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公开(公告)号：CN118687549A
公开(公告)日：2024-09-24
申请号：CN202410816160.7
申请日：2024-06-24
Applicant: 电子科技大学
IPC: G01C19/66
Abstract: 本发明公开一种基于半球形壳体和光学环形谐振器的新型光机陀螺仪，应用于惯性测量领域，针对传统微半球陀螺仪存在的加工工艺复杂、生产成本高、成品率低、可靠性差等关键技术问题。本发明展示了一种新型光机械陀螺仪，其结合了壳谐振器和光学环形腔谐振器的原理，以增强陀螺仪的性能。本发明以多环光腔作为传感元件替代了传统的电容检测结构，可以间接检测谐振频率的位移。结果表明，本发明的陀螺仪在发现弱角速度和弱振动方面有较好的性能，使其对角速度和角振动检测更加敏感。本发明利用腔光力系统独特的光机械耦合效应来提高微半球谐振腔的机械品质因数。
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公开(公告)号：CN118424446A
公开(公告)日：2024-08-02
申请号：CN202410513158.2
申请日：2024-04-26
Applicant: 电子科技大学
Abstract: 本发明公开腔光力振动传感器、测量装置及测量方法；应用于振动测量技术领域，针对现有振动传感器测量精度不高的问题，本发明利用腔光力微光机电系统的光机械耦合原理实现振动状态的光学测量，激光器发出的红外光经单模光纤进入偏振控制器后可得到任意偏振方向的激光，此激光经V型微凹光纤耦合进入真空腔中的腔光力振动传感器光子晶体微腔中，携带光机械耦合信息的微腔出射光经衰减器进入光电探测器。通过频谱仪读取分析硅微机械振子和压电陶瓷振动器的振动信息，通过计算机读取和分析耦合后的光信息。
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公开(公告)号：CN114583463A
公开(公告)日：2022-06-03
申请号：CN202210340791.7
申请日：2022-04-02
Applicant: 电子科技大学
Abstract: 本发明公开一种基于光机结构式超表面的可重构毫米波Airy波束赋形装置，应用于构建自会聚光束、等离子体、微粒操控等领域，针对现有的近似无衍射Airy波束赋形装置难以产生及难以实现调控波束的问题；本发明的可重构毫米波Airy波束赋形超表面以入射电磁波强度为调控变量，使得超表面阵列中的单元结构从一种谐振状态跳变到另一种谐振状态，进而实时动态操控超表面中的单元结构的电磁响应特性，产生两种不同状态的波前，实现更加灵活的可重构功能，本发明为动态产生近似无衍射Airy波束提供了一种新的思路。
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公开(公告)号：CN118112283A
公开(公告)日：2024-05-31
申请号：CN202410061820.5
申请日：2024-01-16
Applicant: 电子科技大学
IPC: G01P15/03
Abstract: 本申请提供一种高精度硅波导集成光子晶体腔的光力式微加速度计，包括：硅微机械振子结构、光子晶体微腔结构和硅波导结构；所述光子晶体微腔结构包括：结构相同的第一光子晶体微腔结构和第二光子晶体微腔结构；所述第一光子晶体微腔结构包括：第一光子晶体结构、第二光子晶体结构、以及第一空气槽；所述硅波导结构包括：结构相同的第一硅波导结构和第二硅波导结构；所述第一硅波导结构包括：第一直波导、第一渐变波导、第一光子晶体波导、第一光子晶体波导‑微腔耦合结构、第二光子晶体波导、第二渐变波导和第二直波导；具有探测精度与灵敏度较高的有益效果；适用于惯性测量的技术领域。
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公开(公告)号：CN114583463B
公开(公告)日：2023-09-26
申请号：CN202210340791.7
申请日：2022-04-02
Applicant: 电子科技大学
Abstract: 本发明公开一种基于光机结构式超表面的可重构毫米波Airy波束赋形装置，应用于构建自会聚光束、等离子体、微粒操控等领域，针对现有的近似无衍射Airy波束赋形装置难以产生及难以实现调控波束的问题；本发明的可重构毫米波Airy波束赋形超表面以入射电磁波强度为调控变量，使得超表面阵列中的单元结构从一种谐振状态跳变到另一种谐振状态，进而实时动态操控超表面中的单元结构的电磁响应特性，产生两种不同状态的波前，实现更加灵活的可重构功能，本发明为动态产生近似无衍射Airy波束提供了一种新的思路。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN118938394B
公开(公告)日：2025-03-21
申请号：CN202410972021.3
申请日：2024-07-19
Applicant: 电子科技大学
Abstract: 本发明公开一种基于SOI的长距离硅波导释放加工方法，应用于MOEMS传感器领域，针对现有释放加工技术中存在的HF气体通过硅波导两侧凹槽把下方的SiO2层也腐蚀掉，硅波导由于没有支撑而发生塌断，从而导致加工失败的问题；本发明利用氟化镁强抗氟化氢气体腐蚀的特性，采用一系列微纳加工工艺实现对集成长距离硅波导区域的保护，极大提高了硅波导加工成功率，避免了在长距离硅波导释放加工中非常容易出现的硅波导塌断、偏移、弯曲等加工缺陷。
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公开(公告)号：CN119574914A
公开(公告)日：2025-03-07
申请号：CN202411879716.3
申请日：2024-12-19
Applicant: 电子科技大学
IPC: G01P15/125 , G01P15/18 , G01P15/08
Abstract: 本发明公开了一种基于脊波导的集成微光机电系统加速度计，包括脊波导结构、光子晶体波导结构、光子晶体谐振腔、质量块；光子晶体谐振腔包括两个光子晶体板和之间的空气槽；脊波导结构包括第一宽脊波导1a、第一渐变脊波导2a、第二渐变脊波导2b和第二宽脊波导1b，第一/二渐变脊波导2a/2b连接第一/二宽脊波导1a/1b和第一/二光子晶体波导3a/3b，第一光子晶体波导3a和第二光子晶体波导3b通过光子晶体波导‑微腔耦合结构4a进行耦合；第一光子晶体波导3a、第二光子晶体波导3b和光子晶体波导‑微腔耦合结构4a位于光子晶体板A上；光子晶体板B刻蚀在质量块上。本发明利用脊波导技术实现了高灵敏度和高集成度，同时保持了结构简洁和低成本制造的优势。
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公开(公告)号：CN119321838A
公开(公告)日：2025-01-17
申请号：CN202411341191.8
申请日：2024-09-25
Applicant: 电子科技大学
Abstract: 本发明公开了一种交叉式双轴扭矩传感器，包括：连接纳米光学腔的方形连接件，以及支撑方形连接件的支撑悬梁臂；其中，纳米光学腔又包括固定式纳米光学腔壁和可动式纳米光学腔壁；固定式纳米光学腔壁用于引导输入和输出光，当可动式纳米光学腔壁感受到外部面外扭矩时，会相对于平面发生面外位移，其位移导致可动式纳米光学腔壁和固定式纳米光学腔壁之间的间隙发生改变，从而导致共振波长受到影响，最后通过波长与力和扭矩的线性关系，测出对应的力和扭矩。
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公开(公告)号：CN118938394A
公开(公告)日：2024-11-12
申请号：CN202410972021.3
申请日：2024-07-19
Applicant: 电子科技大学
Abstract: 本发明公开一种基于SOI的长距离硅波导释放加工方法，应用于MOEMS传感器领域，针对现有释放加工技术中存在的HF气体通过硅波导两侧凹槽把下方的SiO2层也腐蚀掉，硅波导由于没有支撑而发生塌断，从而导致加工失败的问题；本发明利用氟化镁强抗氟化氢气体腐蚀的特性，采用一系列微纳加工工艺实现对集成长距离硅波导区域的保护，极大提高了硅波导加工成功率，避免了在长距离硅波导释放加工中非常容易出现的硅波导塌断、偏移、弯曲等加工缺陷。
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