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公开(公告)号：CN111667448A
公开(公告)日：2020-09-15
申请号：CN201910169152.7
申请日：2019-03-06
Applicant: 深圳中科飞测科技有限公司
Abstract: 一种图像处理方法包括：提供待检测图像和参考图像；确定所述待检测图像的第一有效区和所述参考图像的第二有效区；获取所述第一有效区的第一灰度均值和第二有效区的第二灰度均值；根据所述第一灰度均值和所述第二灰度均值获取所述待检测图像和所述参考图像的第一灰阶差异；根据所述第一灰阶差异对所述参考图像或待检测图像进行灰度补偿，使第一灰度均值和第二灰度均值相同；所述灰度补偿之后，将所述参考图像与待检测图像进行比较，确定图像缺陷。通过待检测图像和参考图像的有效区的均值灰度的差异进行灰度补偿，能够有效的适应待检测图像的灰度差异，有利于提高对待检测图像的缺陷检测的精度。
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公开(公告)号：CN111563870A
公开(公告)日：2020-08-21
申请号：CN201910114098.6
申请日：2019-02-14
Applicant: 深圳中科飞测科技有限公司
IPC: G06T7/00
Abstract: 本公开涉及一种图像处理方法和设备、检测方法和装置、存储介质。该图像处理方法包括：提供待处理图像，所述待处理图像包括多个数据点，各数据点分别包括待测物表面各点的位置信息及强度信息；在所述待处理图像中获取检测目标的目标图像；根据所述目标图像中数据点的个数及强度信息，对所述检测目标进行分类。本公开可以从待测物的待处理图像中获取检测目标的目标图像，根据所述目标图像中数据点的个数及强度信息，对所述检测目标进行分类，从而大大提高了待测物上焊点、缺陷等检测目标的检测精度和检测效率，并可以精确地对检测目标进行分类。
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公开(公告)号：CN111220088A
公开(公告)日：2020-06-02
申请号：CN201811415699.2
申请日：2018-11-26
Applicant: 深圳中科飞测科技有限公司
IPC: G01B11/24
Abstract: 本公开提供了一种测量系统和方法，涉及测量技术领域，所述测量系统包括：光源，用于产生检测光束；物镜，被配置为使所述检测光束照射到被测物体的被测区域，根据来自所述被测区域的反射光束得到待处理光束；分光器，被配置为对所述待处理光束进行分光，以得到第一光束和第二光束；成像装置，被配置为根据所述第一光束得到探测图像；光强探测装置，被配置为根据所述第二光束得到预设波长的光对应的强度；移动设备，被配置为在不同时刻下使所述物镜沿光轴方向相对于所述被测物体移动；处理系统，被配置为根据不同时刻下所述预设波长的光对应的强度和不同时刻下的探测图像，确定所述被测区域的高度信息。
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公开(公告)号：CN110849900A
公开(公告)日：2020-02-28
申请号：CN201810955348.4
申请日：2018-08-21
Applicant: 深圳中科飞测科技有限公司
IPC: G01N21/95
Abstract: 本发明公开了一晶圆缺陷检测装置及方法。检测系统包括：检测组件，其被配置为基于所接收到的检测光束来产生对应于指定的入射角的检测光斑；信号收集组件，其被配置为收集被测物在检测光斑的作用下而产生的信号光，进而生成对应于入射角的检测信息；以及处理器组件，其被配置为使得检测组件以第一入射角与第二入射角依次生成检测光斑，进而至少基于对应于第一、第二入射角的第一、第二检测信息来确定被测物上的缺陷特征信息。通过采用本发明的技术方案，节约了晶圆的移动时间，能明显增加检测速度。
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公开(公告)号：CN110849898A
公开(公告)日：2020-02-28
申请号：CN201810954689.X
申请日：2018-08-21
Applicant: 深圳中科飞测科技有限公司
IPC: G01N21/95
Abstract: 本发明公开了一种晶圆缺陷检测系统及方法。检测系统包括：检测组件，其被配置为基于所接收到的检测光束来同时产生对应于第一入射角的第一检测光斑与对应于第二入射角的第二检测光斑；信号收集组件，其被配置为收集被测物在第一检测光斑与第二检测光斑的作用下而产生的信号光，进而生成分别与第一检测光斑和第二检测光斑相对应的第一检测信息和第二检测信息；以及处理器组件，其被配置为至少基于第一检测信息和第二检测信息来确定被测物上的缺陷特征信息。通过采用本发明的技术方案，节约了晶圆的移动时间，能明显增加检测速度和精度。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN110057835A
公开(公告)日：2019-07-26
申请号：CN201910457362.6
申请日：2019-05-29
Applicant: 深圳中科飞测科技有限公司
IPC: G01N21/95 , G01N21/958
Abstract: 本申请公开了一种检测装置及检测方法。装置包括光线发生设备和成像设备。光线发生设备包括条纹图案，该设备用于发射光束并通过所述光束将所述条纹图案投射至所述待测物，条纹图案包括多个平行排列的分离的直条；成像设备用于获得待测物透射或反射的所述光束形成检测图像，所述检测图像包括多个条纹；检测图像用于根据所述条纹获取所述待测物的缺陷信息。如果待测物表面加工理想不存在缺陷，成像设备得到的检测图像应该呈现出与条纹图案相似的笔直条纹。但如果待测物表面存在缺陷，例如桔纹、模刮或压痕等，检测图像中的条纹则会发生扭曲。利用该检测装置能够实现对待测物表面缺陷的自动检测，相比于现有的人工检测方法，检测效率显著提高。
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公开(公告)号：CN109920753A
公开(公告)日：2019-06-21
申请号：CN201910203296.X
申请日：2019-03-18
Applicant: 深圳中科飞测科技有限公司
IPC: H01L21/683 , H01L21/66
Abstract: 本发明公开了一种承载装置及承载系统，涉及封装技术领域，用以优化承载装置的结构。承载装置包括第一基体和第二基体。第一基体用于吸附待吸附物，第一基体设有贯穿第一基体厚度方向的真空孔。第二基体设有真空接口。第一基体和/或第二基体设有凹槽，第一基体和第二基体共同将凹槽围成真空腔，真空孔与真空腔连通，真空接口也与真空腔连通。其中，真空孔与凹槽连通的第一端尺寸大于真空孔背离凹槽的第二端尺寸。上述技术方案提供的承载装置，便于加工制造且吸附效果好。
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公开(公告)号：CN109613024A
公开(公告)日：2019-04-12
申请号：CN201811338393.1
申请日：2018-11-12
Applicant: 深圳中科飞测科技有限公司
IPC: G01N21/958
Abstract: 本发明属于半导体处理设备技术领域，尤其涉及一种运动平台及其工作方法、检测设备及检测方法，运动平台包括：底座；设置于所述底座的第一旋转机构，包括第一旋转台和第一驱动组件；设置在所述第一旋转台上的第二旋转机构，用于绕第二旋转轴旋转；设置在所述第一旋转台上的第一卡盘；第二卡盘，固定于所述第一旋转台外露于所述第一卡盘的一侧，所述第二旋转机构用于驱动所述第二卡盘绕所述第二旋转轴旋转，所述第一卡盘的顶面与所述第二卡盘的顶面齐平。本发明的运动平台，由于第一旋转机构和第二旋转机构采用层叠设计，能保证对两个半片基板进行旋转的独立性，也能完成一个半片基板或对整片基板的旋转，适用性大大提高。
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公开(公告)号：CN109425619A
公开(公告)日：2019-03-05
申请号：CN201710770825.5
申请日：2017-08-31
Applicant: 深圳中科飞测科技有限公司
Abstract: 本发明公开了光学测量系统及方法。该系统包括：入射光产生单元，其被配置为产生用于测量待测物的入射光；反射光检测单元，其被配置为接收来自待测物的反射光，并确定相应的测量结果；以及处理单元，并被配置为利用入射光在待测物表面上形成的光斑以指定测量路径对待测物进行测量，处理单元基于测量结果来确定缺陷在待测物中的分布。本发明的测量系统结构简单、检测速度快、成本低，并且杂散光较少，具有更高的检测灵敏度。
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公开(公告)号：CN109084678A
公开(公告)日：2018-12-25
申请号：CN201811022876.0
申请日：2018-09-03
Applicant: 深圳中科飞测科技有限公司
Abstract: 本发明提供了一种光学检测装置和光学检测方法，光源用于出射探测光；投射器件用于将光源模组出射的探测光投射至待测物的表面，收集待测物的反射光并出射检测信号光；接收单元用于接收检测信号光，并根据检测信号光，获得待测物的图像信息和结构信息；孔径限制组件用于进出光源的出射光路，并在进入光源的出射光路时，对光源发出的探测光的口径进行限制，以阻挡与待测物的法线方向夹角较大的部分光线，从而可以获得待测物的结构信息和图像信息，根据图像信息确定待测物的待测区是否具有特定检测结构及其位置，并根据位置对特定检测结构进行结构检测，而且可以通过孔径限制组件对待测区的特定检测结构如高深宽比结构进行有效检测。
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