带压力传感器的微型化学推进器

    公开(公告)号:CN1282823C

    公开(公告)日:2006-11-01

    申请号:CN200410009790.6

    申请日:2004-11-12

    Applicant: 清华大学

    Abstract: 带压力传感器的微型化学推进器,属于微推进技术和MEMS技术领域。为解决现有MEMS化学推进器无法反馈控制的问题,本发明公开了一种带压力传感器的微型化学推进器,它由上层硅片和下层硅片两部分粘接而成,并且是一系列基本推进单元的周期性阵列;每个基本推进单元的上层部分集成了燃烧室、点火药腔和喷管,喷管底部与燃烧室底部通过点火药腔相连通;每个基本推进单元的下层部分集成了压力传感器和点火器,其底部为内凹的棱台结构,顶部为压力敏感薄膜,压力传感器嵌于压力敏感薄膜中,点火器位于压力敏感薄膜的顶面。本发明使燃烧室内实时压力测量成为可能,同时省去了燃烧室和喷管键合的工艺步骤,避免了由于键合引起的对准误差。

    带压力传感器的微型化学推进器

    公开(公告)号:CN1603599A

    公开(公告)日:2005-04-06

    申请号:CN200410009790.6

    申请日:2004-11-12

    Applicant: 清华大学

    Abstract: 带压力传感器的微型化学推进器,属于微推进技术和MEMS技术领域。为解决现有MEMS化学推进器无法反馈控制的问题,本发明公开了一种带压力传感器的微型化学推进器,它由上层硅片和下层硅片两部分粘接而成,并且是一系列基本推进单元的周期性阵列;每个基本推进单元的上层部分集成了燃烧室、点火药腔和喷管,喷管底部与燃烧室底部通过点火药腔相连通;每个基本推进单元的下层部分集成了压力传感器和点火器,其底部为内凹的棱台结构,顶部为压力敏感薄膜,压力传感器嵌于压力敏感薄膜中,点火器位于压力敏感薄膜的顶面。本发明使燃烧室内实时压力测量成为可能,同时省去了燃烧室和喷管键合的工艺步骤,避免了由于键合引起的对准误差。

    流量测量装置及方法
    6.
    发明公开

    公开(公告)号:CN116608909A

    公开(公告)日:2023-08-18

    申请号:CN202310410200.3

    申请日:2023-04-17

    Abstract: 本申请涉及一种流量测量装置及方法。所述装置包括:所述流量测量装置包括分流部件、至少两个流量测量部件;所述流量测量部件包括测量容器、翻转容器和测量器件;所述测量容器的出口的位置设置在所述翻转容器的入口的上方,所述测量器件固定在所述翻转容器上;所述分流部件包括分流容器和至少两个分流管,所述分流容器的顶部设置开口,且各所述分流管的入口的位置设置在所述分流容器的底部,各所述分流管的出口的位置对应设置在各所述测量容器的入口的上方。采用本方法能够在提高测量精度的同时,也增大了测量范围。

    流量测量装置
    7.
    实用新型

    公开(公告)号:CN219869818U

    公开(公告)日:2023-10-20

    申请号:CN202320856206.9

    申请日:2023-04-17

    Abstract: 本申请涉及一种流量测量装置,包括分流部件和至少两个流量测量部件;流量测量部件包括测量容器、翻转容器和测量器件;测量容器的出口的位置设置在翻转容器的入口的上方,测量器件固定在翻转容器上;分流部件包括分流容器和至少两个分流管,分流容器的顶部设置开口,且各分流管的入口的位置并行设置在分流容器的底部,各分流管的出口的位置对应设置在各测量容器的入口的上方。该流量测量装置通过在分流部件上设置多个分流管的并行结构,使溶液进入分流容器后经过多个并行的分流管进行分流测量,一方面扩大了流量测量装置的容量测量范围,另一方面还可以通过分流的作用提高流量测量精度。

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