公开(公告)号：CN102757010A

公开(公告)日：2012-10-31

申请号：CN201210182189.1

申请日：2012-04-20

Applicant: 特罗尼克斯微系统有限公司

Inventor： S·勒纳尔 ,  A·菲利佩 ,  J·科莱 ,  F-X·布瓦洛

IPC: B81B7/00 ,  B81C3/00

CPC classification number: B81B7/0064 ,  B81B2201/0235 ,  B81C2201/019 ,  B81C2203/036

Abstract: 一种微机电系统(MEMS)装置，包括至少两个基板(5，6)和在MEMS层中的至少一个可移动结构(3.1，3.2)。所述可移动结构布置在腔体(8.1，8.2)中，所述腔体被封装在该至少两个基板(5，6，7)之间。导电框架(1)围绕所述可移动结构(3.1，3.2)且被布置在两个基板(5，6)的界面处。框架(1)与所述可移动结构(3.1，3.2)电分离，且通过至少第一和第二导电连接(13.1，13.2，13.3；14)分别电连接到所述第一(5)和第二基板(6)。框架(1)可以具有不大于150μm、优选不大于50μm的宽度(w)。第一导电连接位于框架(1)和第一基板(5)之间的界面平面处。第二导电连接是被施加在框架(1)的外周边和第二基板(6)的外周面(15)的层(14)。