公开(公告)号：CN117451655A

公开(公告)日：2024-01-26

申请号：CN202311232788.4

申请日：2023-09-22

Applicant: 电子科技大学长三角研究院(湖州)

Inventor： 郭小伟 ,  李小迪 ,  李若禺 ,  王愿生

IPC: G01N21/3504 ,  G01N21/01 ,  B81B7/02 ,  B81C1/00 ,  H05B3/12 ,  H05B3/18

Abstract: 本发明提供了一种基于加热丝环形走线方法的MEMS红外光源及其制备方法。所述红外光源的结构自下而上依次为衬底、复合介质层和辐射增强层。复合介质层为电阻层外包覆薄膜层，加热丝电阻为环形走线设计，均匀分布在辐射区域，有效地提高电阻丝的热稳定性。薄膜层是由氧化硅和氮化硅复合而成的复合膜，起到支撑和保护的作用，所述衬底中央区域留有矩形空气间隙形成隔热区域，使整个红外光源底面悬空。本发明采用化学气相沉积法的工艺制备多晶硅，利用反应离子刻蚀获得圆柱形微纳结构，并将金属溅射在其表面形成纳米结构辐射层，提高发射率。基于该加热丝环形走线方法的MEMS红外光源具有功耗低、辐射特性好、温度分布均匀的特点，进一步提高了光源的性能。

公开(公告)号：CN117481641A

公开(公告)日：2024-02-02

申请号：CN202311232714.0

申请日：2023-09-22

Applicant: 电子科技大学长三角研究院(湖州)

Inventor： 郭小伟 ,  王愿生 ,  鲁泽龙 ,  李小迪

IPC: A61B5/145 ,  A61B5/00

Abstract: 本发明提供一种全自动变腔式光声池及其光声无创血糖检测系统，涉及无创血糖检测领域，用于解决传统光声池仅适用于单一固定调制频率的弊端以及解决光声无创血糖检测技术精度低和连续性差的问题。该全自动变腔式光声池由入射窗口、出射窗口、光声共振腔、压电传感器、可移动延伸管、单片机、电子阀门等器件组成。该光声无创血糖检测系统基于全自动变腔式光声池所建立，由多个部件组成，包括光信号发射模块、光信号调制模块、全自动变腔式光声池、超声探测器、锁定放大器、滤波器、计算机系统等。在该系统中，光信号发射模块发射出特定频率的中红外激光脉冲，经过光信号调制模块后照射到检测部位处，在该部位周围会产生光声信号。通过测量由光声效应所产生的光声信号，可以间接测量出葡萄糖浓度，从而实现光声无创血糖检测。本发明所提供的器件和系统可以有效提高无创血糖检测的精确性和持续性，弥补传统光声池的缺陷与不足。