半导体区块粘接装置、半导体区块粘接方法及半导体晶片的制造方法

    公开(公告)号:CN102763195A

    公开(公告)日:2012-10-31

    申请号:CN201180009787.2

    申请日:2011-02-15

    CPC classification number: H01L21/67092 H01L21/6715 H01L21/6838

    Abstract: 一种半导体区块粘接装置,具备:进行半导体区块(8)和基底基板(7)的搬入和搬出的搬入搬出部(2);具备对半导体区块(8)表面进行吸附的吸附垫片(32)、与吸附垫片(32)连接并利用空气压使吸附在吸附垫片(32)上的半导体区块(8)上下移动的驱动器(33)、和与驱动器连接的空气机(34)的支撑部;将含有聚合性乙烯基单体的粘接剂涂布在基底基板(7)上的涂布部(4);承载半导体区块(8)或者基底基板(7)并在搬入搬出部(2)、支撑部(3)和涂布部(4)间移动的载物台(13);控制以下工序的控制装置(5),该工序即由搬入搬出部(2)将基底基板(7)搬运到涂布部(4),在涂布部(4)中在将粘接剂涂布在基底基板(7)上后随即将涂布后的基底基板(7)向半导体区块(8)的下方搬运,并将半导体区块(8)降到下方与基底基板(7)粘接。

    半导体区块粘接装置、半导体区块粘接方法及半导体晶片的制造方法

    公开(公告)号:CN102763195B

    公开(公告)日:2015-04-22

    申请号:CN201180009787.2

    申请日:2011-02-15

    CPC classification number: H01L21/67092 H01L21/6715 H01L21/6838

    Abstract: 一种半导体区块粘接装置,具备:进行半导体区块(8)和基底基板(7)的搬入和搬出的搬入搬出部(2);具备对半导体区块(8)表面进行吸附的吸附垫片(32)、与吸附垫片(32)连接并利用空气压使吸附在吸附垫片(32)上的半导体区块(8)上下移动的驱动器(33)、和与驱动器连接的空气机(34)的支撑部;将含有聚合性乙烯基单体的粘接剂涂布在基底基板(7)上的涂布部(4);承载半导体区块(8)或者基底基板(7)并在搬入搬出部(2)、支撑部(3)和涂布部(4)间移动的载物台(13);控制以下工序的控制装置(5),该工序即由搬入搬出部(2)将基底基板(7)搬运到涂布部(4),在涂布部(4)中在将粘接剂涂布在基底基板(7)上后随即将涂布后的基底基板(7)向半导体区块(8)的下方搬运,并将半导体区块(8)降到下方与基底基板(7)粘接。

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