在小型元件载体的弹性遮罩中形成尺寸精确的狭槽的方法

    公开(公告)号:CN100374000C

    公开(公告)日:2008-03-05

    申请号:CN200380100754.4

    申请日:2003-10-03

    Abstract: 一个激光束(102)切穿一个元件载体遮罩(96),以形成具有所需形状的狭槽开口的狭槽(98),其中该遮罩由诸如硅橡胶之类的薄弹性材料制成。在一个优选实施例中,被引入硅橡胶中的诸如氧化铁之类的光线吸收率增强材料系导致一个柔性支撑坯体的形成,其中该柔性支撑坯体能够操作地充分吸收在一个光线吸收波长范围之内的光线。一个从可编程控制器中接收指令的光束定位器(106)会产生一种波长的UV激光束,该波长在该光线吸收波长范围之内,以用于使该UV激光束以可重复的、精确的尺寸切入遮罩的多个狭槽中。每个狭槽切口具有相对的侧边沿,该侧边沿在其间界定出一个适当形状的狭槽开口,用以容置一个小型元件(10)以及用以在该小型元件上施加最佳的保持和释放作用力。

    在小型元件载体的弹性遮罩中形成尺寸精确的狭槽的方法

    公开(公告)号:CN1695412A

    公开(公告)日:2005-11-09

    申请号:CN200380100754.4

    申请日:2003-10-03

    Abstract: 一个激光束(102)切穿一个元件载体遮罩(96),以形成具有所需形状的狭槽开口的狭槽(98),其中该遮罩由诸如硅橡胶之类的薄弹性材料制成。在一个优选实施例中,被引入硅橡胶中的诸如氧化铁之类的光线吸收率增强材料系导致一个柔性支撑坯体的形成,其中该柔性支撑坯体能够操作地充分吸收在一个光线吸收波长范围之内的光线。一个从可编程控制器中接收指令的光束定位器(106)会产生一种波长的UV激光束,该波长在该光线吸收波长范围之内,以用于使该UV激光束以可重复的、精确的尺寸切入遮罩的多个狭槽中。每个狭槽切口具有相对的侧边沿,该侧边沿在其间界定出一个适当形状的狭槽开口,用以容置一个小型元件(10)以及用以在该小型元件上施加最佳的保持和释放作用力。

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