公开(公告)号：CN114402205A

公开(公告)日：2022-04-26

申请号：CN202080064623.9

申请日：2020-09-16

Applicant: 科磊股份有限公司

Inventor： G·德卡胡克 ,  T·里维安特 ,  D·格瑞奥迪

IPC: G01R23/16

Abstract: 本发明公开一种基于图像的叠加计量系统。所述系统包含可耦合到计量子系统的控制器。所述控制器经配置以从所述计量子系统接收安置于样本上的第一计量目标的一组图像信号，且通过计算所述多个图像信号中的每一者的谐波检测率度量值而确定多个谐波检测率度量值。所述控制器还经配置以基于所述多个谐波检测率度量值识别所述计量子系统的一组光学测量条件，其中所述组光学测量条件定义所述计量子系统的光学计量测量的配方。接着，所述控制器将所述配方提供到所述计量子系统用于执行一或多个额外计量目标的一或多个光学计量测量。

公开(公告)号：CN114402205B

公开(公告)日：2023-12-08

申请号：CN202080064623.9

申请日：2020-09-16

Applicant: 科磊股份有限公司

Inventor： G·德卡胡克 ,  T·里维安特 ,  D·格瑞奥迪

IPC: G01R23/16

Abstract: 本发明公开一种基于图像的叠加计量系统。所述系统包含可耦合到计量子系统的控制器。所述控制器经配置以从所述计量子系统接收安置于样本上的第一计量目标的一组图像信号，且通过计算所述多个图像信号中的每一者的谐波检测率度量值而确定多个谐波检测率度量值。所述控制器还经配置以基于所述多个谐波检测率度量值识别所述计量子系统的一组光学测量条件，其中所述组光学测量条件定义所述计量子系统的光学计量测量的配方。接着，所述控制器将所述配方提供到所述计量子系统用于执行一或多个额外计量目标的一或多个光学计量测量。