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公开(公告)号：CN114755817B
公开(公告)日：2025-04-01
申请号：CN202210538583.8
申请日：2018-07-06
Applicant: 浜松光子学株式会社
Abstract: 在光学器件中，基体和可动部由从规定方向上的一侧起依次具有第1半导体层、绝缘层和第2半导体层的半导体基片构成。基体由第1半导体层、绝缘层和第2半导体层构成。可动部具有由第2半导体层构成的配置部。光学功能部配置在配置部的一侧的表面上。构成基体的第1半导体层比构成基体的第2半导体层厚。基体的一侧的表面位于比光学功能部靠一侧。多个弹性支承部中的各个具有：杠杆；连接于杠杆与基体之间的第1扭转支承部；和连接于杠杆与可动之间的第2扭转支承部。
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公开(公告)号：CN113424028B
公开(公告)日：2024-07-05
申请号：CN202080011471.6
申请日：2020-01-17
Applicant: 浜松光子学株式会社
Abstract: 光模块的信号处理部具有：电压信号控制部，其控制电压信号，以使具有用于使可动反射镜进行谐振动作的频率的电压信号被施加于反射镜器件；强度获取部，其实施强度获取处理。强度获取处理是如下处理，即：在电压信号中连续的P周期中的多个周期的各个周期内，以基于电压信号的频率的第一时间间隔，获取M次测定光的干涉光的测定光强度，且获取相互对应的同一次的测定光强度的相加值，并且在该多个周期的各个周期内，以基于电压信号的频率的第二时间间隔，获取N次激光的干涉光的激光强度，且获取相互对应的同一次的激光强度的相加值。
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公开(公告)号：CN113376828B
公开(公告)日：2023-08-01
申请号：CN202110691198.2
申请日：2018-07-06
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: G02B26/08 , G02B27/14 , G02B7/182 , G01J3/453 , G01J3/45 , G01J3/14 , G01J3/10 , G01J3/06 , G01J3/02 , G01B9/02015 , B81B3/00
Abstract: 反射镜组件(2)包括：含有基体(21)和可动反射镜(22)的反射镜器件(20)；光学功能部件(13)；和相对于光学功能部件(13)配置在与反射镜器件(20)相反侧的固定反射镜(16)。在反射镜器件(20)形成有构成分束器组件(3)与固定反射镜(16)之间的光路的第1部分的光通过部(24)。在光学功能部件(13)形成有构成分束器组件(3)与固定反射镜(16)之间的光路的第2部分的光透射部(14)。基体(21)的第2表面(21b)与光学功能部件(13)的第3表面(13a)彼此接合在一起。
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公开(公告)号：CN115598830A
公开(公告)日：2023-01-13
申请号：CN202211376638.6
申请日：2018-07-06
Applicant: 浜松光子学株式会社(JP)
IPC: G02B26/08
Abstract: 本发明提供实现可动反射镜的镜面的大型化，并抑制可动反射镜的可动性能降低和装置整体的大型化的光学器件。光学器件(10)包括：具有主面的基体(12)；具有沿着与主面平行的平面的镜面的可动反射镜(11)；将可动反射镜以沿着与主面垂直的第1方向可移动的方式支承的第1弹性支承部(14)和第2弹性支承部(15)；使可动反射镜沿着第1方向移动的致动器部(16)；和配置在与第1方向垂直的第2方向上的可动反射镜的一侧的第1光学功能部(17)。第1弹性支承部(14)具有从可动反射镜(11)沿着主面向与第1和第2方向垂直的第3方向上的第1光学功能部的两侧延伸的一对第1杆(141)。第2方向上的一对第1杆(141)各自的长度(A1)大于镜面(11a)的外缘与第1光学功能部(17)的边缘之间的最短距离(D1)。
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公开(公告)号：CN110720069B
公开(公告)日：2021-12-24
申请号：CN201880037794.5
申请日：2018-07-06
Applicant: 浜松光子学株式会社
Abstract: 光学器件中，弹性支承部具有：在垂直于第1方向的第2方向上彼此相对的一对杆；沿第2方向延伸，分别连接在一对杆与底座之间的一对第1扭转支承部；沿第2方向延伸，分别连接在一对杆与可动部之间的一对第2扭转支承部；和架设于一对杆之间的第1联接部件。一对杆和第1联接部件划定光通过开口。一对杆与一对第1扭转支承部的连接位置的各个在垂直于第1方向和第2方向的第3方向上相对于光通过开口的中心位于可动部的相反侧。第2方向上的光通过开口的最大宽度由第2方向上的一对杆之间的间隔规定。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN110392857B
公开(公告)日：2021-09-21
申请号：CN201880017378.9
申请日：2018-03-14
Applicant: 浜松光子学株式会社
Abstract: 本发明光组件包括支承层(2)、设置在支承层(2)上的器件层(3)、和安装于器件层(3)的可动反射镜(5)。器件层(3)具有：安装有可动反射镜(5)的安装区域(31)、和与安装区域(31)连接的驱动区域(32)。在支承层(2)与器件层(3)之间形成有至少与安装区域(31)和驱动区域(32)对应的空间(S1)。安装区域(31)被驱动区域(32)中包含的一对弹性支承区域(34)夹着，由一对弹性支承区域(34)支承。
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公开(公告)号：CN108603747B
公开(公告)日：2020-08-18
申请号：CN201780009338.5
申请日：2017-02-02
Applicant: 浜松光子学株式会社
Abstract: 本发明的光模块包括：具有沿着规定方向移动的可动部的致动器；具有第1可动镜、第1固定镜和第1分束器的第1干涉光学系统；和具有第2可动镜、第2固定镜和第2分束器的第2干涉光学系统。第1干涉光学系统构成为第1光在第1分束器与第1可动镜之间沿着规定方向往返m次，其中，m为自然数。第2干涉光学系统构成为第2光在第2分束器与第2可动镜之间沿着规定方向往返n次，其中，n为比m大的自然数。
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公开(公告)号：CN110809728A
公开(公告)日：2020-02-18
申请号：CN201880041551.9
申请日：2018-07-06
Applicant: 浜松光子学株式会社
Abstract: 在光学器件中，基体和可动部由从规定方向上的一侧起依次具有第1半导体层、绝缘层和第2半导体层的半导体基片构成。基体由第1半导体层、绝缘层和第2半导体层构成。可动部具有由第2半导体层构成的配置部。光学功能部配置在配置部的一侧的表面上。构成基体的第1半导体层比构成基体的第2半导体层厚。基体的一侧的表面位于比光学功能部靠一侧。
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公开(公告)号：CN110799883A
公开(公告)日：2020-02-14
申请号：CN201880042644.3
申请日：2018-07-06
Applicant: 浜松光子学株式会社
Abstract: 本发明的光学装置具备：弹性支撑部，其以可动部能够沿着第1方向移动的方式支撑可动部；第1梳齿电极，其具有多个第1梳齿；及第2梳齿电极，其具有多个第2梳齿。弹性支撑部具有：扭力棒，其沿着与第1方向垂直的第2方向延伸；及非线性缓和弹簧，其连接于扭力棒与可动部之间。非线性缓和弹簧构成为，在可动部在第1方向移动的状态下，非线性缓和弹簧绕第2方向的变形量小于扭力棒绕第2方向的变形量，且与第1方向及第2方向垂直的第3方向上的非线性缓和弹簧的变形量大于第3方向上的扭力棒的变形量。相邻的第1梳齿与第2梳齿在第2方向上彼此相对。
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公开(公告)号：CN115657296A
公开(公告)日：2023-01-31
申请号：CN202211330344.X
申请日：2018-08-02
Applicant: 浜松光子学株式会社
Abstract: 本发明的目的是提供一种能够高精度地形成梁部的光学器件的制造方法。本发明的光学器件的制造方法包括：第1步骤，准备具有与基底、可动部和弹性支承部对应的部分的半导体基板(100)；第2步骤，在第1半导体层(101)的与绝缘层(103)相反侧的表面中与基底对应的区域形成第1抗蚀层(104)；第3步骤，通过将第1抗蚀层(104)用作掩模对第1半导体层进行蚀刻直至厚度方向上的中间部，而在第1半导体层形成凹部(105)；第4步骤，在凹部(105)的底面(105a)中与梁部对应的区域、凹部的侧面(105b)和第1半导体层的与绝缘层(103)相反侧的表面(101a)形成第2抗蚀层(106)；第5步骤，通过将第2抗蚀层(106)用作掩模对第1半导体层(101)进行蚀刻直至绝缘层(103)，而形成梁部(224)。
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