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公开(公告)号：CN119836523A
公开(公告)日：2025-04-15
申请号：CN202380064219.5
申请日：2023-09-07
Applicant: 科约H&I株式会社
Abstract: 本发明提供一种低温泵系统，包括：温度测量部，对低温泵的一级台部和二级台部各自的温度进行测量；监视部，对上述二级台部的温度是否达到预设的二级基准温度进行监视；以及控制部，在每次上述二级台部的温度达到上述预设的二级基准温度时，使上述低温泵的制冷机的电机转速阶段性地增加。
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公开(公告)号：CN119836524A
公开(公告)日：2025-04-15
申请号：CN202380064220.8
申请日：2023-09-07
Applicant: 科约H&I株式会社
Abstract: 本发明提供一种低温泵的再生方法，该低温泵包括：制冷机，具备一级台部和二级台部，使用高压制冷剂来冷却上述一级台部和上述二级台部；低温板，包括通过上述一级台部冷却的一级面板和通过上述二级台部冷却的二级面板；低温泵容器，包围上述低温板，包括包围上述一级台部的辐射防护罩；第一加热器，设置在上述一级面板；以及第二加热器，设置在上述二级面板，该方法包括：升温工序步骤，打开(On)上述第一加热器而使上述辐射防护罩和上述一级面板的温度升温；粗抽工序步骤，对在上述低温泵容器维持固体状态的冰能够升华为气体状态的蒸汽的压力的状态下，用于调节上述低温泵容器内真空的粗抽阀进行控制；吹扫工序步骤，向上述低温泵容器内供给吹扫气体；以及降温工序步骤，使上述一级面板和上述二级面板的温度降低。
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公开(公告)号：CN119072579A
公开(公告)日：2024-12-03
申请号：CN202380035753.3
申请日：2023-09-07
Applicant: 科约H&I株式会社
Abstract: 一种在低温泵中进行真空排气的方法，上述低温泵具有1级台部和2级台部，并包括：制冷机，对上述1级台部和上述2级台部进行冷却；低温面板，其包括由上述1级台部冷却的1级面板以及由上述2级台部冷却的2级面板；低温泵容器，其围绕上述低温面板；第一加热器，设置于上述1级台部；及第二加热器，设置于上述2级台部，在低温泵中进行真空排气的方法包括：从将工艺气体注入到工艺腔室内的工艺气体注入装置接收工艺气体的注入信号的步骤；基于上述注入信号开启(On)上述第一加热器来对上述1级台部进行升温的步骤；测量上述1级台部的温度的步骤；监测上述1级台部的温度是否达到预设定的一级基准温度的步骤；及当上述1级台部的温度达到上述预设定的一级基准温度时，对上述工艺气体进行真空排气的步骤。
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公开(公告)号：CN119907887A
公开(公告)日：2025-04-29
申请号：CN202380067990.8
申请日：2023-09-07
Applicant: 科约H&I株式会社
Abstract: 本发明提供一种低温泵系统，包括低温泵以及向上述低温泵供给高压的氦制冷剂的压缩机，其中，该低温泵系统包括：温度测量部，对低温泵的一级台部和二级台部中的上述二级台部的温度进行测量；监视部，对上述二级台部的温度是否达到预设的二级基准温度进行监视；以及控制部，在每次上述二级台部的温度达到上述预设的二级基准温度时，使上述压缩机的运行频率阶段性地增加。
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公开(公告)号：CN119855985A
公开(公告)日：2025-04-18
申请号：CN202380064221.2
申请日：2023-09-07
Applicant: 科约H&I株式会社
Abstract: 本发明一种低温泵的再生方法，该低温泵包括：制冷机，具备一级台部和相比上述一级台部冷却至低温的二级台部；低温板，包括通过上述一级台部冷却的包含隔热体和隔板的一级面板以及通过上述二级台部冷却的二级面板；低温泵容器，包围上述低温板；第一加热器，设置在上述一级台部；以及第二加热器，设置在上述二级台部，其中，该低温泵的再生方法包括：在上述制冷机的运行中向上述低温泵容器内供给吹扫气体来使上述一级台部和上述二级台部升温的升温工序步骤；使捕集到上述低温泵容器内的气体排出，以使上述低温泵容器成为预设的压力的粗抽工序步骤；以及使上述一级台部和上述二级台部各自的温度降低至工作温度的降温工序步骤。
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