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公开(公告)号：CN101728461A
公开(公告)日：2010-06-09
申请号：CN200910237133.X
申请日：2009-11-06
Applicant: 清华大学 , 张家港保税区华冠光电技术有限公司
IPC: H01L31/18
CPC classification number: Y02P70/521
Abstract: 本发明涉及一种薄膜太阳能电池吸收层的制备方法，属于光电功能材料和新能源技术领域。其特征在于，采用真空磁控溅射法制备铜铟硒或铜铟镓硒或铜铟铝硒吸收层，直接使用铜铟硒或铜铟镓硒或铜铟铝硒合金靶材，由靶材成分控制吸收层成分，由溅射工艺控制成膜质量。磁控溅射法制备的吸收层随后还可在保护气氛中进行退火处理，以进一步改善结晶质量。本发明制备的吸收层由均一的铜铟硒相或铜铟镓硒相或铜铟铝硒相构成，成分分布均匀，并且与靶材成分一致。本发明工艺简便，易于控制，沉积时基体温度较低，可选择衬底种类多，适于工业化生产。
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公开(公告)号：CN101728461B
公开(公告)日：2011-08-17
申请号：CN200910237133.X
申请日：2009-11-06
Applicant: 清华大学 , 张家港保税区华冠光电技术有限公司
IPC: H01L31/18
CPC classification number: Y02P70/521
Abstract: 本发明涉及一种薄膜太阳能电池吸收层的制备方法，属于光电功能材料和新能源技术领域。其特征在于，采用真空磁控溅射法制备铜铟硒或铜铟镓硒或铜铟铝硒吸收层，直接使用铜铟硒或铜铟镓硒或铜铟铝硒合金靶材，由靶材成分控制吸收层成分，由溅射工艺控制成膜质量。磁控溅射法制备的吸收层随后还可在保护气氛中进行退火处理，以进一步改善结晶质量。本发明制备的吸收层由均一的铜铟硒相或铜铟镓硒相或铜铟铝硒相构成，成分分布均匀，并且与靶材成分一致。本发明工艺简便，易于控制，沉积时基体温度较低，可选择衬底种类多，适于工业化生产。
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公开(公告)号：CN101214656A
公开(公告)日：2008-07-09
申请号：CN200810055898.7
申请日：2008-01-11
Applicant: 清华大学
CPC classification number: B25J15/0009
Abstract: 齿条欠驱动模块化拟人机器人多指手装置，属于拟人机器人技术领域，包括拇指、食指、中指、无名指、小指、手掌；中指、无名指、小指与食指结构相同，各采用1个电机驱动3个关节转动；手掌采用1个电机驱动拇指根部的侧摆转动，拇指采用1个电机驱动2个关节转动。该装置具有5个独立控制的手指、15个关节自由度，包括6个主动关节和9个欠驱动关节；各欠驱动关节均采用齿轮齿条及簧件驱动的一种模块化结构，电机、传动机构藏入手内，结构简单、重量轻、控制容易、集成度高；整个装置外观、尺寸和动作模仿人手，具有对不同形状、尺寸的物体自动包络抓取的功能，适合安装在拟人机器人上使用。
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公开(公告)号：CN100551638C
公开(公告)日：2009-10-21
申请号：CN200810055898.7
申请日：2008-01-11
Applicant: 清华大学
CPC classification number: B25J15/0009
Abstract: 齿条欠驱动模块化拟人机器人多指手装置，属于拟人机器人技术领域，包括拇指、食指、中指、无名指、小指、手掌；中指、无名指、小指与食指结构相同，各采用1个电机驱动3个关节转动；手掌采用1个电机驱动拇指根部的侧摆转动，拇指采用1个电机驱动2个关节转动。该装置具有5个独立控制的手指、15个关节自由度，包括6个主动关节和9个欠驱动关节；各欠驱动关节均采用齿轮齿条及簧件驱动的一种模块化结构，电机、传动机构藏入手内，结构简单、重量轻、控制容易、集成度高；整个装置外观、尺寸和动作模仿人手，具有对不同形状、尺寸的物体自动包络抓取的功能，适合安装在拟人机器人上使用。
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