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公开(公告)号：CN103673897A
公开(公告)日：2014-03-26
申请号：CN201310665476.2
申请日：2013-12-10
Applicant: 深圳市华星光电技术有限公司
IPC: G01B11/02
CPC classification number: G01B11/0608 , G01B21/045
Abstract: 本发明涉及一种垫料高度测量机自动补正方法及系统，该方法包括：S1、在垫料高度测量机的机台或外框开设载物孔，在载物孔中安装补正样片；S2、使用垫料高度测量机的探头对补正样片进行拍摄，并选择标准图像；S3、调节探头电流，使得探头拍摄图像的亮度和灰阶与标准图像匹配。实施本发明，对垫料高度测量机的检测光源进行补正，使得光源的亮度更为稳定，从而保证了垫料高度测量机的测量准确性与检测结果的稳定性；另外通过调节电流可以延长检测光源的使用寿命。
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公开(公告)号：CN103529651A
公开(公告)日：2014-01-22
申请号：CN201310501656.7
申请日：2013-10-23
Applicant: 深圳市华星光电技术有限公司
IPC: G03F7/20
CPC classification number: C03C17/001
Abstract: 本发明实施例公开了一种在玻璃基板曝光制程中实现自动补值的系统，包括量测机、通信接口模块网络与曝光机，其中：量测机用于自动对曝光后的玻璃基板进行量测，并将量测获得的各个量测点的曝光偏移量数据通过所述通信接口模块网络上传给所述曝光机的预定存放区域中；曝光机用于根据所述各个量测点的曝光偏移量数据获得所述各个量测点相应的补值量，并对玻璃基板上与所述各个量测点对应的曝光点进行补值处理。本发明实施例还公开了相应的实现自动补值的方法。根据本发明的实施例，可以提高曝光机的补值效率以及补值准确性，并可节省人力。
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公开(公告)号：CN103903584B
公开(公告)日：2016-09-21
申请号：CN201410135851.7
申请日：2014-04-04
Applicant: 深圳市华星光电技术有限公司
Inventor： 黄文德
IPC: G09G3/36
CPC classification number: G09G3/3406 , G09G3/2007 , G09G2320/0233 , G09G2320/0276 , G09G2320/0646 , G09G2320/0673 , G09G2360/145 , G09G2360/16
Abstract: 本发明公开了一种自动光量补正系统以及自动光量补正方法。该自动光量补正系统（10）包括计算单元（106）、采集单元（108）和补正单元（120）。计算单元（106）用于基于亮度‑灰阶线性方程算出补正参数。采集单元（108）用于采集当前亮度值。补正单元（120）用于利用补正参数和当前亮度值算出目标亮度值。本发明的自动光量补正系统能够对光源的光量进行自动补正，解决亮度变异导致的量测异常等问题。
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公开(公告)号：CN103727888B
公开(公告)日：2016-06-15
申请号：CN201310740245.3
申请日：2013-12-27
Applicant: 深圳市华星光电技术有限公司
Inventor： 黄文德
IPC: G01B11/06
CPC classification number: G01B11/0675
Abstract: 本发明涉及一种彩色滤色片膜厚测量方法及装置，该方法包括以下步骤：S1、使用彩色摄像机拍摄彩色滤色片，获取彩色滤色片的彩色图像；S2、对于采集到的彩色图像进行色阶匹配，识别出彩色图像中的不同颜色区域以及背景区域；S3、定位测量到每一种颜色区域的中心，测量每一种颜色区域的中心膜厚和背景区域的膜厚。实施本发明的彩色滤色片膜厚测量方法及装置，能够准确分辨出彩色滤色片上的R、G、B的不同颜色的区域，同时通过测量颜色区域的正中位置，避免了因测量人员的选定测量区域的不同而导致的测量结果差异，还能消除因检测的彩色滤色片的摆放不平整而引起的测量误差。
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公开(公告)号：CN103743318B
公开(公告)日：2017-08-25
申请号：CN201310744288.9
申请日：2013-12-30
Applicant: 深圳市华星光电技术有限公司
IPC: G01B5/06
CPC classification number: G01B21/08 , G01B21/042 , G01B21/045
Abstract: 本发明涉及一种探针膜厚测量机坐标补正方法及装置，该方法包括以下步骤S1、在探针膜厚测量机的基座上固定定位补正片，定位补正片位于产品检测区域之外；S2、移动探针至定位补正片，记录探针位置为第一坐标；S3、按照第一坐标驱动探针，记录驱动探针后的位置为第二坐标；S4、记录第二坐标相对于定位补正片的偏差值为校正偏移值；S5、按照校正偏移值补正用于移动探针的坐标，再按照补正后的坐标移动探针。实施本发明的探针膜厚测量机坐标补正方法及装置，能够自动解决探针的机械坐标偏移导致的探测异常，大大减少调节探针的时间，节省人力的支出。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103529651B
公开(公告)日：2015-11-25
申请号：CN201310501656.7
申请日：2013-10-23
Applicant: 深圳市华星光电技术有限公司
IPC: G03F7/20
CPC classification number: C03C17/001
Abstract: 本发明实施例公开了一种在玻璃基板曝光制程中实现自动补值的系统，包括量测机、通信接口模块网络与曝光机，其中：量测机用于自动对曝光后的玻璃基板进行量测，并将量测获得的各个量测点的曝光偏移量数据通过所述通信接口模块网络上传给所述曝光机的预定存放区域中；曝光机用于根据所述各个量测点的曝光偏移量数据获得所述各个量测点相应的补值量，并对玻璃基板上与所述各个量测点对应的曝光点进行补值处理。本发明实施例还公开了相应的实现自动补值的方法。根据本发明的实施例，可以提高曝光机的补值效率以及补值准确性，并可节省人力。
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公开(公告)号：CN103041943B
公开(公告)日：2015-09-02
申请号：CN201310008969.9
申请日：2013-01-10
Applicant: 深圳市华星光电技术有限公司
CPC classification number: B05B15/55
Abstract: 本发明公开一种喷嘴清洁装置和具有该喷嘴清洁装置的涂布机，用于清洁一涂布机喷嘴（101），该喷嘴清洁装置包括清洁器（402）、抽真空管道（403）与真空泵（404），该清洁器（402）具有一形状与该涂布机喷嘴（101）相吻合的凹孔（4021），供该涂布机喷嘴（101）容纳于该凹孔（4021）中，该凹孔（4021）的内壁开设有多个通孔（4022）；该抽真空管道（403）的一端与该多个通孔（4022）连接，该抽真空管道（403）的另一端接入该真空泵（404）。通过本发明提供的喷嘴清洁装置可方便地去除残留的光刻胶以清洁喷嘴，有效地提高产品的成品率以及生产效率，且无需使用昂贵的纳米材料，成本低廉。
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公开(公告)号：CN103903584A
公开(公告)日：2014-07-02
申请号：CN201410135851.7
申请日：2014-04-04
Applicant: 深圳市华星光电技术有限公司
Inventor： 黄文德
IPC: G09G3/36
CPC classification number: G09G3/3406 , G09G3/2007 , G09G2320/0233 , G09G2320/0276 , G09G2320/0646 , G09G2320/0673 , G09G2360/145 , G09G2360/16
Abstract: 本发明公开了一种自动光量补正系统以及自动光量补正方法。该自动光量补正系统（10）包括计算单元（106）、采集单元（108）和补正单元（120）。计算单元（106）用于基于亮度-灰阶线性方程算出补正参数。采集单元（108）用于采集当前亮度值。补正单元（120）用于利用补正参数和当前亮度值算出目标亮度值。本发明的自动光量补正系统能够对光源的光量进行自动补正，解决亮度变异导致的量测异常等问题。
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公开(公告)号：CN103041943A
公开(公告)日：2013-04-17
申请号：CN201310008969.9
申请日：2013-01-10
Applicant: 深圳市华星光电技术有限公司
CPC classification number: B05B15/55
Abstract: 本发明公开一种喷嘴清洁装置和具有该喷嘴清洁装置的涂布机，用于清洁一涂布机喷嘴（101），该喷嘴清洁装置包括清洁器（402）、抽真空管道（403）与真空泵（404），该清洁器（402）具有一形状与该涂布机喷嘴（101）相吻合的凹孔（4021），供该涂布机喷嘴（101）容纳于该凹孔（4021）中，该凹孔（4021）的内壁开设有多个通孔（4022）；该抽真空管道（403）的一端与该多个通孔（4022）连接，该抽真空管道（403）的另一端接入该真空泵（404）。通过本发明提供的喷嘴清洁装置可方便地去除残留的光刻胶以清洁喷嘴，有效地提高产品的成品率以及生产效率，且无需使用昂贵的纳米材料，成本低廉。
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公开(公告)号：CN102998824A
公开(公告)日：2013-03-27
申请号：CN201210528069.2
申请日：2012-12-10
Applicant: 深圳市华星光电技术有限公司
CPC classification number: G02B5/23
Abstract: 本发明公开了一种彩色滤光片穿透频谱量测偏差补正的方法，通过建立彩色滤光片穿透频谱量测标准数据，基于建立的标准数据找出穿透频谱量测即时数据的偏差，进而实现彩色滤光片穿透频谱量测的自动补正，有效减少了因人员手动补正进行玻璃搬运、分析数据、手动补正的时间，也减少了人员的工作力度，提高了机台利用率和产能。本发明还公开了一种彩色滤光片穿透频谱量测偏差补正的系统。
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