公开(公告)号：CN117128889B

公开(公告)日：2023-12-29

申请号：CN202311398173.9

申请日：2023-10-26

Applicant: 深圳市鹰眼在线电子科技有限公司

Inventor： 周翔 ,  杨文钊 ,  贾辉 ,  岳鑫 ,  刘宇

IPC: G01B11/24

Abstract: 本申请涉及一种基于Linnik干涉物镜的模块化倍率变换轮廓测量装置，包括光源模块、目镜镜筒模块、垂直扫描驱动及位移传感编码器、白光干涉精细垂直扫描驱动及位移传感编码器、水平倍率切换驱动及位移传感编码器以及至少三个倍率不同的干涉物镜模块；最高倍率的干涉物镜模块安装在白光干涉精细垂直扫描驱动及位移传感编码器，其他倍率的干涉物镜模块通过转接件安装在水平倍率切换驱动及位移传感编码器，白光干涉精细垂直扫描驱动及位移传感编码器安装在水平倍率切换驱动及位移传感编码器上，水平倍率切换驱动及位移传感编码器安装在垂直扫描驱动及位移传感编码器上；通过水平倍率切换驱动及位移传感编码器带动多个干涉物镜模块位移。

公开(公告)号：CN117128889A

公开(公告)日：2023-11-28

申请号：CN202311398173.9

申请日：2023-10-26

Applicant: 深圳市鹰眼在线电子科技有限公司

Inventor： 周翔 ,  杨文钊 ,  贾辉 ,  岳鑫 ,  刘宇

IPC: G01B11/24

Abstract: 本申请涉及一种基于Linnik干涉物镜的模块化倍率变换轮廓测量装置，包括光源模块、目镜镜筒模块、垂直扫描驱动及位移传感编码器、白光干涉精细垂直扫描驱动及位移传感编码器、水平倍率切换驱动及位移传感编码器以及至少三个倍率不同的干涉物镜模块；最高倍率的干涉物镜模块安装在白光干涉精细垂直扫描驱动及位移传感编码器，其他倍率的干涉物镜模块通过转接件安装在水平倍率切换驱动及位移传感编码器，白光干涉精细垂直扫描驱动及位移传感编码器安装在水平倍率切换驱动及位移传感编码器上，水平倍率切换驱动及位移传感编码器安装在垂直扫描驱动及位移传感编码器上；通过水平倍率切换驱动及位移传感编码器带动多个干涉物镜模块位移。

公开(公告)号：CN117215045A

公开(公告)日：2023-12-12

申请号：CN202311154959.6

申请日：2023-09-08

Applicant: 深圳市鹰眼在线电子科技有限公司

Inventor： 杨文钊 ,  贾辉 ,  岳鑫 ,  袁芬芳 ,  周翔

IPC: G02B21/02 ,  G01B9/02015 ,  G02B21/04 ,  G02B21/00 ,  G02B7/00 ,  G02B13/00 ,  G02B27/12 ,  G02B27/62 ,  G02B21/24 ,  G02B21/26

Abstract: 本申请涉及一种光程补偿和参考镜可调的干涉物镜，包括等比分光棱镜、一维微型直线位移台、探测臂、参考臂，探测臂的一端、参考臂的一端分别朝向分光棱镜布置，探测臂与参考臂相互垂直布置；探测臂包括探测物镜，参考臂包括参考物镜，等比分光棱镜具有分光面，分光面呈45°布置，通过一维微型直线位移台调节等比分光棱镜的分光面与探测物镜或者参考物镜之间的距离；通过一维微型直线位移台改变该等比分光棱镜的45°分光面相对于其中一个物镜的距离，实现参考物镜和探测物镜后焦面在空间上相对45°分光面对称，从而实现白光干涉零光程差调节，调节起来方便快速，干涉调零后锁紧一维微型直线位移台调节机构使该干涉物镜及光学系统稳定工作。

公开(公告)号：CN117146735A

公开(公告)日：2023-12-01

申请号：CN202311373736.9

申请日：2023-10-23

Applicant: 深圳市鹰眼在线电子科技有限公司

Inventor： 贾辉 ,  杨文钊 ,  袁芬芳 ,  周翔

IPC: G01B11/24 ,  G01B9/02015

Abstract: 本申请涉及一种基于linnik干涉结构的可调大动态白光干涉形貌测量装置，包括光源系统、分光棱镜一、物镜一、物镜二、参考镜、成像透镜、相机；物镜一和物镜二的一端分别朝向分光棱镜一布置，物镜一与物镜二垂直布置；参考镜位于物镜二的另一端，物镜一的另一端朝向被测样品布置；光源系统发出的光束经由分光棱镜一分成两束光分别朝向物镜一和物镜二的方向射出，一束经过物镜一到达被测样品表面后，返回至分光棱镜一经成像透镜成像，为探测光；另一束经过物镜二到达参考镜，经参考镜反射回分光棱镜一经成像透镜成像，为参考光；物镜选择更多，配置更灵活，便于添加其他结构以调节光强，增大可测量动态范围。