公开(公告)号：CN110494741A

公开(公告)日：2019-11-22

申请号：CN201880023806.9

申请日：2018-04-04

Applicant: 科磊股份有限公司

Inventor： A·帕克 ,  M·E·普里尔 ,  A·J·克罗斯

IPC: G01N21/88 ,  G01N21/95

Abstract: 本发明提供一种用于从所制造组件识别的图案缺陷的系统性及随机性表征的系统、方法及计算机程序产品。在使用中，识别从所制造组件检测的多个图案缺陷。另外，基于预定义准则来分析所述图案缺陷中的每一者的属性。此外，从所述分析确定所述多个图案缺陷的第一组图案缺陷是系统图案缺陷，且从所述分析确定所述多个图案缺陷的第二组图案缺陷是随机图案缺陷。此外，针对所述经确定系统图案缺陷执行第一动作，且针对所述经确定随机图案缺陷执行第二动作。

公开(公告)号：CN110494741B

公开(公告)日：2022-03-22

申请号：CN201880023806.9

申请日：2018-04-04

Applicant: 科磊股份有限公司

Inventor： A·帕克 ,  M·E·普里尔 ,  A·J·克罗斯

IPC: G01N21/88 ,  G01N21/95

Abstract: 本发明提供一种用于从所制造组件识别的图案缺陷的系统性及随机性表征的系统、方法及计算机程序产品。在使用中，识别从所制造组件检测的多个图案缺陷。另外，基于预定义准则来分析所述图案缺陷中的每一者的属性。此外，从所述分析确定所述多个图案缺陷的第一组图案缺陷是系统图案缺陷，且从所述分析确定所述多个图案缺陷的第二组图案缺陷是随机图案缺陷。此外，针对所述经确定系统图案缺陷执行第一动作，且针对所述经确定随机图案缺陷执行第二动作。