公开(公告)号：CN119574914A

公开(公告)日：2025-03-07

申请号：CN202411879716.3

申请日：2024-12-19

Applicant: 电子科技大学

Inventor： 鲜承伟 ,  张奕 ,  张怀英 ,  黄勇军 ,  李喆 ,  黄思 ,  文光俊

IPC: G01P15/125 ,  G01P15/18 ,  G01P15/08

Abstract: 本发明公开了一种基于脊波导的集成微光机电系统加速度计，包括脊波导结构、光子晶体波导结构、光子晶体谐振腔、质量块；光子晶体谐振腔包括两个光子晶体板和之间的空气槽；脊波导结构包括第一宽脊波导1a、第一渐变脊波导2a、第二渐变脊波导2b和第二宽脊波导1b，第一/二渐变脊波导2a/2b连接第一/二宽脊波导1a/1b和第一/二光子晶体波导3a/3b，第一光子晶体波导3a和第二光子晶体波导3b通过光子晶体波导‑微腔耦合结构4a进行耦合；第一光子晶体波导3a、第二光子晶体波导3b和光子晶体波导‑微腔耦合结构4a位于光子晶体板A上；光子晶体板B刻蚀在质量块上。本发明利用脊波导技术实现了高灵敏度和高集成度，同时保持了结构简洁和低成本制造的优势。