公开(公告)号：CN108666413A

公开(公告)日：2018-10-16

申请号：CN201810233500.8

申请日：2018-03-21

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 大桥幸司 ,  上条隆弘 ,  今井克浩 ,  山冈卓实 ,  小岛力

IPC: H01L41/083

Abstract: 本发明涉及一种压电元件、压电器件、超声波探针和电子设备。在压电元件中第一电极层、压电体层和第二电极层依次层叠，并具备：第三电极层，层叠在上述第二电极层的一部分并且含有第三金属；和绝缘层，至少覆盖上述压电体层的未设有上述第二电极层的部分并且具有使上述第二电极层的一部分露出的开口部，在上述第二电极层中含有第一金属的第一层和含有第二金属的第二层依次层叠，在上述开口部露出上述第二层，上述第二金属和上述第三金属之间的标准氧化还原电位之差小于上述第一金属和上述第三金属之间的标准氧化还原电位之差。

公开(公告)号：CN102237487A

公开(公告)日：2011-11-09

申请号：CN201110085225.8

申请日：2011-04-06

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 神户雅人 ,  山冈卓实

IPC: H01L41/22 ,  B41J2/01

CPC classification number: B41J2/161 ,  B41J2/1623 ,  B41J2/1628 ,  B41J2/1629 ,  B41J2/1631 ,  B41J2/1632 ,  B41J2/1635 ,  B41J2/1646 ,  B41J2002/14241 ,  B41J2002/14419 ,  H01L27/20 ,  H01L41/0475 ,  H01L41/0973 ,  H01L41/1876 ,  H01L41/318 ,  H01L41/332 ,  Y10T29/42

Abstract: 本发明提供压电致动器的制造方法，能够减少因引出电极间的短路而引起压电致动器的驱动不良。压电元件形成工序(S5)之后，在蚀刻工序(S6)，以蚀刻残留上电极膜(83)被除去、振动板(53)不被除去的条件，把在后面的引出电极形成工序(S7)中形成的引出电极(90)间的振动板(53)的至少一部分蚀刻。即使在压电元件形成工序(S5)时，在引出电极(90)间产生蚀刻残留上电极膜(83)，蚀刻残留上电极膜(83)也会被蚀刻分断，可以保持形成在蚀刻残留上电极膜(83)的引出电极(90)间的绝缘。因此，可以得到减少了因引出电极(90)间的短路引起的压电致动器(100)的驱动不良的压电致动器(100)的制造方法。