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公开(公告)号：CN108603747B
公开(公告)日：2020-08-18
申请号：CN201780009338.5
申请日：2017-02-02
Applicant: 浜松光子学株式会社
Abstract: 本发明的光模块包括：具有沿着规定方向移动的可动部的致动器；具有第1可动镜、第1固定镜和第1分束器的第1干涉光学系统；和具有第2可动镜、第2固定镜和第2分束器的第2干涉光学系统。第1干涉光学系统构成为第1光在第1分束器与第1可动镜之间沿着规定方向往返m次，其中，m为自然数。第2干涉光学系统构成为第2光在第2分束器与第2可动镜之间沿着规定方向往返n次，其中，n为比m大的自然数。
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公开(公告)号：CN113474899B
公开(公告)日：2024-09-13
申请号：CN202080016667.4
申请日：2020-02-25
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: H01L31/02 , H01L27/146
Abstract: 光检测装置的制造方法具备：第一工序，准备具有第一主面及第二主面的半导体晶圆；第二工序，在第一主面设置第一支撑基板；第三工序，在第一主面设置有第一支撑基板的状态下，切断半导体晶圆及第一支撑基板，在第一表面设置有支撑构件的状态下，得到受光元件；第四工序，使用配置于第二表面和电路结构体的安装面之间的多个连接构件，在第一表面设置有支撑构件的状态下，将受光元件和电路结构体电连接且物理连接；以及第五工序，从第一表面除去支撑构件。
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公开(公告)号：CN113474899A
公开(公告)日：2021-10-01
申请号：CN202080016667.4
申请日：2020-02-25
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: H01L31/02 , H01L27/146
Abstract: 光检测装置的制造方法具备：第一工序，准备具有第一主面及第二主面的半导体晶圆；第二工序，在第一主面设置第一支撑基板；第三工序，在第一主面设置有第一支撑基板的状态下，切断半导体晶圆及第一支撑基板，在第一表面设置有支撑构件的状态下，得到受光元件；第四工序，使用配置于第二表面和电路结构体的安装面之间的多个连接构件，在第一表面设置有支撑构件的状态下，将受光元件和电路结构体电连接且物理连接；以及第五工序，从第一表面除去支撑构件。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN108603747A
公开(公告)日：2018-09-28
申请号：CN201780009338.5
申请日：2017-02-02
Applicant: 浜松光子学株式会社
Abstract: 本发明的光模块包括：具有沿着规定方向移动的可动部的致动器；具有第1可动镜、第1固定镜和第1分束器的第1干涉光学系统；和具有第2可动镜、第2固定镜和第2分束器的第2干涉光学系统。第1干涉光学系统构成为第1光在第1分束器与第1可动镜之间沿着规定方向往返m次，其中，m为自然数。第2干涉光学系统构成为第2光在第2分束器与第2可动镜之间沿着规定方向往返n次，其中，n为比m大的自然数。
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公开(公告)号：CN119092521A
公开(公告)日：2024-12-06
申请号：CN202411180235.3
申请日：2020-02-25
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: H01L27/146
Abstract: 光检测装置的制造方法具备：第一工序，准备具有第一主面及第二主面的半导体晶圆；第二工序，在第一主面设置第一支撑基板；第三工序，在第一主面设置有第一支撑基板的状态下，切断半导体晶圆及第一支撑基板，在第一表面设置有支撑构件的状态下，得到受光元件；第四工序，使用配置于第二表面和电路结构体的安装面之间的多个连接构件，在第一表面设置有支撑构件的状态下，将受光元件和电路结构体电连接且物理连接；以及第五工序，从第一表面除去支撑构件。
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公开(公告)号：CN107850492B
公开(公告)日：2021-04-06
申请号：CN201580082046.5
申请日：2015-09-03
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: G01J3/45
Abstract: 光学干涉仪(1A)具备分支合波部(10)、第一光学系统(20)、第二光学系统(30)以及驱动部(40)。分支合波部(10)在透明构件的内部与外部之间的边界具有分支面(11)、入射面(12)、第一出射面(13)、合波面(14)以及第二出射面(15)，在分支面(11)上使入射光(L0)的一部分反射并作为第一分支光(L11)出射并且将剩余部分作为第二分支光(L21)向内部透过，在合波面(14)上对第一分支光(L12)以及第二分支光(L22)各自一部分进行合波并作为第一合波光(L3)向外部出射，并且对各个剩余部分进行合波并作为第二合波光(L4)向内部传播，在第二出射面(15)上使第二合波光(L4)的一部分(L41)向外部出射。由此，实现了能够降低过量损失的比例的光学干涉仪。
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公开(公告)号：CN107850492A
公开(公告)日：2018-03-27
申请号：CN201580082046.5
申请日：2015-09-03
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: G01J3/45
CPC classification number: G01J3/45 , G01B9/02059
Abstract: 光学干涉仪(1A)具备分支合波部(10)、第一光学系统(20)、第二光学系统(30)以及驱动部(40)。分支合波部(10)在透明构件的内部与外部之间的边界具有分支面(11)、入射面(12)、第一出射面(13)、合波面(14)以及第二出射面(15)，在分支面(11)上使入射光(L0)的一部分反射并作为第一分支光(L11)出射并且将剩余部分作为第二分支光(L21)向内部透过，在合波面(14)上对第一分支光(L12)以及第二分支光(L22)各自一部分进行合波并作为第一合波光(L3)向外部出射，并且对各个剩余部分进行合波并作为第二合波光(L4)向内部传播，在第二出射面(15)上使第二合波光(L4)的一部分(L41)向外部出射。由此，实现了能够降低过量损失的比例的光学干涉仪。
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公开(公告)号：CN107850491A
公开(公告)日：2018-03-27
申请号：CN201580081466.1
申请日：2015-07-10
Applicant: 浜松光子学株式会社
CPC classification number: G01B9/02049 , G01B9/02 , G01B9/02027 , G01J3/45 , G01J3/453
Abstract: 光学干涉仪(1A)具备分支合波部(10)、第一光学系统(20)、第二光学系统(30)以及驱动部(40)，可以由MEMS构成。分支合波部(10)在透明构件的内部与外部之间的边界上具有分支面(11)、入射面(12)、出射面(13)以及合波面(14)。分支合波部(10)在分支面(11)上使入射光(L0)的一部分反射并作为第一分支光(L11)出射并且将剩余部分作为第二分支光(L21)向内部透过。分支合波部(10)在合波面(14)上使第一分支光(L12)向外部出射并且使第二分支光(L22)反射，对两个光进行合波并作为合波光(L3)向外部出射。由此，实现了能够减小从分支到合波的期间的光损失并且能够改善干涉效率的MEMS所构成的光学干涉仪。
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