公开(公告)号：CN104704625A

公开(公告)日：2015-06-10

申请号：CN201380052699.X

申请日：2013-09-27

Applicant: 皇家飞利浦有限公司

Inventor： A.J.W.范里伊文努根 ,  F.B.斯佩林

IPC: H01L21/68 ,  G03F7/20

CPC classification number: G03F7/70758 ,  G03F7/70716 ,  G03F7/70725 ,  G03F7/70791 ,  G05B15/02 ,  H01L21/68

Abstract: 本发明涉及具有非常稳定的温度、非常低的功耗和均匀的温度分布的例如用作晶片台的定位设备。长行程台（20）和短行程台（50）堆叠在彼此之上。为了发起长行程台（20）和短行程台（50）在期望移动方向（M1）上的移动，首先以预定时间间隔以及比长行程台（20）的静止状态中的铁磁中心行程元件（52）与两个致动器（30、40）中的最靠近的一个致动器之间的距离（d）更短的距离、在与期望移动方向（M1）相反的相反方向（M2）上移动长行程台（20）和/或首先在期望移动方向（M1）上移动短行程台（50）。随后，在期望移动方向（M1）上移动长行程台（20）。

公开(公告)号：CN104704625B

公开(公告)日：2018-03-06

申请号：CN201380052699.X

申请日：2013-09-27

Applicant: 皇家飞利浦有限公司

Inventor： A.J.W.范里伊文努根 ,  F.B.斯佩林

IPC: H01L21/68 ,  G03F7/20

CPC classification number: G03F7/70758 ,  G03F7/70716 ,  G03F7/70725 ,  G03F7/70791 ,  G05B15/02 ,  H01L21/68

Abstract: 本发明涉及具有非常稳定的温度、非常低的功耗和均匀的温度分布的例如用作晶片台的定位设备。长行程台（20）和短行程台（50）堆叠在彼此之上。为了发起长行程台（20）和短行程台（50）在期望移动方向（M1）上的移动，首先以预定时间间隔以及比长行程台（20）的静止状态中的铁磁中心行程元件（52）与两个致动器（30、40）中的最靠近的一个致动器之间的距离（d）更短的距离、在与期望移动方向（M1）相反的相反方向（M2）上移动长行程台（20）和/或首先在期望移动方向（M1）上移动短行程台（50）。随后，在期望移动方向（M1）上移动长行程台（20）。