公开(公告)号：CN117348352A

公开(公告)日：2024-01-05

申请号：CN202311232770.4

申请日：2023-09-22

Applicant: 电子科技大学长三角研究院(湖州)

Inventor： 郭小伟 ,  向志强 ,  潘伟凡 ,  杜良广

IPC: G03F7/20 ,  G02B26/08 ,  G02B3/00

Abstract: 本发明公开了一种基于周期堆迭的矩形超透镜与相移DMD的无掩膜光刻光学系统，其包括以下步骤：激光器发射激光，采用紫外物镜对光进行聚焦。然后，利用针孔滤波器消除光束通过物镜和其他光学元件时产生的高频噪声，利用准直透镜将球面波转化为平面波，使光平行，将平行光与相移DMD结合，生成特定的空间强度分布，用于定形过程，将相移DMD反射的激光通过4f成像系统与周期堆迭的矩形超透镜进行缩小成像在目标上，将单次曝光分成多个较短的曝光以增加测量次数，在每次曝光之间，搭配的数字全息反馈系统使用相机捕获的全息图来测量样品在每一步的光学相位图，并据此计算每个点与目标相位的差异，然后根据相位差调整灰度光刻的输入图像,并通过改变相移DMD上投影的图案来应用所需的校正，以实现近实时光刻。优点在于本发明为一种新的基于周期堆迭的矩形超透镜与相移DMD的缩小成像光刻方法，在误差范围内，成像尺寸可突破衍射极限达到六分之一波长，保证了光线的输入与输出面为平行平面，对光刻图案的边缘进行了优化，并且无需事先校准光刻胶，在外部振动条件下也能提供高稳定性。

公开(公告)号：CN117552065A

公开(公告)日：2024-02-13

申请号：CN202311451564.2

申请日：2023-11-03

Applicant: 电子科技大学长三角研究院(湖州)

Inventor： 郭小伟 ,  封征 ,  杨雪 ,  杜良广

IPC: C25D5/56 ,  C25D3/46 ,  G01N21/65

Abstract: 本发明公开了一种基于枝晶结构的柔性SERS基底的制备方法，其包括以下步骤：使用激光对柔性薄膜进行石墨烯改性，使其具备良好的导电性，然后使用传统的三电极系统，加入硝酸银溶液，在石墨烯改性的柔性薄膜上电沉积纳米银，通过控制过电位和沉积时间在薄膜表面形成银枝晶，得到具有银枝晶结构的柔性SERS基底。由于银纳米枝晶在柔性基底弯曲不同程度时的形态结构依旧保持不变，银纳米枝晶形成的固有热点仍然表现出均匀且极为增强的拉曼信号，这解决了柔性SERS基底的拉曼信号均匀性和再现性较差的问题，可在各种实际曲面上进行可靠和灵敏的检测。

公开(公告)号：CN117434046A

公开(公告)日：2024-01-23

申请号：CN202311458571.5

申请日：2023-11-03

Applicant: 电子科技大学长三角研究院(湖州)

Inventor： 郭小伟 ,  张鹏 ,  杨雪 ,  杜良广

IPC: G01N21/65

Abstract: 本发明公开了一种间隙可调的表面增强拉曼散射柔性基底及其制备方法，其特征在于，水凝胶膜基底由丙烯酸钠和丙烯酰胺的交联聚合产物与金属纳米颗粒构成，通过调节基底的pH值，可以使基底发生收缩或膨胀，得到所需特定间隙的柔性基底，其中所需要的引发剂为过硫酸铵和四亚甲基乙二胺，交联剂为亚甲基双丙烯酰胺，图1为间隙可调的柔性基底的示意图。该方法优点是具有快速的pH响应、高的测量重复性、更高的灵敏度和适用范围，制备方法简单易行，有望在拉曼检测、生物医学、汽车工业、建筑等领域广泛应用。

公开(公告)号：CN117368177A

公开(公告)日：2024-01-09

申请号：CN202311451557.2

申请日：2023-11-03

Applicant: 电子科技大学长三角研究院(湖州)

Inventor： 郭小伟 ,  杜良广 ,  杨雪 ,  张鹏

IPC: G01N21/65

Abstract: 本发明涉及物传感器技术研究领域，具体涉及一种用于汗液中尿酸检测的柔性SERS传感器芯片。所述的传感器芯片结构从上到下依次为金属层和柔性衬底层。金属层具有周期性微结构，为纳米阵列结构，且阵列结构单元具有对称的图案化形状。基底层由柔性材料制备，稳定、透明且具有生物相容性，同时具有良好的弹性，可与人体表皮贴合，相较于市面上传统的传感器原材料，价格低廉易得，可以大幅度降低传感器的制备成本。金属层纳米结构单元所产生的热点体积较大，与汗液中尿酸分子的大小配适度高，增强了该柔性SERS传感器的灵敏性和增强效果，可实现无创、可靠的汗液尿酸实时检测。