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公开(公告)号：CN108666413A
公开(公告)日：2018-10-16
申请号：CN201810233500.8
申请日：2018-03-21
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: H01L41/083
Abstract: 本发明涉及一种压电元件、压电器件、超声波探针和电子设备。在压电元件中第一电极层、压电体层和第二电极层依次层叠，并具备：第三电极层，层叠在上述第二电极层的一部分并且含有第三金属；和绝缘层，至少覆盖上述压电体层的未设有上述第二电极层的部分并且具有使上述第二电极层的一部分露出的开口部，在上述第二电极层中含有第一金属的第一层和含有第二金属的第二层依次层叠，在上述开口部露出上述第二层，上述第二金属和上述第三金属之间的标准氧化还原电位之差小于上述第一金属和上述第三金属之间的标准氧化还原电位之差。
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公开(公告)号：CN1308744C
公开(公告)日：2007-04-04
申请号：CN200410037591.6
申请日：2004-04-28
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: G02F1/133
CPC classification number: G02F1/13458 , G02F1/1345 , G02F1/1365 , Y10T29/49174 , Y10T29/49194 , Y10T29/49208
Abstract: 本发明提供一种在形成包含耐腐蚀性金属布线和非耐腐蚀性金属布线在内的非线性元件等时，可同时形成的、且可获得良好的低电阻性及耐腐蚀性的电布线结构、电布线结构的制造方法、具有上述电布线结构的电光装置用基板、及电光装置、以及电光装置的制造方法。因此，在耐腐蚀性金属布线的表面上依次形成该耐腐蚀性金属的氧化层及非耐腐蚀性金属布线，同时耐腐蚀性金属布线具有除去该耐腐蚀性金属的氧化层的露出部，通过该露出部，通孔及跨非耐腐蚀性金属布线、露出部之上地形成的导电性无机氧化膜等电连接辅助部件可电连接耐腐蚀性金属布线与非耐腐蚀性金属布线。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN118491833A
公开(公告)日：2024-08-16
申请号：CN202410175254.0
申请日：2024-02-07
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明提供一种超声波装置，能够抑制由声音匹配层引起的每个频率的超声波的透过不均匀而高效地输出超声波的。超声波装置具备：振动板，第一面以及与第一面相反的一侧的第二面成为平坦面；声音匹配层，设置在第一面上并与对象物接触；压电元件，设置在第二面上；以及抑制部，在第二面上从法线方向观察形成为框状并以包围压电元件的方式配置，抑制振动板的振动，在将声音匹配层的厚度设为t、将超声波的声速设为V、将从第一面发送的超声波的中心频率设为f的情况下，满足t≤V/f。
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公开(公告)号：CN111715501A
公开(公告)日：2020-09-29
申请号：CN202010192790.3
申请日：2020-03-18
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明涉及微机电系统器件及电子设备。在接合第一部件及第二部件并将用于连通设置于第一部件及第二部件之间的密封空间与外部空间的连通部设置于第二部件时，第一部件和第二部件有可能破损。为此，微机电系统器件具备：第一部件；第二部件，在与所述第一部件之间形成密封空间；以及第三部件，配置于所述第一部件与所述第二部件之间，并接合于所述第一部件及所述第二部件，所述第三部件比所述第一部件及所述第二部件的刚度小，所述第三部件设有连通所述密封空间与外部空间的连通部。
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公开(公告)号：CN111084637A
公开(公告)日：2020-05-01
申请号：CN201911013466.4
申请日：2019-10-23
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明提供了能够得到所期望的声音特性的超声波元件及超声波装置。超声波元件具备：元件基板，具有第一面、与第一面成为表里关系的第二面、贯通第一面至第二面的开口部以及包围开口部的隔壁部；支承膜，设置在元件基板的第一面且覆盖开口部，并具有面对开口部的第三面以及与第三面成为表里关系的第四面；压电元件，设置在支承膜的第四面，在从第三面朝向第四面的膜厚方向进行俯视观察时，配置在支承膜的与开口部重叠的区域；保护板，设置成与支承膜的第四面对置，通过粘合部件经由朝向支承膜突出的梁部接合至支承膜；以及壁部，设置在支承膜的第四面，在梁部和压电元件之间设置成朝向保护板突出。
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公开(公告)号：CN111084637B
公开(公告)日：2023-01-03
申请号：CN201911013466.4
申请日：2019-10-23
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明提供了能够得到所期望的声音特性的超声波元件及超声波装置。超声波元件具备：元件基板，具有第一面、与第一面成为表里关系的第二面、贯通第一面至第二面的开口部以及包围开口部的隔壁部；支承膜，设置在元件基板的第一面且覆盖开口部，并具有面对开口部的第三面以及与第三面成为表里关系的第四面；压电元件，设置在支承膜的第四面，在从第三面朝向第四面的膜厚方向进行俯视观察时，配置在支承膜的与开口部重叠的区域；保护板，设置成与支承膜的第四面对置，通过粘合部件经由朝向支承膜突出的梁部接合至支承膜；以及壁部，设置在支承膜的第四面，在梁部和压电元件之间设置成朝向保护板突出。
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公开(公告)号：CN1542511A
公开(公告)日：2004-11-03
申请号：CN200410037591.6
申请日：2004-04-28
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: G02F1/133
CPC classification number: G02F1/13458 , G02F1/1345 , G02F1/1365 , Y10T29/49174 , Y10T29/49194 , Y10T29/49208
Abstract: 本发明提供一种在形成包含耐腐蚀性金属布线和非耐腐蚀性金属布线在内的非线性元件等时，可同时形成的、且可获得良好的低电阻性及耐腐蚀性的电布线结构、电布线结构的制造方法、具有上述电布线结构的电光装置用基板、及电光装置、以及电光装置的制造方法。因此，在耐腐蚀性金属布线的表面上依次形成该耐腐蚀性金属的氧化层及非耐腐蚀性金属布线，同时耐腐蚀性金属布线具有除去该耐腐蚀性金属的氧化层的露出部，通过该露出部，通孔及跨非耐腐蚀性金属布线、露出部之上地形成的导电性无机氧化膜等电连接辅助部件可电连接耐腐蚀性金属布线与非耐腐蚀性金属布线。
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