在所述环形本体上设有和所述环状送气道连通的气体循环管路，在所述环形本体上设有和所述环状冷却水道连通的进水口和出水口，在所述环状冷却水道内设有截流部；在所述环形本体的圆周方向，所述进水口位于所述截流部的其中一侧外侧，所述出水口位于所述截流部的另一侧外侧。本申请优点：本申请利用在环状冷却水道中设置截流部，从根本上改变了环状冷却水道内部的水流流向，使得冷却水最大程度的流经整个装置内部，增大了环状冷却水道的冷却面积，各个区域的温度均匀，从而提高装置的晶元体生长加工效率。
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