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公开(公告)号：CN101538016A
公开(公告)日：2009-09-23
申请号：CN200910001612.1
申请日：1996-07-16
Applicant: 液体空气乔治洛德方法利用和研究有限公司
CPC classification number: B01D53/225 , B01D53/22 , B01D53/226 , B01D53/229 , B01D2257/204 , B01D2257/2066 , C07C17/38 , Y02C20/30 , Y02P20/154 , Y02P20/155 , C07C19/08
Abstract: 在此给出了从气体混合物中回收至少一种过氟化合物气体的工艺和系统。在一个实施方案中，本发明方法包括以下步骤：a)提供一包括至少一种过氟化合物气体和至少一种载气的气体混合物；气体混合物处于预先设定的压力下；b)提供至少一个具有进料侧和透过侧的玻璃态聚合物膜；c)将至少一个聚合物膜的进料侧与气体混合物相接触；d)在基本上与预先设定的压力相同的压力下从膜的进料侧将一基本上含有至少一种过氟化合物气体的浓缩气体混合物取出作为不渗透物流；以及e)从膜的透过侧将一基本上含有至少一种载气的乏气混合物取出作为透过物流。
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公开(公告)号：CN1148250C
公开(公告)日：2004-05-05
申请号：CN00128791.5
申请日：1996-07-16
Applicant: 液体空气乔治洛德方法利用和研究有限公司
CPC classification number: B01D53/225 , B01D53/22 , B01D53/226 , B01D53/229 , B01D2257/204 , B01D2257/2066 , C07C17/38 , Y02C20/30 , Y02P20/154 , Y02P20/155 , C07C19/08
Abstract: 一种半导体制造系统，其特征为：a)至少一台适于接受过氟化合物气体、载气及类似物的反应器室、此外有一与反应器室相连接的反应器废气管道；b)至少一个具有进料侧和透过侧的玻璃态聚合物膜分离单元，上述的膜至少对一种载气是可渗透的而至少对一种过氟化合物气体是基本上不可渗透的；所说的膜单元通过反应器废气管道与上述的反应器室相连接，该膜单元设有一透过物排放管道和一不渗透物管道；和c)用于将来自上述膜单元的所说的不渗透物流的至少一部分循环返回至少一个反应器室的装置。
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公开(公告)号：CN1304779A
公开(公告)日：2001-07-25
申请号：CN00128791.5
申请日：1996-07-16
Applicant: 液体空气乔治洛德方法利用和研究有限公司
CPC classification number: B01D53/225 , B01D53/22 , B01D53/226 , B01D53/229 , B01D2257/204 , B01D2257/2066 , C07C17/38 , Y02C20/30 , Y02P20/154 , Y02P20/155 , C07C19/08
Abstract: 一种半导体制造系统,其特征为:a)至少一台适于接受过氟化合物气体、载气及类似物的反应器室、此外有一与反应器室相连接的反应器废气管道;b)至少一个具有进料侧和透过侧的玻璃态聚合物膜分离单元,上述的膜至少对一种载气是可渗透的而至少对一种过氟化合物气体是基本上不可渗透的;所说的膜单元通过反应器废气管道与上述的反应器室相连接,该膜单元设有一透过物排放管道和一不渗透物管道;和c)用于将来自上述膜单元的所说的不渗透物流的至少一部分循环返回至少一个反应器室的装置。
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公开(公告)号：CN1150057A
公开(公告)日：1997-05-21
申请号：CN96110278.0
申请日：1996-07-16
Applicant: 液体空气乔治洛德方法利用和研究有限公司
CPC classification number: B01D53/225 , B01D53/22 , B01D53/226 , B01D53/229 , B01D2257/204 , B01D2257/2066 , C07C17/38 , Y02C20/30 , Y02P20/154 , Y02P20/155 , C07C19/08
Abstract: 在此给出了从气体混合物中回收至少一种过氟化合物气体的工艺和系统。在一个实施方案中，本发明方法包括以下步骤：a)提供一包括至少一种过氟化合物气体和至少一种载气的气体混合物；气体混合物处于预先设定的压力下；b)提供至少一个具有进料侧和透过侧的玻璃态聚合物膜；c)将至少一个聚合物膜的进料侧与气体混合物相接触；d)在基本上与预先设定的压力相同的压力下从膜的进料侧将一基本上含有至少一种过氟化合物气体的浓缩气体混合物取出作为不渗透物流；以及e)从膜的透过侧将一基本上含有至少一种载气的乏气混合物取出作为透过物流。
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