低温泵系统
    1.
    发明公开
    低温泵系统 审中-实审

    公开(公告)号:CN119836523A

    公开(公告)日:2025-04-15

    申请号:CN202380064219.5

    申请日:2023-09-07

    Abstract: 本发明提供一种低温泵系统,包括:温度测量部,对低温泵的一级台部和二级台部各自的温度进行测量;监视部,对上述二级台部的温度是否达到预设的二级基准温度进行监视;以及控制部,在每次上述二级台部的温度达到上述预设的二级基准温度时,使上述低温泵的制冷机的电机转速阶段性地增加。

    低温泵系统
    2.
    发明公开
    低温泵系统 审中-公开

    公开(公告)号:CN119907887A

    公开(公告)日:2025-04-29

    申请号:CN202380067990.8

    申请日:2023-09-07

    Abstract: 本发明提供一种低温泵系统,包括低温泵以及向上述低温泵供给高压的氦制冷剂的压缩机,其中,该低温泵系统包括:温度测量部,对低温泵的一级台部和二级台部中的上述二级台部的温度进行测量;监视部,对上述二级台部的温度是否达到预设的二级基准温度进行监视;以及控制部,在每次上述二级台部的温度达到上述预设的二级基准温度时,使上述压缩机的运行频率阶段性地增加。

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