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公开(公告)号：CN114341702B
公开(公告)日：2025-03-04
申请号：CN202080061969.3
申请日：2020-09-02
Applicant: 浜松光子学株式会社
Abstract: 本发明的光扫描系统的制造方法具备：组装各自具备反射镜器件和磁铁的多个装置结构的工序；针对多个装置结构中的各个，获取第一数据以及第二数据的工序，其中，第一数据用于修正相对于电流信号的频率的变化的反射镜的摆动角的变化，第二数据用于修正以第一轴为中心轴进行摆动的反射镜从Y轴的偏离及以第二轴为中心轴进行摆动的反射镜从X轴的偏离的至少一方；针对多个装置结构中的至少一个装置结构，获取用于修正相对于使用温度的变化的反射镜的摆动角的变化的第三数据的工序；以及将第一数据及第二数据在保持多个装置结构中的各个和第一数据及第二数据的对应关系的状态下保存于存储部，并且将第三数据保存于存储部的工序。
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公开(公告)号：CN114341701A
公开(公告)日：2022-04-12
申请号：CN202080061878.X
申请日：2020-09-02
Applicant: 浜松光子学株式会社
Abstract: 本发明的光扫描系统具备：反射镜器件、磁铁、温度传感器、以及运算部。运算部基于第一目标摆动角及第一目标频率、第二目标摆动角及第二目标频率、使用温度、第一数据、第二数据、以及第三数据，来生成第一电流信号及第二电流信号，其中，第一数据用于修正相对于输入第一驱动用线圈及第二驱动用线圈中的各个的电流信号的频率的变化的反射镜的摆动角的变化，第二数据用于修正以第一轴为中心轴进行摆动的反射镜从Y轴的偏离及以第二轴为中心轴进行摆动的反射镜从X轴的偏离中的至少一方，第三数据用于修正相对于使用温度的变化的反射镜的摆动角的变化。
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公开(公告)号：CN114341701B
公开(公告)日：2024-11-08
申请号：CN202080061878.X
申请日：2020-09-02
Applicant: 浜松光子学株式会社
Abstract: 本发明的光扫描系统具备：反射镜器件、磁铁、温度传感器、以及运算部。运算部基于第一目标摆动角及第一目标频率、第二目标摆动角及第二目标频率、使用温度、第一数据、第二数据、以及第三数据，来生成第一电流信号及第二电流信号，其中，第一数据用于修正相对于输入第一驱动用线圈及第二驱动用线圈中的各个的电流信号的频率的变化的反射镜的摆动角的变化，第二数据用于修正以第一轴为中心轴进行摆动的反射镜从Y轴的偏离及以第二轴为中心轴进行摆动的反射镜从X轴的偏离中的至少一方，第三数据用于修正相对于使用温度的变化的反射镜的摆动角的变化。
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公开(公告)号：CN118589767A
公开(公告)日：2024-09-03
申请号：CN202410227638.2
申请日：2024-02-29
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: H02K11/20 , H02K33/00 , H02K33/18 , H02P29/00 , H02P25/032 , H02P25/034 , H02P7/025 , G01N27/20 , G01N27/04 , G01N27/72 , G01N27/82 , G01D21/00 , G01M99/00 , G01M13/00
Abstract: 本发明的致动器装置包括第1可动部、第2可动部、磁铁部、线圈、以及控制部，该控制部将用于共振驱动第1可动部的第1驱动信号和用于非共振驱动第2可动部的第2驱动信号供给至线圈。异常检测方法包括：控制部将第2驱动信号供给至线圈的步骤；在将第2驱动信号供给至线圈的状态下获取与线圈中产生的反电动势对应的输出值的步骤；以及基于供给至线圈的第2驱动信号和获取的输出值判定第2可动部的倾斜状态中是否产生了异常的步骤。
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公开(公告)号：CN114341702A
公开(公告)日：2022-04-12
申请号：CN202080061969.3
申请日：2020-09-02
Applicant: 浜松光子学株式会社
Abstract: 本发明的光扫描系统的制造方法具备：组装各自具备反射镜器件和磁铁的多个装置结构的工序；针对多个装置结构中的各个，获取第一数据以及第二数据的工序，其中，第一数据用于修正相对于电流信号的频率的变化的反射镜的摆动角的变化，第二数据用于修正以第一轴为中心轴进行摆动的反射镜从Y轴的偏离及以第二轴为中心轴进行摆动的反射镜从X轴的偏离的至少一方；针对多个装置结构中的至少一个装置结构，获取用于修正相对于使用温度的变化的反射镜的摆动角的变化的第三数据的工序；以及将第一数据及第二数据在保持多个装置结构中的各个和第一数据及第二数据的对应关系的状态下保存于存储部，并且将第三数据保存于存储部的工序。
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