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1.

发明公开
基于超表面的太赫兹滤波器及其制作方法无效

公开(公告)号：CN110571501A

公开(公告)日：2019-12-13

申请号：CN201910870387.9

申请日：2019-09-16

Applicant: 深圳先进技术研究院

Inventor： 王政焱 , 易成汉 , 杨兵 , 余荣斌 , 陈明 , 杨春雷

IPC: H01P1/20 , H01P11/00

Abstract: 本发明公开了一种基于超表面的太赫兹滤波器及其制作方法。该方法包括：提供衬底并对所述衬底进行预处理；在所述衬底上形成第一谐振层；在所述第一谐振层上形成第一介质层；对所述第一介质层的部分区域进行激光诱导处理，以在所述第一介质层中形成第二谐振层，其中，所述第二谐振层厚度小于所述第一介质层的厚度。该太赫兹滤波器包括：第一谐振层；第一介质层，设置于所述第一谐振层上；第二谐振层，形成于所述第一介质层中，且所述第二谐振层的厚度小于所述第一介质层的厚度。利用激光直写的方法制作第二谐振层与传统的光刻方法相比程序简单，可以有效地提高效率；同时激光直写设备与光刻系统相比节约很多的成本，有利于大范围推广。

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