公开(公告)号：CN102143990A

公开(公告)日：2011-08-03

申请号：CN200880130954.7

申请日：2008-12-31

Applicant: 第一毛织株式会社

Inventor： 李圣宰 ,  金熙宰 ,  金兑镐 ,  尹祥根 ,  禹昌秀

IPC: C08G77/04

CPC classification number: C08G77/04 ,  Y10T428/31663

Abstract: 本发明提供一种适合用于制造半导体电容器的节点分离工艺的化合物。聚合物的分子量在贮存期间维持基本不改变。此外，聚合物以所需要的速率溶解于碱性显影溶液中，且在溶解速率(DR)无任何显著改变的情况下，在贮存期间具有高度稳定性。本发明还提供包含此化合物的组合物。该组合物在贮存期间具有高度稳定性。因此，该组合物适合用于填充半导体装置内部的小间隙。

公开(公告)号：CN102143990B

公开(公告)日：2014-04-02

申请号：CN200880130954.7

申请日：2008-12-31

Applicant: 第一毛织株式会社

Inventor： 李圣宰 ,  金熙宰 ,  金兑镐 ,  尹祥根 ,  禹昌秀

IPC: C08G77/04

CPC classification number: C08G77/04 ,  Y10T428/31663

Abstract: 本发明提供一种适合用于制造半导体电容器的节点分离工艺的化合物。聚合物的分子量在贮存期间维持基本不改变。此外，聚合物以所需要的速率溶解于碱性显影溶液中，且在溶解速率(DR)无任何显著改变的情况下，在贮存期间具有高度稳定性。本发明还提供包含此化合物的组合物。该组合物在贮存期间具有高度稳定性。因此，该组合物适合用于填充半导体装置内部的小间隙。