公开(公告)号：CN214491140U

公开(公告)日：2021-10-26

申请号：CN202021522527.8

申请日：2020-07-28

Applicant: 硅电子股份公司

Inventor： C·福林泰尔特 ,  A·里格尔

IPC: B28D5/04 ,  B28D7/00

Abstract: 本实用新型提供一种用于从圆柱形工件同时切割多个半导体晶圆的设备，该设备包括壳体、两个可旋转的线引导辊、在该可旋转的线引导辊之间跨过的线网、用于分配润滑剂的设备、在切割多个该晶圆后存储用过的润滑剂的润滑剂罐和放置在该壳体内的传感器。

公开(公告)号：CN214491135U

公开(公告)日：2021-10-26

申请号：CN202021466311.4

申请日：2020-07-21

Applicant: 硅电子股份公司

Inventor： A·里格尔 ,  C·福林泰尔特

IPC: B28D5/00 ,  B28D5/04

Abstract: 本实用新型提供一种用作多线锯布置的润滑剂系统的设备，该设备包括管和弯曲片材，该管具有长度L、内径D和纵轴线，该管具有狭缝，该狭缝沿着该纵轴线、具有狭缝宽度SW和狭缝长度SL；该弯曲片材具有直边缘和弯曲边缘，其中该直边缘在纵向方向上被切向地附接到该管。

公开(公告)号：CN213860083U

公开(公告)日：2021-08-03

申请号：CN202021864609.0

申请日：2020-08-31

Applicant: 硅电子股份公司

Inventor： C·福林泰尔特 ,  A·里格尔

IPC: B28D5/04 ,  B28D7/00

Abstract: 本实用新型提供一种用于从圆柱形工件同时切割多个半导体晶圆的设备，包括:两个可旋转的线引导辊；水平线网，该水平线网在限定网平面的两个可旋转的线引导辊之间跨过；润滑剂箱，该润滑剂箱放置在水平线网下方，适于在切割多个晶圆之后储存用过的润滑剂；该润滑剂箱包括宽度w、长度l、深度d、顶部、底部、第一喷嘴和第二喷嘴，并且该顶部与该网平面之间的距离小于10cm。