一种湿法磷酸制备高纯电子级磷酸的方法

    公开(公告)号:CN118723949A

    公开(公告)日:2024-10-01

    申请号:CN202410922452.9

    申请日:2024-07-10

    Abstract: 本发明公开了一种湿法磷酸制备高纯电子级磷酸的方法,通过将膜分离技术与结晶技术耦合,提高磷酸中金属离子去除效果得到超高纯电子级磷酸。其方法工艺简单,不需添加额外溶剂或做进一步处理,绿色环保可有效避免二次污染;其具体工艺主要包括三个步骤:分别是磷酸预热、耐酸纳滤膜粗过滤去除磷酸中颗粒物和部分阴阳离子杂质、静态熔融结晶深度去除磷酸中金属阳离子和阴离子。此方法可将磷酸中单项金属离子含量降低至30 ppb以下,所得高纯电子级磷酸可应用于半导体芯片和液晶等电子工业制造领域。

    一种深度脱除高纯电子级磷酸中易氧化物的方法

    公开(公告)号:CN119591063A

    公开(公告)日:2025-03-11

    申请号:CN202411696193.9

    申请日:2024-11-25

    Abstract: 本发明公开了一种深度脱除高纯电子级磷酸中易氧化物的方法,通过将臭氧氧化和树脂吸附结合的方式深度去除高纯电子级磷酸中易氧化物,得到易氧化物浓度极低的高纯电子级磷酸成品。其具体工艺主要包括三个步骤:S1、一定温度下通入臭氧气体将磷酸中亚磷酸、次磷酸等易氧化物氧化成磷酸降低易氧化物浓度;S2、将臭氧氧化后的磷酸送入吸附反应器中与吸附剂进行接触,进一步去除磷酸中剩余易氧化物;S3、将吸附处理后的磷酸通过滤芯过滤进行分离,去除残留的微小颗粒和杂质,得到去除易氧化物后的电子级磷酸。此方法工艺简单,条件可控便于操作且安全环保,不需要添加额外溶剂避免引入新的杂质减少二次污染,适用于制造高纯电子级磷酸。

    一种电子级磷酸的结晶提纯装置

    公开(公告)号:CN222238861U

    公开(公告)日:2024-12-27

    申请号:CN202323415727.X

    申请日:2023-12-14

    Abstract: 本实用新型公开一种电子级磷酸的结晶提纯装置,包括结晶器,所述结晶器底部出口通过管线与离心机进料口连接,所述离心机出料口通过晶体输送管线与成品罐进料口连接,所述离心机出液口通过残液输送管线与残液罐进口连接,结晶器进口通过进料管线与原料罐连接,所述成品罐内设有加热器,成品罐回液口通过回液管线与结晶器进料口连接,成品罐一侧设有抽样检测管线;本实用新型可以进一步除去磷酸晶体中夹杂的母液,并去除磷酸中杂质离子,有效提升了磷酸产品品质。

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