公开(公告)号：CN119836524A

公开(公告)日：2025-04-15

申请号：CN202380064220.8

申请日：2023-09-07

Applicant: 科约H&I株式会社

Inventor： 崔起喆 ,  金永培 ,  杨元均 ,  安敬准

IPC: F04B37/08 ,  F04B37/14 ,  F04B49/06 ,  F04B53/08 ,  F04B53/10

Abstract: 本发明提供一种低温泵的再生方法，该低温泵包括：制冷机，具备一级台部和二级台部，使用高压制冷剂来冷却上述一级台部和上述二级台部；低温板，包括通过上述一级台部冷却的一级面板和通过上述二级台部冷却的二级面板；低温泵容器，包围上述低温板，包括包围上述一级台部的辐射防护罩；第一加热器，设置在上述一级面板；以及第二加热器，设置在上述二级面板，该方法包括：升温工序步骤，打开(On)上述第一加热器而使上述辐射防护罩和上述一级面板的温度升温；粗抽工序步骤，对在上述低温泵容器维持固体状态的冰能够升华为气体状态的蒸汽的压力的状态下，用于调节上述低温泵容器内真空的粗抽阀进行控制；吹扫工序步骤，向上述低温泵容器内供给吹扫气体；以及降温工序步骤，使上述一级面板和上述二级面板的温度降低。