公开(公告)号：CN103946361A

公开(公告)日：2014-07-23

申请号：CN201280055366.8

申请日：2012-10-31

Applicant: 第一毛织株式会社

Inventor： 金奉焕 ,  郭泽秀 ,  裴镇希 ,  尹熙灿 ,  林相学 ,  金相均 ,  李真旭

IPC: C11D7/50 ,  C11D7/00 ,  H01L21/306

CPC classification number: C09K13/00 ,  C08G77/62 ,  C09D183/16 ,  H01L21/0206 ,  H01L21/02087 ,  H01L21/02164 ,  H01L21/02222 ,  H01L21/02282 ,  H01L21/31111

Abstract: 提供一种聚硅氧氮烷氢氧化物薄膜清洗溶液，相对于清洗溶液整体包括0.01wt％至7wt％之间的选自由醇类溶剂、酯类溶剂、硅烷醇类溶剂、烷氧基硅烷类溶剂、和烷基硅氮烷类溶剂以及它们的组合组成的组中的添加剂。

公开(公告)号：CN103946361B

公开(公告)日：2017-06-30

申请号：CN201280055366.8

申请日：2012-10-31

Applicant: 第一毛织株式会社

Inventor： 金奉焕 ,  郭泽秀 ,  裴镇希 ,  尹熙灿 ,  林相学 ,  金相均 ,  李真旭

IPC: C11D7/50 ,  C11D7/00 ,  H01L21/306

CPC classification number: C09K13/00 ,  C08G77/62 ,  C09D183/16 ,  H01L21/0206 ,  H01L21/02087 ,  H01L21/02164 ,  H01L21/02222 ,  H01L21/02282 ,  H01L21/31111

Abstract: 提供一种聚硅氧氮烷氢氧化物薄膜清洗溶液，相对于清洗溶液整体包括0.01wt％至7wt％之间的选自由醇类溶剂、酯类溶剂、硅烷醇类溶剂、烷氧基硅烷类溶剂、和烷基硅氮烷类溶剂以及它们的组合组成的组中的添加剂。

公开(公告)号：CN103910885A

公开(公告)日：2014-07-09

申请号：CN201310718120.0

申请日：2013-12-23

Applicant: 第一毛织株式会社

Inventor： 裴镇希 ,  李汉松 ,  郭泽秀 ,  金古恩 ,  金补宣 ,  金相均 ,  罗隆熙 ,  朴银秀 ,  徐珍雨 ,  宋炫知 ,  林相学 ,  任浣熙 ,  洪承希 ,  黄丙奎

IPC: C08G77/62 ,  H01L21/02

CPC classification number: H01L28/92 ,  C08G77/00 ,  C08G77/62 ,  C09D183/16 ,  H01L21/02222 ,  H01L21/02282 ,  H01L21/02326

Abstract: 本发明披露了制备间隙填充剂的方法；通过所述方法制备的间隙填充剂；和使用所述间隙填充剂的半导体电容器。制备间隙填充剂的方法包括将卤代硅烷注入碱性溶剂并以约1g/hr至约15g/hr的速度加入基于100重量份卤代硅烷的约50重量份至约70重量份的氨以提供氢化聚硅氮烷。