-
公开(公告)号:CN100459137C
公开(公告)日:2009-02-04
申请号:CN200480010259.9
申请日:2004-04-14
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: H01L27/14 , H01L27/146 , H01L27/148 , H04N5/335
CPC classification number: H01L27/14618 , H01L27/1464 , H01L27/14683 , H01L27/14812 , H01L2224/45144 , H01L2224/48091 , H01L2924/00014 , H01L2924/00
Abstract: 在半导体基板(1)的表面侧形成CCD部(3)。其次,对半导体基板(1)的背面侧的对应于CCD部(3)的区域进行薄化处理,保留该区域的周边区域(1a),在半导体基板(1)的背面侧形成蓄积层(5)。其次,在半导体基板(1)的表面侧的对应于周边区域(1a)的区域(1b)上,形成与CCD部(3)电气连接的电气配线(7)、以及电气连接在该电气配线(7)上的电极焊接区(9),将支撑基板(11)粘接在半导体基板(1)的表面侧上,使电极焊接区(9)露出,同时覆盖CCD部(3)。其次,在半导体基板(1)被薄化处理的部分将半导体基板(1)以及支撑基板(11)切断,保留对应于形成有电气配线(7)以及电极焊接区(9)的区域(1b)的周边区域(1a)。
-
公开(公告)号:CN100387051C
公开(公告)日:2008-05-07
申请号:CN200480011042.X
申请日:2004-04-14
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: H04N5/335 , H01L27/146
CPC classification number: H04N5/378 , H01L27/14618 , H01L2224/48091 , H01L2924/1305 , H01L2924/15787 , H01L2924/19105 , H04N5/335 , H01L2924/05432 , H01L2924/00014 , H01L2924/00
Abstract: 本发明的固体摄像装置(IS1)包括插件(P1)、CCD芯片(11)、芯片电阻阵列(21)等。在插件(P1)上以向中空部(1)突出的方式而设置有用于放置CCD芯片(11)和芯片电阻阵列(21)的放置部(2)。放置部(2)具有第一平面部(3)和第二平面部(4),第一平面部(3)和第二平面部(4)形成水平差。CCD芯片(11)通过隔板(13)而放置并固定在第一平面部(3)上。芯片电阻阵列(21)放置并固定在第二平面部(4)上。芯片电阻阵列(21)通过第一平面部(3)和第二平面部(4)的水平差而将CCD芯片(11)和芯片电阻阵列(21)靠近配置。
-
公开(公告)号:CN1996607A
公开(公告)日:2007-07-11
申请号:CN200710007043.2
申请日:2001-03-28
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: H01L27/146
Abstract: 光电二极管阵列(1)包括P+扩散层(4、5)和N+沟道阻挡层(6、7)以及N+扩散层(8)。P+扩散层(4、5)和N+沟道阻挡层(6、7)设置在半导体衬底(3)的背面一侧。N+沟道阻挡层(6)设置在相邻的P+扩散层(4、5)之间,具有网络状以隔离P+扩散层(4、5)。N+沟道阻挡层(7)在P+扩散层阵列的外侧与N+沟道阻挡层(6)接连起来被设置成框状。N+沟道阻挡层(7)的宽度被作成为比N+沟道阻挡层(6)的宽度宽。闪烁体光学性地连接到半导体衬底(3)的入射面上。
-
公开(公告)号:CN1777994B
公开(公告)日:2011-04-06
申请号:CN200480010934.8
申请日:2004-04-22
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: H01L27/148 , H04N5/372
CPC classification number: H01L27/14806 , H04N5/3698 , H04N5/372
Abstract: 本发明的能量线感应区域(11),其水平方向被分割成以垂直方向作为长度方向的m个列,此外,其垂直方向被分割成以水平方作为长度方向的n个行,包括m×n个二维排列的光电转换部(13)。该光电转换部(13)分别感应能量线的入射而生成电荷。在能量线感应区域(11)的表面一侧,以覆盖该能量线感应区域(11)的方式而设置有多个传输电极(15)。多个传输电极(15)分别以水平方向作为长度方向而设置,沿着垂直方向排列。各传输电极(15)通过各分压电阻(17)进行电气连接。各分压电阻(17)对应于各传输电极(15)进行设置,对来自直流电源(19)的直流输出电压进行分压而生成直流输出电位,供给对应该直流输出电位的传输电极(15)。
-
公开(公告)号:CN1324714C
公开(公告)日:2007-07-04
申请号:CN01807540.1
申请日:2001-03-28
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: H01L27/142 , H04N5/32
CPC classification number: H01L31/103 , H01L27/14663
Abstract: 光电二极管阵列(1)包括P+扩散层(4、5)和N+沟道阻挡层(6、7)以及N+扩散层(8)。P+扩散层(4、5)和N+沟道阻挡层(6、7)设置在半导体衬底(3)的背面一侧。N+沟道阻挡层(6)设置在相邻的P+扩散层(4、5)之间,具有网格状以隔离P+扩散层(4、5)。N+沟道阻挡层(7)在P+扩散层阵列的外侧与N+沟道阻挡层(6)接连起来被设置成框状。N+沟道阻挡层(7)的宽度被作成为比N+沟道阻挡层(6)的宽度宽。闪烁体光学性地连接到半导体衬底(3)的入射面上。
-
公开(公告)号:CN1778103A
公开(公告)日:2006-05-24
申请号:CN200480011042.X
申请日:2004-04-14
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: H04N5/335 , H01L27/146
CPC classification number: H04N5/378 , H01L27/14618 , H01L2224/48091 , H01L2924/1305 , H01L2924/15787 , H01L2924/19105 , H04N5/335 , H01L2924/05432 , H01L2924/00014 , H01L2924/00
Abstract: 本发明的固体摄像装置(IS1)包括插件(P1)、CCD芯片(11)、芯片电阻阵列(21)等。在插件(P1)上以向中空部(1)突出的方式而设置有用于放置CCD芯片(11)和芯片电阻阵列(21)的放置部(2)。放置部(2)具有第一平面部(3)和第二平面部(4),第一平面部(3)和第二平面部(4)形成水平差。CCD芯片(11)通过隔板(13)而放置并固定在第一平面部(3)上。芯片电阻阵列(21)放置并固定在第二平面部(4)上。芯片电阻阵列(21)通过第一平面部(3)和第二平面部(4)的水平差而将CCD芯片(11)和芯片电阻阵列(21)靠近配置。
-
公开(公告)号:CN1774810A
公开(公告)日:2006-05-17
申请号:CN200480010259.9
申请日:2004-04-14
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: H01L27/14 , H01L27/146 , H01L27/148 , H04N5/335
CPC classification number: H01L27/14618 , H01L27/1464 , H01L27/14683 , H01L27/14812 , H01L2224/45144 , H01L2224/48091 , H01L2924/00014 , H01L2924/00
Abstract: 在半导体基板(1)的表面侧形成CCD部(3)。其次,对半导体基板(1)的背面侧的对应于CCD部(3)的区域进行薄化处理,保留该区域的周边区域(1a),在半导体基板(1)的背面侧形成蓄积层(5)。其次,在半导体基板(1)的表面侧的对应于周边区域(1a)的区域(1b)上,形成与CCD部(3)电气连接的电气配线(7)、以及电气连接在该电气配线(7)上的电极焊接区(9),将支撑基板(11)粘接在半导体基板(1)的表面侧上,使电极焊接区(9)露出,同时覆盖CCD部(3)。其次,在半导体基板(1)被薄化处理的部分将半导体基板(1)以及支撑基板(11)切断,保留对应于形成有电气配线(7)以及电极焊接区(9)的区域(1b)的周边区域(1a)。
-
公开(公告)号:CN1422441A
公开(公告)日:2003-06-04
申请号:CN01807540.1
申请日:2001-03-28
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: H01L27/142 , H04N5/32
CPC classification number: H01L31/103 , H01L27/14663
Abstract: 光电二极管阵列(1)包括P+扩散层(4、5)和N+沟道阻挡层(6、7)以及N+扩散层(8)。P+扩散层(4、5)和N+沟道阻挡层(6、7)设置在半导体衬底(3)的背面一侧。N+沟道阻挡层(6)设置在相邻的P+扩散层(4、5)之间,具有网格状以隔离P+扩散层(4、5)。N+沟道阻挡层(7)在P+扩散层阵列的外侧与N+沟道阻挡层(6)接连起来被设置成框状。N+沟道阻挡层(7)的宽度被作成为比N+沟道阻挡层(6)的宽度宽。闪烁体光学性地连接到半导体衬底(3)的入射面上。
-
公开(公告)号:CN100533754C
公开(公告)日:2009-08-26
申请号:CN200710007043.2
申请日:2001-03-28
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: H01L27/146
Abstract: 光电二极管阵列(1)包括P+扩散层(4、5)和N+沟道阻挡层(6、7)以及N+扩散层(8)。P+扩散层(4、5)和N+沟道阻挡层(6、7)设置在半导体衬底(3)的背面一侧。N+沟道阻挡层(6)设置在相邻的P+扩散层(4、5)之间,具有网络状以隔离P+扩散层(4、5)。N+沟道阻挡层(7)在P+扩散层阵列的外侧与N+沟道阻挡层(6)接连起来被设置成框状。N+沟道阻挡层(7)的宽度被作成为比N+沟道阻挡层(6)的宽度宽。闪烁体光学性地连接到半导体衬底(3)的入射面上。
-
公开(公告)号:CN100490169C
公开(公告)日:2009-05-20
申请号:CN200480029201.9
申请日:2004-09-30
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: H01L27/148 , H04N5/335 , G01J1/02
CPC classification number: H04N5/335 , H01L27/1443
Abstract: 本发明涉及一种具有用于有效降低噪声的结构的能量线检测元件。该能量线检测元件具有能量线感应区域、输出部、多个电极和分压电路。能量线感应区域感应能量线的入射并产生电荷。在能量线感应区域的表面,以分别覆盖能量线感应区域的一部分的方式设置有多个电极。各电极与包含串联连接的多个分压电阻的分压电路电连接。分压电路通过电阻分压对来自直流电源的直流输出电压进行分压,由此,施加与电极分别对应的直流输出电位。输出部蓄积能量线感应区域内产生的电荷,输出与蓄积电荷量相当的电流信号或电压信号。
-
-
-
-
-
-
-
-
-